衍射光学元件监测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提出一种衍射光学元件监测装置，包括：衍射光学元件(DOE)，由至少一片透明基片刻蚀而成，并且所述透明基片的上表面和/或下表面刻有衍射光栅，用于衍射入射光源发出的光束；透明导电薄膜，附着于所述DOE的表面，具有电阻属性；监测控制单元，通过导线与所述透明导电薄膜连接，用于监测所述透明导电薄膜的电阻变化，以判断所述DOE的完整性并进行相应的安全控制。本发明专利技术还提出一种衍射光学元件监测方法，本发明专利技术的衍射光学元件监测装置及方法，能够持续及时的对DOE完整性做出合理的评估并进行相应的安全控制，以确保DOE始终在安全的状况下工作。

Monitoring devices and methods for diffractive optical elements

The invention provides a monitoring device including: a diffractive optical element, diffractive optical elements (DOE), by at least a transparent substrate is etched, and the transparent substrate on the surface and / or surface with diffraction grating for diffraction light beams emitted from the incident light source; a transparent conductive film which is attached to the surface in the DOE, with a resistance property; monitoring and controlling unit, connected by wire and the transparent conductive film, for monitoring the change of resistance of the transparent conductive film, to determine the integrity of the DOE and the corresponding safety control. The invention also provides a monitoring method for diffractive optical elements. The diffractive optical elements monitoring device and method of the invention can continuously and reasonably evaluate the integrity of DOE and carry out corresponding safety control, so as to ensure that DOE always works in safety.

【技术实现步骤摘要】
衍射光学元件监测装置及方法
本专利技术涉及衍射光学领域，尤其涉及一种衍射光学元件监测装置及方法。
技术介绍
光学投影系统被广泛应用于物体的三维扫描、空间三维重建、人机交互等领域。光学投影系统通过投射编码或结构化的特殊光图案，对目标物体的空间信息进行标记，为后期图像采集装置的信息采集以及三维重建提供准备工作。用于投射结构光的光学投影系统一般包括光源、准直透镜以及衍射光学元件(DOE)。其中，DOE用于分束、重叠光源发射的光束，以获得分布均匀且不相关的特殊图案化光束，是整个光学投影系统的核心部件。此外，DOE的好坏也会直接影响光学投影系统所投射的光图案的质量，DOE性能越好，光图案的分别率越高、对比度越强。光学投影系统所投射的光图案质量越好，图像采集装置捕捉到的图案化信息越清晰、越准确，则后期处理器对物体三维重建的精度、准确度越高。然而，随着光学投影系统使用时间的增加，光学元件难免会出现不同程度的老化、变形或者损坏现象，尤其是DOE。因为DOE密封于光学投影系统中，散热不佳的情况下，DOE非常容易出现老化、变形或者损坏的现象。DOE的老化、变形或者损坏问题，会影响到DOE衍射光束的能力。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衍射光学元件监测装置，其特征在于，包括：衍射光学元件(DOE)，由至少一片透明基片刻蚀而成，并且所述透明基片的上表面和/或下表面刻有衍射光栅，用于衍射入射光源发出的光束；透明导电薄膜，附于所述衍射光学元件的表面，具有电阻属性；监测控制单元，与所述透明导电薄膜电连接，用于监测所述透明导电薄膜的电阻变化，以判断所述衍射光学元件的完整性并进行相应的安全控制。

【技术特征摘要】
1.一种衍射光学元件监测装置，其特征在于，包括：衍射光学元件(DOE)，由至少一片透明基片刻蚀而成，并且所述透明基片的上表面和/或下表面刻有衍射光栅，用于衍射入射光源发出的光束；透明导电薄膜，附于所述衍射光学元件的表面，具有电阻属性；监测控制单元，与所述透明导电薄膜电连接，用于监测所述透明导电薄膜的电阻变化，以判断所述衍射光学元件的完整性并进行相应的安全控制。2.如权利要求1所述的衍射光学元件监测装置，其特征在于，所述监测控制单元中预设安全阈值区间，当所述透明导电薄膜的电阻超过所述安全阈值区间时，所述监测控制单元进行相应的安全控制。3.如权利要求2所述的衍射光学元件监测装置，其特征在于，所述安全控制包括发出所述衍射光学元件损坏的风险提示信息或者关闭所述入射光源或者降低所述入射光源的发光功率。4.如权利要求1-3任一所述的衍射光学元件监测装置，其特征在于，当所述透明基片的上表面或下表面刻有衍射光栅时，所述透明导电薄膜附于所述衍射光栅的表面，或者附于所述透明基片的上表面和下表面，或者附于所述透明基片的整个表面；当所述透明基片的上表面和下表面均刻有衍射光栅时,所述透明导电薄膜附于至少一个所述衍射光栅的表面或者附于所述透明基片的整个表面。5.如权利要求4所述的衍射光学元件监测装置，其特征在于，所述衍射光学元件由...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓想全，黄杰凡，
申请(专利权)人：深圳奥比中光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44