一种脉诊仪传感器探头装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及脉诊传感器领域，具体的说是一种脉诊仪传感器探头装置。包括软塑套，阻尼孔，传感器芯片，其特征是：所述软塑套内嵌设有阻尼片，阻尼片上开设有阻尼孔，位于阻尼片上方的软塑套内设有传感器芯片，位于阻尼片和传感器芯片外的软塑套内填充有液态硅。本实用新型专利技术同现有技术相比，适应性能强，受温度影响较低；使用液态硅油作为填充介质，利用硅的压阻效应，通过半导体平面工艺，在一定晶向硅片的一定位置上扩散电阻,连接成惠斯通电桥，将硅片加工成周边固支的膜片,就做成了扩散硅压力传感器的芯片，同传统的应力变化的传感器相比，灵敏度大大提高；通过在流体硅中增加阻尼孔，从而能缓冲瞬时压力，从而使采集的信号噪声明显减小。

A pulse sensor probe device

The utility model relates to a pulse sensor field, in particular to a pulse sensor probe device. Including the soft plastic sleeve, damping hole, sensor chip, which is characterized in that the soft plastic sleeve is embedded and damping, the damping plate is provided with a damping hole, located above the soft plastic film damping sleeve is provided with a sensor chip, is located in the damping sheet and a sensor chip soft plastic cover filled with liquid silicon. The utility model has the advantages of strong adaptability, affected by temperature is low; the use of liquid silicone oil as filling medium, based on the piezoresistive effect of silicon, the semiconductor planar process, diffusion resistance to a certain position on a silicon wafer in a crystal, connected in a Wheatstone bridge, will be processed into silicon clamped diaphragm. It made the diffusion silicon pressure sensor chip, compared with the traditional sensor should be changed, the sensitivity is greatly improved; by increasing the damping hole in the silicon fluid, which can buffer the instantaneous pressure, so that the signal acquisition noise decreases obviously.

【技术实现步骤摘要】
一种脉诊仪传感器探头装置
本技术涉及脉诊传感器领域，具体的说是一种脉诊仪传感器探头装置。
技术介绍
近年来，为实现中医脉诊的客观化，研制和开发脉诊仪在国内掀起了一个小高潮。随着科技的发展，脉诊仪的研究技术也越加深入，探测脉象信息的传感器和脉象信息的分析和处理方法是中医脉诊仪的关键技术部分。目前，脉诊仪传感器研究较多的为：压电式传感器、压阻式传感器、磁弹式传感器、光电式传感器等等。其中，压电式传感器是根据压电材料的特性将压力信号转换为电信号，其结构简单、实验结果重现性好，检测的精密度也很高，但由于电荷易跑失，造成成本较高，所以其通用性收到限制；压阻式传感器是利用电阻率随应力变化的性质制成的，目前应用广泛，缺点是精度、线性度都较低；磁弹式传感器是将传感器作用力变换成导磁率，导磁率变化信号输出相应的电信号，他的输出功率大、信号强、结构简单，然而目前研究并不完善，技术相应也受到限制；光电式传感器是利用透过组织的光线随血流波动方式变化，将接收的光信号转化为电信号，具有抗干扰能力强，灵敏度高，良好的线性度等特性，但因机理不够成熟，监测指标较少。
技术实现思路
本技术为克服现有技术的不足，设计一种可以有效避免出现传统压阻式传感器采集采集数据时出现的精度和灵敏度不够问题的脉诊仪传感器探头装置。为实现上述目的，设计一种脉诊仪传感器探头装置，包括软塑套，阻尼孔，传感器芯片，其特征是：所述软塑套内嵌设有阻尼片，阻尼片上开设有阻尼孔，位于阻尼片上方的软塑套内设有传感器芯片，位于阻尼片和传感器芯片外的软塑套内填充有液态硅。所述传感器芯片固定在软塑套的顶部内侧面上。本技术同现有技术相比，可广泛应用于各种脉象采集装置，且适应性能强，受温度影响较低；使用液态硅油作为填充介质，利用硅的压阻效应，通过半导体平面工艺，在一定晶向硅片的一定位置上扩散电阻,连接成惠斯通电桥，将硅片加工成周边固支的膜片,就做成了扩散硅压力传感器的芯片，同传统的应力变化的传感器相比，灵敏度大大提高；通过在流体硅中增加阻尼孔，从而能缓冲瞬时压力，从而使采集的信号噪声明显减小。附图说明图1为现有技术的结构示意图。图2为本技术的结构示意图。图3为使用现有技术采集的波形图。图4为本技术采集的波形图。参见图1～图4，其中，1是液态硅，2是阻尼孔，3是传感器芯片，4是软塑套，5是阻尼片。具体实施方式下面根据附图对本技术做进一步的说明。如图1所示，该探头为传统脉诊传感器探头，将该探头装入脉诊仪中，进行关脉的采集，采集后波形如图3所示，波形较为完整，波峰较杂乱。本技术使用时，如图2所示，该探头为加入阻尼孔后的传感器探头，将该探头装入脉诊仪中，进行关脉的采集。所述软塑套4内嵌设有阻尼片5，阻尼片5上开设有阻尼孔3，位于阻尼片5上方的软塑套4内设有传感器芯片3，位于阻尼片5和传感器芯片3外的软塑套4内填充有液态硅1。所述传感器芯片3固定在软塑套4的顶部内侧面上。采集后波形如图4所示，波形完整，且所收集到的信号峰，噪声较小，未见高频毛刺出现。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种脉诊仪传感器探头装置，包括软塑套，阻尼孔，传感器芯片，其特征是：所述软塑套（4）内嵌设有阻尼片（5），阻尼片（5）上开设有阻尼孔（2），位于阻尼片（5）上方的软塑套（4）内设有传感器芯片（3），位于阻尼片（5）和传感器芯片（3）外的软塑套（4）内填充有液态硅（1）。

【技术特征摘要】
1.一种脉诊仪传感器探头装置，包括软塑套，阻尼孔，传感器芯片，其特征是：所述软塑套（4）内嵌设有阻尼片（5），阻尼片（5）上开设有阻尼孔（2），位于阻尼片（5）上方的软塑套（4）内设有传感器芯...

【专利技术属性】
技术研发人员：田胜利，
申请(专利权)人：上海世道健康科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31