一种真空腔体用小型多叶片式节流阀制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空腔体用小型多叶片式节流阀，包括法兰、固定套环、叶片、主轴、转动执行装置，法兰的内圈设置固定套环，其特征在于，固定套环的内部设置若干个叶片；叶片呈上下对称设置；每个叶片的背面铆接一转轴；转轴的两端穿过固定套环与法兰连接；每个叶片的上方设置一轴座；每个轴座的中间开设一凹槽，在凹槽中设置一轴套；将每个轴套用联动推杆串联；在法兰的对称轴上的转轴依次穿过固定套环、法兰与转动执行装置连接；采用了多叶片式的结构以及采用联动推杆串联叶片的结构；配合转动执行装置可以实现远程自动化的控制的同时，多叶片式节流阀的开合角度采用转动执行装置的控制；保证了多叶片式节流阀的控制精度。

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔体用小型多叶片式节流阀
本技术涉及节流阀尤其涉及一种真空腔体用小型多叶片式节流阀。
技术介绍
在现有的真空腔体中，为了控制惰性气体的流动，常常采用叶片式节流阀进行流量的控制；但是，在控制叶片式节流阀开关闭合的状态上常采用手动调节开关的大小；在实际的生产应用中无法实现较为精确的控制以及自动控制叶片式节流阀的开关闭合；镀膜工艺无法实现自动化控制，同时，手动调节叶片式节流阀操作不方便、开关闭合的程度无法掌控。
技术实现思路
本技术的目的是根据上述现有技术的不足之处，本技术目的实现一种真空腔体用小型多叶片式节流阀，包括法兰、固定套环、叶片、主轴、转动执行装置，所述的法兰的内圈设置固定套环，其特征在于，所述的固定套环的内部设置若干个叶片；所述叶片呈上下对称设置；每个所述叶片的背面铆接一转轴；所述的转轴的两端穿过固定套环与法兰连接；每个所述叶片的上方设置一轴座；所述的每个轴座的中间开设一凹槽，在凹槽中设置一轴套；将所述的每个轴套用联动推杆串联；在所述的法兰的对称轴上的转轴依次穿过固定套环、法兰与转动执行装置连接。进一步所述的法兰上沿圆周方向设置若干个通孔。进一步所述的叶片的边缘与固定套环的内侧贴合；所述的叶片的前、后的表面呈波纹状。进一步所述的主轴上套入一个转动密封件；在转动密封件的右侧设置一支撑轴承座；在支撑轴承座设置一联轴器；所述的联轴器将主轴与转动执行装置连接。优选地，所述的转动执行装置为电动执行器。优选地，所述的转动执行装置为伺服电机和步进电机中的任意一种。优选地，所述的转动执行装置为转动气缸。本技术的技术效果在于采用了多叶片式的结构以及采用联动推杆串联叶片的结构；配合转动执行装置可以实现远程自动化的控制的同时，多叶片式节流阀的开合角度受到转动执行装置的控制；从而保证了多叶片式节流阀的控制精度。附图说明图1是本技术的示意图。图2是本技术的主视图。图3是本技术的后视图。图4是本技术的第二实施例的示意图。图5是本技术的第三实施例的示意图。图6是本技术的轴座的示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。结合附图1、附图2、附图3、附图6所示，本实施例1中公开了一种真空腔体用小型多叶片式节流阀，包括法兰1、固定套环2、叶片3、主轴10、转动执行装置8，将法兰1的内圈设置固定套环2，在固定套环2的内部设置若干个叶片3；叶片3呈上下对称设置；每个所述叶片3的背面铆接一转轴10；转轴10的两端穿过固定套环2与法兰1连接；每个所述叶片3的上方设置一轴座4；在每个轴座4的中间开设一凹槽41，在凹槽41中设置一轴套6；将每个轴套6用联动推杆5串联；在所述的法兰1的对称轴上的转轴10依次穿过固定套环2、法兰1与转动执行装置8连接。在本实施例中将主轴10固定在在法兰1的对称轴上并与其中的在对称轴上的叶片3进行连接；在采用联动推杆5串联每一个的叶片形成了本技术的多叶片式节流阀的主要结构，将叶片分成多叶片的形式；可以更好地控制在真空腔体中的惰性气体的流量；同时通过主轴主轴10连接转动执行装置8，实现自动控制，解决了远程自动化的控制的同时，也实现了多叶片式节流阀的控制精度。再结合，附图1说明在实施例中将法兰1上沿圆周方向设置若干个通孔。便于本技术的多叶片式节流阀的安装。再结合，附图1说明，为了保证，叶片3与固定套环2之间边缘的密封作用，将叶片3的边缘与固定套环2的内侧贴合；为了使引导气体的流动，将叶片3的前、后的表面呈波纹状。结合附图1、附图4、附图5.所示，在主轴10上套入一个转动密封件7；在转动密封件7的右侧设置一支撑轴承座71；在支撑轴承座71设置一联轴器72；联轴器72将主轴10与转动执行装置8连接。结合附图1所示，在本技术的实施例1中采用的转动执行装置8为电动执行器。结合附图4所示，在本技术的实施例2中采用的转动执行装置8为伺服电机和步进电机中的任意一种。结合附图5所示，在本技术的实施例3中采用的转动执行装置8为转动气缸。以上的转动执行装置8的部件可以根据多叶片式节流阀的控制精度要求进行选择。作为本技术的优选的实施例，对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术，也是本技术的保护范围。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空腔体用小型多叶片式节流阀，包括法兰、固定套环、叶片、主轴、转动执行装置，所述的法兰的内圈设置固定套环，其特征在于，所述的固定套环的内部设置若干个叶片；所述叶片呈上下对称设置；每个所述叶片的背面铆接一转轴；所述的转轴的两端穿过固定套环与法兰连接；每个所述叶片的上方设置一轴座；所述的每个轴座的中间开设一凹槽，在凹槽中设置一轴套；将所述的每个轴套用联动推杆串联；在所述的法兰的对称轴上的转轴依次穿过固定套环、法兰与转动执行装置连接。

【技术特征摘要】
1.一种真空腔体用小型多叶片式节流阀，包括法兰、固定套环、叶片、主轴、转动执行装置，所述的法兰的内圈设置固定套环，其特征在于，所述的固定套环的内部设置若干个叶片；所述叶片呈上下对称设置；每个所述叶片的背面铆接一转轴；所述的转轴的两端穿过固定套环与法兰连接；每个所述叶片的上方设置一轴座；所述的每个轴座的中间开设一凹槽，在凹槽中设置一轴套；将所述的每个轴套用联动推杆串联；在所述的法兰的对称轴上的转轴依次穿过固定套环、法兰与转动执行装置连接。2.如权利要求1所述的一种真空腔体用小型多叶片式节流阀，其特征在于，所述的法兰上沿圆周方向设置若干个通孔。3.如权利要求1所述的一种真空腔体用小型多叶片式节流...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨元才，褚景豫，钱鹏亮，熊凯，朱振东，
申请(专利权)人：上海福宜真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31