一种抗PID设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种抗PID设备，包括臭氧发生器和箱体，所述箱体内部从上至下依次设有臭氧喷淋器、导流板和硅片传送装置，所述臭氧喷淋器与所述臭氧发生器连接，所述箱体下部设有臭氧排放管路，所述导流板形状为向上凸起的弓形。本实用新型专利技术的有益效果：通过设置弓形导流板，从而使得臭氧喷淋器喷出的气体流向得到更改，尤其是箱体边缘的气流能够与硅片产生一定角度，使臭氧与硅片的接触更充分，形成的氧化硅膜也更加均匀，进而达到提高产品质量的技术效果。

An anti PID device

The utility model discloses an anti PID device comprises an ozone generator and a box body, the box body from top to bottom is provided with an ozone sprayer, guide plate and the wafer transfer device, the ozone sprayer is connected with the ozone generator, the lower part of the box body is provided with an ozone discharge pipe, wherein the shape of guide plate as to the arcuate convex. The utility model has the advantages that by setting the arcuate guide plate, thus making the flow of ozone gas spray ejected change, especially the air box can produce a certain angle with the edge of the wafer and the wafer, the ozone contact more fully, the formation of a silicon oxide film is more uniform, and achieve the effect of technology to improve the quality of products.

【技术实现步骤摘要】
一种抗PID设备
本技术涉及太阳能电池制造设备
，具体来说，涉及一种抗PID设备。
技术介绍
太阳能电池在抗PID(PotentialInducedDegradation，电位诱发衰减)工艺中，需要在臭氧槽中使用臭氧使得硅片表面形成一层氧化硅薄膜。现有技术中的抗PID设备通常是采用臭氧发生器产生臭氧，喷淋在硅片表面，但是，臭氧喷淋难以做到均匀覆盖，从而导致形成的氧化硅的薄膜也不够均匀，影响产品质量，此外，臭氧由于其过强的氧化性能，对人体有害，如何更好地处理产生的臭氧也是本领域一直以来致力于解决的技术问题之一。针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
针对相关技术中的上述技术问题，本技术提出一种抗PID设备，能够均匀地将臭氧喷淋在硅片表面，有效提高产品质量，并且能够很好地处理多余的臭氧，避免生产过程中臭氧对人体的损伤。为实现上述技术目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种抗PID设备，包括臭氧发生器和箱体，所述箱体内部从上至下依次设有臭氧喷淋器、导流板和硅片传送装置，所述臭氧喷淋器与所述臭氧发生器连接，所述箱体下部设有臭氧排放管路，所述导流板形状为向上凸起的弓形。进一步地，所述排放管路上设有风机。进一步地，所述排放管路包括与所述箱体底部连接的若干条支路以及与所述若干条支路底部均连接的主路。进一步地，所述箱体上开设有与所述硅片传送装置相配合的硅片进口和硅片出口。本技术的有益效果：通过设置弓形导流板，从而使得臭氧喷淋器喷出的气体流向得到更改，尤其是箱体边缘的气流能够与硅片产生一定角度，使臭氧与硅片的接触更充分，形成的氧化硅膜也更加均匀，进而达到提高产品质量的技术效果。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是根据本技术实施例所述的一种抗PID设备的结构示意图。图中：1.臭氧发生器；2.箱体；3.臭氧喷淋器；4.导流板；5.硅片传送装置；6.硅片进口；7.硅片出口；8.臭氧排放管路；9.风机。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1所示，根据本技术实施例所述的一种抗PID设备，包括臭氧发生器1和箱体2，所述箱体2内部从上至下依次设有臭氧喷淋器3、导流板4和硅片传送装置5，所述臭氧喷淋器3与所述臭氧发生器1连接，所述箱体2下部设有臭氧排放管路8，所述导流板4形状为向上凸起的弓形。臭氧发生器1产生的气体通过臭氧喷淋器3进入箱体2，再经过导流板4改变气体流向，靠箱体2左边的气体流向为右下，靠箱体2右边的气体流向为左下，随着硅片传送装置5从左向右运动，硅片可以与气体进行均匀而充分的接触，比现有技术中普通的臭氧喷淋器3直接进行喷洒效果要好得多。多余的臭氧从排放管路8排出，由于箱体2的存在，配合导流板4将气体向箱体2中部进行引导，再加上排放管路8的设置，使产生的臭氧不会泄露，避免臭氧接触人体和其他生产设备。为了更好地排放臭氧，所述排放管路8上设有风机9。风机9对管路8内的气体进行抽风，能够更加迅速地抽离多余的臭氧，避免臭氧的泄露。为了进一步高效地排放臭氧，所述排放管路8包括与所述箱体2底部连接的若干条支路以及与所述若干条支路底部均连接的主路。臭氧可以从三条支路排出，效率更高。为了方便运送硅片，所述箱体2上开设有与所述硅片传送装置相配合的硅片进口6和硅片出口7。可以将箱体2直接与其他太阳能电池生产设备相连，方便实用。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种抗PID设备，其特征在于，包括臭氧发生器（1）和箱体（2），所述箱体（2）内部从上至下依次设有臭氧喷淋器（3）、导流板（4）和硅片传送装置（5），所述臭氧喷淋器（3）与所述臭氧发生器（1）连接，所述箱体（2）下部设有臭氧排放管路（8），所述导流板（4）形状为向上凸起的弓形。

【技术特征摘要】
1.一种抗PID设备，其特征在于，包括臭氧发生器（1）和箱体（2），所述箱体（2）内部从上至下依次设有臭氧喷淋器（3）、导流板（4）和硅片传送装置（5），所述臭氧喷淋器（3）与所述臭氧发生器（1）连接，所述箱体（2）下部设有臭氧排放管路（8），所述导流板（4）形状为向上凸起的弓形。2.根据权利要求1所述的一种抗PID设备，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔红星，
申请(专利权)人：九江盛朝欣业科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江西,36