一种激光设备中激光加工工位水平调节装置制造方法及图纸

技术编号:17583877 阅读:27 留言:0更新日期:2018-03-31 01:59
本实用新型专利技术涉及一种激光设备中激光加工工位水平调节装置,包括转盘本体、工作台面、吸盘组件、安装底座、螺杆、上螺纹帽、碟簧和下螺纹帽,八个工作台面均通过转盘连接件与转盘本体相连接,吸盘组件设置在工作台面上端面,安装底座与转盘连接件固定连接,工作台面设置在安装底座上,吸盘组件、工作台面和安装底座侧端面开设有通孔,螺杆穿过通孔,且螺杆上端延伸至吸盘组件外,且螺杆下端延伸至安装底座外,螺杆上端装配有上螺纹帽,螺杆下端装配有下螺纹帽,安装底座和工作台面之间设置有碟簧,该设计达到了调节工作台面水平距离的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种激光设备中激光加工工位水平调节装置
本技术涉及激光加工领域,具体为一种激光设备中激光加工工位水平调节装置。
技术介绍
激光雕刻加工是激光系统最常用的应用。根据激光束与材料相互作用的机理,大体可将激光加工分为激光热加工和光化学反应加工两类。激光热加工是指利用激光束投射到材料表面产生的热效应来完成加工过程,包括激光焊接、激光雕刻切割、表面改性、激光镭射打标、激光钻孔和微加工等;光化学反应加工是指激光束照射到物体,借助高密度激光高能光子引发或控制光化学反应的加工过程。包括光化学沉积、立体光刻、激光雕刻刻蚀等。现有技术中太阳能激光设备中chuck(晶圆工作台面-真空吸盘)的水平度是一项非常重要的参数,目前调节水平的工具基本要伸到chuck的背部去调节,设备内部空间狭小操作极为不便,综上所述,现急需一种激光设备中激光加工工位水平调节装置来解决上述出现的问题。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本技术目的是提供一种激光设备中激光加工工位水平调节装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题,本技术使用方便,操作简单,系统性高,实用性强。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种激光设备中激光加工工位水平调节装置,包括装置主体和水平调节机构,所述装置主体包括转盘本体、工作台面和吸盘组件,所述工作台面和吸盘组件均设有八个,八个所述工作台面均通过转盘连接件与转盘本体相连接,所述吸盘组件设置在工作台面上端面,所述水平调节机构包括安装底座、螺杆、上螺纹帽、碟簧和下螺纹帽,所述安装底座与转盘连接件固定连接,所述工作台面设置在安装底座上,所述吸盘组件、工作台面和安装底座侧端面开设有通孔,所述螺杆穿过通孔,且螺杆上端延伸至吸盘组件外,且螺杆下端延伸至安装底座外,所述螺杆上端装配有上螺纹帽,所述螺杆下端装配有下螺纹帽,所述安装底座和工作台面之间设置有碟簧。进一步地,八个所述工作台面呈环形等距排布在转盘本体周围。进一步地,所述上螺纹帽设有两个,两个所述上螺纹帽对称设置在工作台面上下两端。进一步地,所述下螺纹帽设有两个,两个所述下螺纹帽对称设置在工作台面上下两端。进一步地,所述水平调节机构设有四个,四个所述水平调节机构分别设置在工作台面四个棱角处。与现有技术相比,本技术的有益效果是:因本技术添加了安装底座、螺杆、上螺纹帽、碟簧和下螺纹帽,该设计达到了调节工作台面水平距离的目的,解决了现有技术中太阳能激光设备中chuck(晶圆工作台面-真空吸盘)的水平度是一项非常重要的参数,目前调节水平的工具基本要伸到chuck的背部去调节,设备内部空间狭小操作极为不便的问题。附图说明图1为本技术的结构示意图;图2为本技术中工作台面的结构示意图;图3为本技术中水平调节机构的结构示意图;附图标记中:1.转盘连接件;2.吸盘组件;3.调节组件;4.工作台面;5.安装底座;6.转盘本体;31.螺杆;32.上螺纹帽;33.碟簧;34.下螺纹帽;a.通孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3,本技术提供一种技术方案:一种激光设备中激光加工工位水平调节装置,包括装置主体和水平调节机构,装置主体包括转盘本体6、工作台面4和吸盘组件2,工作台面4和吸盘组件2均设有八个,八个工作台面4均通过转盘连接件1与转盘本体6相连接,吸盘组件2设置在工作台面4上端面。水平调节机构包括安装底座5、螺杆31、上螺纹帽32、碟簧33和下螺纹帽34,安装底座5与转盘连接件1固定连接,工作台面4设置在安装底座5上,吸盘组件2、工作台面4和安装底座5侧端面开设有通孔a,螺杆31穿过通孔a,且螺杆31上端延伸至吸盘组件2外,且螺杆31下端延伸至安装底座5外,螺杆31上端装配有上螺纹帽32,螺杆31下端装配有下螺纹帽34,安装底座5和工作台面4之间设置有碟簧33,该设计达到了调节工作台面4水平距离的目的。八个工作台面4呈环形等距排布在转盘本体6周围,上螺纹帽32设有两个,两个上螺纹帽32对称设置在工作台面4上下两端,下螺纹帽34设有两个,两个下螺纹帽34对称设置在工作台面4上下两端,水平调节机构设有四个,四个水平调节机构分别设置在工作台面4四个棱角处。本技术在工作时:工作人员转动上螺纹帽32和下螺纹帽34在螺杆31上运动,并压缩碟簧33,以此来调节工作台面4的水平所在面,调节好后,固定两个上螺纹帽32和两个下螺纹帽34,从而解决了现有技术中太阳能激光设备中chuck晶圆工作台面4-真空吸盘的水平度是一项非常重要的参数,目前调节水平的工具基本要伸到chuck的背部去调节,设备内部空间狭小操作极为不便的问题。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点,对于本领域技术人员而言,显然本技术不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本技术。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。尽管已经示出和描述了本技术的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...
一种激光设备中激光加工工位水平调节装置

【技术保护点】
一种激光设备中激光加工工位水平调节装置,包括装置主体和水平调节机构,其特征在于:所述装置主体包括转盘本体(6)、工作台面(4)和吸盘组件(2),所述工作台面(4)和吸盘组件(2)均设有八个,八个所述工作台面(4)均通过转盘连接件(1)与转盘本体(6)相连接,所述吸盘组件(2)设置在工作台面(4)上端面;所述水平调节机构包括安装底座(5)、螺杆(31)、上螺纹帽(32)、碟簧(33)和下螺纹帽(34),所述安装底座(5)与转盘连接件(1)固定连接,所述工作台面(4)设置在安装底座(5)上,所述吸盘组件(2)、工作台面(4)和安装底座(5)侧端面开设有通孔(a),所述螺杆(31)穿过通孔(a),且螺杆(31)上端延伸至吸盘组件(2)外,且螺杆(31)下端延伸至安装底座(5)外,所述螺杆(31)上端装配有上螺纹帽(32),所述螺杆(31)下端装配有下螺纹帽(34),所述安装底座(5)和工作台面(4)之间设置有碟簧(33)。

【技术特征摘要】
1.一种激光设备中激光加工工位水平调节装置,包括装置主体和水平调节机构,其特征在于:所述装置主体包括转盘本体(6)、工作台面(4)和吸盘组件(2),所述工作台面(4)和吸盘组件(2)均设有八个,八个所述工作台面(4)均通过转盘连接件(1)与转盘本体(6)相连接,所述吸盘组件(2)设置在工作台面(4)上端面;所述水平调节机构包括安装底座(5)、螺杆(31)、上螺纹帽(32)、碟簧(33)和下螺纹帽(34),所述安装底座(5)与转盘连接件(1)固定连接,所述工作台面(4)设置在安装底座(5)上,所述吸盘组件(2)、工作台面(4)和安装底座(5)侧端面开设有通孔(a),所述螺杆(31)穿过通孔(a),且螺杆(31)上端延伸至吸盘组件(2)外,且螺杆(31)下端延伸至安装底座(5)外,所述螺杆(31)上端装配有上螺纹帽(32...

【专利技术属性】
技术研发人员:张亚运
申请(专利权)人:常州雷射激光设备有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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