压电超声换能器及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种压电超声换能器及其制备方法，所述压电超声换能器包括中心设有空腔的基底、固定在所述基底上的振膜、与所述振膜相连的压电膜，所述压电膜包括靠近所述振膜的第一表面及远离所述振膜的第二表面，所述压电超声换能器还包括设置于所述第一表面的第一电极及设置于所述第二表面的第二电极，所述振膜靠近所述基底一侧的表面设置有质量块，所述质量块置于所述基底的空腔中。本发明专利技术的压电超声换能器可以提高产品的声压。

Piezoelectric ultrasonic transducer and its preparation method

The invention provides a piezoelectric ultrasonic transducer and preparation method thereof, wherein the piezoelectric ultrasonic transducer comprises a substrate, a cavity is arranged in the center of the diaphragm, fixed on the base is connected with the diaphragm piezoelectric film, the piezoelectric film including close to the diaphragm and away from the first surface the diaphragm of the second surface of the second electrode piezoelectric ultrasonic transducer arranged on the first surface of the first electrode and is disposed on the second surface, the diaphragm near the surface is arranged on one side of the substrate mass, the mass is placed in the cavity of the substrate. The piezoelectric ultrasonic transducer of the invention can improve the sound pressure of the product.

【技术实现步骤摘要】
压电超声换能器及其制备方法
本专利技术涉及超声传感器领域，尤其涉及一种压电超声换能器及其制备方法。
技术介绍
超声传感器在社会生产生活中具有广泛的应用，包括超声加工、超声定位、超声探测、超声成像等各方面。作为电能和机械能相互转换的器件，超声换能器是超声传感器的重要组成部件。传统的超声换能器通常基于机械加工制成，因而具有体积较大，加工精度较低，加工成本较高，难以形成阵列结构等缺点。基于MEMS(MicroelectromechanicalSystems，微机电系统)技术的超声换能器因采用微电子工艺加工而成，直径尺寸可降低到微米级别，谐振频率可达到几百兆赫兹，较高的谐振频率大幅增加了成像和探测的精度。另外，由MEMS工艺加工成的超声换能器单元可组成大规模阵列，单元一致性较好，便于运用相位控制技术实现超声波束的聚焦、离散、定向扫描等功能，大大增强了超声技术应用的灵活性。目前的MEMS超声换能器主要有电容式和压电式两种，其中MEMS电容式超声换能器由上下两个电极板构成，通过电极板之间的静电力驱动，具有机电耦合系数较大、谐振频率较高的优点，但是也存在驱动电压较高、受寄生电容影响较大、电学输出阻本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电超声换能器，包括中心设有空腔的基底、固定在所述基底上的振膜、与所述振膜相连的压电膜，所述压电膜包括靠近所述振膜的第一表面及远离所述振膜的第二表面，所述压电超声换能器还包括设置于所述第一表面的第一电极及设置于所述第二表面的第二电极，其特征在于，所述振膜靠近所述基底一侧的表面设置有质量块，所述质量块置于所述基底的空腔中。

【技术特征摘要】
1.一种压电超声换能器，包括中心设有空腔的基底、固定在所述基底上的振膜、与所述振膜相连的压电膜，所述压电膜包括靠近所述振膜的第一表面及远离所述振膜的第二表面，所述压电超声换能器还包括设置于所述第一表面的第一电极及设置于所述第二表面的第二电极，其特征在于，所述振膜靠近所述基底一侧的表面设置有质量块，所述质量块置于所述基底的空腔中。2.根据权利要求1所述的压电超声换能器，其特征在于，所述质量块与所述振膜为一体结构。3.根据权利要求2所述的压电超声换能器，其特征在于，所述质量块和振膜由同种材料制成。4.根据权利要求1所述的压电超声换能器，其特征在于，所述质量块设置于所述振膜的中央。5.根据权利要求1所述的压电超声换能器，其特征在于，所述第二电极的尺寸小于所述振膜的尺寸。6.根据权利要求1所述的压电超声换能器，其特征在于，所述基底采用硅、蓝宝石、陶瓷、玻璃或聚合物中的任意一种制备而成。7.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱雁青，兰晓东，童贝，李杨，
申请(专利权)人：瑞声科技新加坡有限公司，
类型：发明
国别省市：新加坡,SG