入口组件及用于操作其的方法技术

公开了用于燃烧器的入口组件和方法。入口组件用于减排燃烧器并且包括：入口导管，其可操作成将待处理的排出气体流从入口孔口经由孔输送到出口孔口用于处理；以及喷枪导管，其可操作成将燃料气体从气体入口孔口经由气体孔输送到定位在孔内的气体出口孔口，用于与排出气体流混合，该气体孔的横截面面积朝向气体出口孔口增加。以此方式，通过增加气体孔的横截面面积导致的膨胀增强了燃料气体与排出气体流的混合，这提供了改善的销毁和移除效率（DRE），从而使得入口组件能够以减少的燃料气体量操作，同时仍维持所需水平的DRE。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】入口组件及用于操作其的方法
本专利技术涉及用于燃烧器的入口组件和方法。
技术介绍
减排燃烧器是已知的并且通常用于处理来自在例如半导体或平板显示器制造业中使用的制造加工工具的排出气体流。在这样的制造期间，残留的全氟化合物（PFC）和其它化合物存在于从加工工具泵送出的排出气体流中。难以从排出气体移除PFC，并且因为已知它们具有相对高的温室活性，所以不希望将它们释放到环境中。已知的燃烧器使用燃烧来从排出气体流移除PFC和其它化合物。通常，排出气体流是包含PFC和其它化合物的氮气流。在一种设置中，燃料气体与排出气体流混合，并且该气体流混合物被输送到被有小孔的气体燃烧器（foraminousgasburner）的离开表面横向围绕的燃烧腔室中。燃料气体和空气被同时地供应到有小孔的燃烧器以便实现在离开表面处的无火焰燃烧，其中通过有小孔的燃烧器的空气的量足以不仅消耗被供应到燃烧器的燃料气体，而且还消耗被喷射到燃烧腔室内的气体流混合物中的所有可燃物。存在于排出气体流中的化合物的范围和所述排出气体流的流动特性能够针对不同加工工具而变化，并且因此燃料气体和空气以及需要被引入到辐射燃烧器中的其它气体或流体的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于减排燃烧器的入口组件，包括：入口导管，其能够操作成将待处理的排出气体流从入口孔口经由孔输送到出口孔口用于处理；以及喷枪导管，其能够操作成将燃料气体从气体入口孔口经由气体孔输送到定位在所述孔内的气体出口孔口，用于与所述排出气体流混合，所述气体孔的横截面面积朝向所述气体出口孔口增加。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.07.20 GB 1512672.51.一种用于减排燃烧器的入口组件，包括：入口导管，其能够操作成将待处理的排出气体流从入口孔口经由孔输送到出口孔口用于处理；以及喷枪导管，其能够操作成将燃料气体从气体入口孔口经由气体孔输送到定位在所述孔内的气体出口孔口，用于与所述排出气体流混合，所述气体孔的横截面面积朝向所述气体出口孔口增加。2.根据权利要求1所述的入口组件，其中，所述气体出口孔口的横截面面积大于所述气体入口孔口的横截面面积。3.根据权利要求1或2所述的入口组件，其中，所述入口导管和所述喷枪导管被形成尺寸为朝向所述气体出口孔口减小所述孔的横截面面积。4.根据任意一项前述权利要求所述的入口组件，其中，所述喷枪导管的外部横截面周长朝向所述气体出口孔口增加。5.根据任意一项前述权利要求所述的入口组件，其中，所述喷枪导管包括接近所述气体出口孔口向外成锥形的锥形区段。6.根据权利要求5所述的入口组件，其中，所述锥形区段具有高达大约60°的锥角。7.根据权利要求5或6所述的入口组件，其中，所述锥形区段限定至少一个空隙，其能够操作成在所述孔和所述气体孔之间输送气体。8.根据权利要求7所述的入...

【专利技术属性】
技术研发人员：ARB拉迪亚尔，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：英国,GB