具有MEMS声音转换器的声音转换器组件制造技术
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有MEMS声音转换器的声音转换器组件
本专利技术涉及一种声音转换器组件，其具有用于制造并且/或者获取在可听见的波长频谱内的声波的MEMS声音转换器，该MEMS声音转换器包括一个空穴，并且具有与该MEMS声音转换器导电地连接的ASIC。这样的声音转换器组件可以尺寸非常小并且因而作为扩音器和/或麦克风被例如使用在听力器具、耳机、移动电话、平板电脑和其它的电子器具内，这些器具仅提供小的安装空间。
技术介绍
名称MEMS代表微电子机械系统。用于制造声音的MEMS声音转换器或者MEMS扩音器例如由专利文献DE102012220819A1已知。声音制造通过MEMS扩音器的可振动地支承的膜片实现。这样的声音转换器组件根据各个应用领域的声学和其它的要求专门地构造并且由大量各种不同的元件构成。这样的声音转换器组件的主要缺点在于，它的制作相应地复杂、时间和成本费用高。
技术实现思路
本专利技术的任务是，创造一种声音转换器组件，其简单地构造并且能够被简易地制作。任务通过具有独立权利要求1的特征的声音转换器组件以及通过具有独立权利要求14的特征的制作方法而被解决。本专利技术提出一种声音转换...
【技术保护点】
一种声音转换器组件(1)，其具有用于制造并且/或者获取在可听见的波长频谱内的声波的第一MEMS声音转换器(21)，该第一MEMS声音转换器包括第一空穴(41)，并且具有与该第一MEMS声音转换器导电地连接的ASIC(11)，其特征在于，该ASIC(11)被埋入到第一基层(10)内，该第一MEMS声音转换器(21)布置在第二基层(20)内并且/或者上，该第一基层(10)和该第二基层(20)这样地相互连接，使得该ASIC(11)和该第一MEMS声音转换器(21)相互电耦合。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.05.13 DE 102015107560.11.一种声音转换器组件(1)，其具有用于制造并且/或者获取在可听见的波长频谱内的声波的第一MEMS声音转换器(21)，该第一MEMS声音转换器包括第一空穴(41)，并且具有与该第一MEMS声音转换器导电地连接的ASIC(11)，其特征在于，该ASIC(11)被埋入到第一基层(10)内，该第一MEMS声音转换器(21)布置在第二基层(20)内并且/或者上，该第一基层(10)和该第二基层(20)这样地相互连接，使得该ASIC(11)和该第一MEMS声音转换器(21)相互电耦合。2.根据以上权利要求的声音转换器组件，其特征在于，所述两个基层相互焊封并且/或者，尤其借助能导电的粘合剂而粘贴。3.根据以上权利要求之一或者之多个的声音转换器组件，其特征在于，在第三基层(30)上布置第二MEMS声音转换器(31)，所述第一基层(10)和所述第三基层(30)相互导电地连接，所述第一基层(10)布置在所述第二基层(20)和所述第三基层(30)之间，并且/或者所述第二MEMS声音转换器(31)的第二空穴(42)至少部分地构造在所述第一和/或第三基层(10、30)内。4.根据以上权利要求之一或者之多个的声音转换器组件，其特征在于，所述MEMS声音转换器的两个空穴(41、42)通过所述第一基层(10)的间壁(17)而相互分开，并且/或者所述间壁(17)具有至少一个从所述第一空穴(41)延伸到所述第二空穴(42)的连接孔(90)并且/或者连接气道。5.根据以上权利要求之一或者之多个的声音转换器组件，其特征在于，所述间壁(17)具有至少一个加固元件(14)，尤其肋条。6.根据以上权利要求之一或者之多个的声音转换器组件，其特征在于，在至少一层基层(10、20、30)内构造平衡孔(26)和/或压力平衡气道(70)，其使所述空穴(41、42)与周围环境连通，并且/或者所述声音转换器组件(1)的两个空穴(41、42)具有不同大小的容积。7.根据以上权利要求之一或者之多个的声音转换器组件，其特征在于，至少一个空穴被至少部分地用多孔材料(5)填充。8.根据以上权利要求之一或者之多个的声音转换器组件，其特征在于，所述声音转换器组件(1)具有壳体件(50)，该壳体件具有声学...
【专利技术属性】
技术研发人员：安德里亚·韦斯高尼·克莱里西，费鲁乔·博托尼，
申请(专利权)人：悠声股份有限公司，
类型：发明
国别省市：奥地利,AT
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