用于在工件上烧蚀地制造周期性的线结构的装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于在工件(108)上烧蚀地制造周期性的线结构的装置和方法。该装置包括用于产生烧蚀光(110)的脉冲激光器(109)、布置在烧蚀光(110)的光路中的相位掩模(102)、布置在光轴(101)上的成像光学器件(104)和支架(106)，以便将工件(108)布置在像平面(107)中。相位掩模(102)通过干涉在物平面(103)中产生多个等距的平行的线(112)并抑制与光轴(101)平行的衍射级。光轴(101)垂直于物平面(103)。成像光学器件(104)包括平行于线(112)取向的柱面透镜并且构造成使物平面(103)成像到像平面(107)中。

A device and method for making periodic linear structure on a ablation site on a workpiece

The present invention relates to a device and method for making periodic wire structures on a workpiece (108) ablated. The device includes a pulsed laser (109) for generating ablative light (110), a phase mask (102) arranged in the optical path of ablative light (110), an imaging optical device (104) arranged on the optical axis (101) and a bracket (106), so as to arrange the workpiece (108) in the image plane (107). The phase mask (102) produces multiple equidistant parallel lines (112) in the physical plane (103) by interfering and restraining the diffraction level parallel to the optical axis (101). The optical axis (101) is perpendicular to the plane (103). An imaging optical device (104) includes a cylindrical lens parallel to a line (112) orientation and is constructed to make a plane (103) imaging (107) in the image plane (107).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于在工件上烧蚀地制造周期性的线结构的装置和方法
本专利技术说明了一种用于借助于电磁辐射制造周期性的结构的技术，尤其说明了一种用于通过烧蚀制造周期性的线结构/条纹结构的装置和方法，但并不限制于此。
技术介绍
通过使表面具有某种结构，表面区域可具有视觉或触觉特征。此外，衍射结构可根据观察角度显现不同颜色或产生颜色梯度。除了装饰目的之外，具有结构的表面还可防污，例如去湿。J.Meinertz等在会议“LasersinManufacturing2013”发表并在期刊PhysicsProcedia第41卷第708-712页公开的文献“MicronandSub-MicronGratingsonGlassbyUVLaserAblation”说明了借助于衍射光栅实现的、平行的线的传统生产(工艺)。然而，加工激光的辐射功率的大部分在衍射光栅处被损失掉。此外，具有衍射光栅主极大的史瓦西光学结构隐没辐射功率的另一很大的部分。此外，由文献US2009/0046757已知一种激光辐射装置，借助于它可控制在激光晶化时产生的晶体晶界的位置。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于，提供一种用于更高效地制造微型结构本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于在工件(108)上烧蚀地制造周期性的线结构的装置(100)，包括：用于产生烧蚀光(110)的脉冲激光器(109)；布置在所述烧蚀光(110)的光路中的相位掩模(102)，该相位掩膜被构造成，通过干涉在物平面(103)中产生多个等距的平行的线(112)并抑制与光轴(101)平行的衍射级，其中，所述光轴(101)垂直于所述物平面(103)；布置在所述光轴(101)上的成像光学器件(104)，该成像光学器件具有平行于所述线(112)取向的柱面透镜，该柱面透镜被构造成，使所述物平面(103)成像到像平面(107)中；和支架(106)，该支架被构造成，将所述工件(108)布置在所述像平面(107...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.26 DE 102015216342.31.一种用于在工件(108)上烧蚀地制造周期性的线结构的装置(100)，包括：用于产生烧蚀光(110)的脉冲激光器(109)；布置在所述烧蚀光(110)的光路中的相位掩模(102)，该相位掩膜被构造成，通过干涉在物平面(103)中产生多个等距的平行的线(112)并抑制与光轴(101)平行的衍射级，其中，所述光轴(101)垂直于所述物平面(103)；布置在所述光轴(101)上的成像光学器件(104)，该成像光学器件具有平行于所述线(112)取向的柱面透镜，该柱面透镜被构造成，使所述物平面(103)成像到像平面(107)中；和支架(106)，该支架被构造成，将所述工件(108)布置在所述像平面(107)中。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，未被抑制的衍射级(116，118)与所述光轴(101)成离散的角度，所述柱面透镜不具有非圆柱修正。3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述未被抑制的衍射级(116，118)关于所述光轴(101)对称，所述成像光学器件(104)关于所述光轴对称。4.根据权利要求1至3中任一项所述的装置，其特征在于，所述相位掩模被构造成，在所述物平面(103)中在第一跨度(114-1)上产生多个等距的平行的线(112)，其中，所述成像光学器件(104)布置在所述光轴(101)上，使得未被抑制的衍射级(116、118)在成像光学器件(104)中在与所述第一跨度(114-1)对应的第二跨度(114-2)上与所述光轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·伊勒曼，J·迈纳茨，L·H·斯塔克，
申请(专利权)人：哥廷根激光实验室，
类型：发明
国别省市：德国,DE