一种新型的金属遮罩的支撑平台及检测装置制造方法及图纸
A new type of support platform and detection device for metal cover
【技术实现步骤摘要】
一种新型的金属遮罩的支撑平台及检测装置
本专利技术涉及金属蒸镀
，尤其涉及一种新型的金属遮罩的支撑平台及检测装置。
技术介绍
AMOLED(Active-matrixorganiclightemittingdiode，全称是有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体)显示器以轻薄、主动发光、响应速度快、视角广、色彩丰富、亮度高、功耗低以及耐高低温等诸多优点而被业界认为是继液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)之后的新型显示技术，AMOLED显示器可广泛应用于智能手机、平板电脑、电视等终端产品。在现有技术中，对AMOLED进行蒸镀是在真空室内，将作为处理对象的AMOLED基板朝向下安装其蒸镀面，当蒸镀用的金属遮罩配置在AMOLED基板的蒸镀面与蒸镀源之间时，将蒸镀源加热以使蒸镀材料蒸发，并经由金属遮罩的开孔使其附着于AMOLED基板表面而进行蒸镀。例如，AMOLED基板采用精细金属遮罩(FineMetalMask，FMM)蒸镀有机发光材料来制备彩色化像素图案，该精细金属遮罩包括开孔和桥，开孔与需蒸镀的有机发光材料子像素区域精确对位并...
【技术保护点】
一种新型的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，包括两个气浮板和安装光源的框体，其中，两个所述气浮板分别与所述框体两条相平行的侧边连接；所述气浮板远离所述框体的边缘上设有金属遮罩安装件，其中一个所述金属遮罩安装件上设有光电发射器，另一个所述金属遮罩安装件上设有光电接收器，且所述光电发射器与所述光电接收器正对设置，所述光电发射器及所述光电接收器所在的平面与金属遮罩张紧并呈水平状态下的平面持平，在金属遮罩任一局部高于所述光电发射器与所述光电接收器所在的平面时，所述光电发射器与所述光电接收器发出信号；所述气浮板面向金属遮罩的第一表面上设有多个出气孔，与所述第一表面表面平行的第二表面上设...
【技术特征摘要】
1.一种新型的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，包括两个气浮板和安装光源的框体，其中，两个所述气浮板分别与所述框体两条相平行的侧边连接；所述气浮板远离所述框体的边缘上设有金属遮罩安装件，其中一个所述金属遮罩安装件上设有光电发射器，另一个所述金属遮罩安装件上设有光电接收器，且所述光电发射器与所述光电接收器正对设置，所述光电发射器及所述光电接收器所在的平面与金属遮罩张紧并呈水平状态下的平面持平，在金属遮罩任一局部高于所述光电发射器与所述光电接收器所在的平面时，所述光电发射器与所述光电接收器发出信号；所述气浮板面向金属遮罩的第一表面上设有多个出气孔，与所述第一表面表面平行的第二表面上设有至少一个进气孔，所述进气孔与各所述出气孔在所述气浮板内部相互连通。2.根据权利要求1所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，各所述出气孔上均设有喷气嘴。3.根据权利要求1所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，所述气浮板的吹气量可以将金属遮罩吹起30～70um。4.根据权利要求1所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，所述气浮板上靠近所述金属遮罩安装件的出气孔的密度为...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴自强，杨慎东，郭连俊，
申请(专利权)人：苏州精濑光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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