用于原子力显微镜的光学观察定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于原子力显微镜的光学观察定位装置，包括：原子力扫描头、探针架和光学成像装置；所述原子力扫描头包括箱体、激光器装置和光电探测器，所述箱体顶端设有开口；所述光学成像装置包括第一镜筒、一端与所述第一镜筒垂直连通的第二镜筒及设置在所述第二镜筒另一端的相机，所述第一镜筒内由下至上依次设置有物镜、半透半反镜和照明光源。本实用新型专利技术的用于原子力显微镜的光学观察定位装置结构简单，与原子力显微镜的扫描装置一体式组装，集成度高；采用精准的定焦定倍定位设计，无需手动调焦、无需变倍、无需调节光学观察视野位置，极大的方便了原子力显微镜的操作性，能够很轻易的找到待测的样本区域。

【技术实现步骤摘要】
用于原子力显微镜的光学观察定位装置
本技术涉及光学观察定位装置
，特别涉及一种用于原子力显微镜的光学观察定位装置。
技术介绍
原子力显微镜是通过检测待测样品表面和一个微型力极其敏感的探针针尖之间的原子间相互作用力来研究样品的表面结构及性质的。它是当前世界上分辨率最高的表面三维轮廓测量仪器，是材料科学研究及纳米检测领域中不可或缺的检测设备。我们知道在显微镜领域中，观测视野(也可称扫描范围)和观测分辨率之间是一个矛盾体。观察视野越大，分辨率往往比较低；反之，分辨率越高，其观察视野往往也比较小。原子力显微镜的分辨率非常高，当同时它的观察视野(一般称扫描范围)往往很小，而一般使用原子力显微镜观测样本时，所需要测的样品特征区域并不是均匀的分布在待测样品表面的，因此就会经常出现原子力显微镜所测的形貌结构并不在想测的样本区域范围内。所以在测量之前首先需要定位并找到待测的样本区域范围，这时候往往需要一个光学观察定位装置作为一个辅助，帮助原子力显微镜找到想测的样本区域。当前市场上的原子力显微镜一般都会配置光学观察定位装置，他们通常都是在原子力显微镜的结构上增加一个单筒体视显微镜，不仅使得仪器结构本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于原子力显微镜的光学观察定位装置，其特征在于，包括：原子力扫描头、探针架和设置于所述原子力扫描头上的光学成像装置；所述原子力扫描头包括箱体、设置于所述箱体内的激光器装置和设置于所述激光器装置对侧的光电探测器，所述箱体顶端设有开口；所述光学成像装置包括第一镜筒、一端与所述第一镜筒垂直连通的第二镜筒及设置在所述第二镜筒另一端的相机，所述第一镜筒内由下至上依次设置有物镜、半透半反镜和照明光源，所述第二镜筒内设置有滤光片。

【技术特征摘要】
1.一种用于原子力显微镜的光学观察定位装置，其特征在于，包括：原子力扫描头、探针架和设置于所述原子力扫描头上的光学成像装置；所述原子力扫描头包括箱体、设置于所述箱体内的激光器装置和设置于所述激光器装置对侧的光电探测器，所述箱体顶端设有开口；所述光学成像装置包括第一镜筒、一端与所述第一镜筒垂直连通的第二镜筒及设置在所述第二镜筒另一端的相机，所述第一镜筒内由下至上依次设置有物镜、半透半反镜和照明光源，所述第二镜筒内设置有滤光片。2.根据权利要求1所述的用于原子力显微镜的光学观察定位装置，其特征在于，所述第一镜筒外部套设有连接套筒，所述第一镜筒通过所述连接套筒配合嵌入所述开口内。3.根据权利要求2所述的用于原子力显微镜的光学观察定位装置，其特征在于，所述连接套筒中部外壁上连接有侧板，所述连接套筒上部的筒壁上开设有第一螺纹孔，所述侧板上开设有多个通孔。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：韩雄，都有为，王矛宏，钱锋，王辰成，
申请(专利权)人：苏州飞时曼精密仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32