一种制备高纯钛的设备制造技术

本申请公开了一种制备高纯钛的设备，包括用于原料钛发生卤化反应的反应装置(1)、用于钛的卤化物分解的分解装置(2)、循环装置(3)、真空发生装置(4)，所述反应装置(1)与所述分解装置(2)相连通，所述分解装置(2)设有感应加热部件(201)，以及用于钛析出的析出部件(202)，所述循环装置(3)与所述反应装置(1)、分解装置(2)分别连通，所述循环装置(3)用于将分解装置(2)中分解出的卤族元素收集送入反应装置(1)中，所述真空发生装置(4)与所述分解装置(2)连通，用于提供设备内的真空环境。本申请提供的制备高纯钛的设备，精确控制钛的卤化反应与分解反应的温度。

A kind of equipment for preparing high purity titanium

【技术实现步骤摘要】
一种制备高纯钛的设备
本申请涉及高纯钛
，特别是涉及一种制备高纯钛的设备。
技术介绍
集成电路中通常使用薄膜形式的钛硅化合物(TiSix)，氮化钛(TiN)、钨钛(W-Ti)等用做控制电极、扩散阻挡层、配线等材料。化合物薄膜主要通过溅射方法制备，而高纯钛可用于制作溅射靶材，以及生物材料中的捆扎材料等。作为溅射靶材或生物材料的高纯钛，必须充分除去Na、K等碱性金属，U、Th等放射性元素，Fe、Cr、Ni等重金属元素。另外，随着半导体的微型化，溅射设备腔体内的各种部件也开始采用与溅射靶同样材质的高纯钛。高纯钛的生产主要有克劳尔法、熔盐电解法及碘化钛热分解法等工艺。克劳尔法制备纯度可达3N～4N、熔盐电解法制备纯度可达到4N～5N，碘化钛热分解法可达到5N以上。现有的碘化钛热分解法是将低纯度的钛原料与碘一起充填于密闭的容器中发生碘化反应，合成碘化钛，容器内设有高温的钛细丝，对碘化钛进行热分解，析出高纯钛，游离的碘再与低纯度的钛原料发生碘化反应，重复上述过程，钛细丝不断增粗成高纯钛棒。现有的碘化钛热分解法，碘化反应与热分解反应在同一装置内发生，热分解的高温对低温的碘化反应产生影响，使得本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制备高纯钛的设备，其特征在于，包括用于原料钛发生卤化反应的反应装置(1)、用于钛的卤化物分解的分解装置(2)、循环装置(3)、真空发生装置(4)，所述反应装置(1)与所述分解装置(2)相连通，所述分解装置(2)设有感应加热部件(201)，以及用于钛析出的析出部件(202)，所述循环装置(3)与所述反应装置(1)、分解装置(2)分别连通，所述循环装置(3)用于将分解装置(2)中分解出的卤族元素收集送入反应装置(1)中，所述真空发生装置(4)与所述分解装置(2)连通，用于提供设备内的真空环境。

【技术特征摘要】
1.一种制备高纯钛的设备，其特征在于，包括用于原料钛发生卤化反应的反应装置(1)、用于钛的卤化物分解的分解装置(2)、循环装置(3)、真空发生装置(4)，所述反应装置(1)与所述分解装置(2)相连通，所述分解装置(2)设有感应加热部件(201)，以及用于钛析出的析出部件(202)，所述循环装置(3)与所述反应装置(1)、分解装置(2)分别连通，所述循环装置(3)用于将分解装置(2)中分解出的卤族元素收集送入反应装置(1)中，所述真空发生装置(4)与所述分解装置(2)连通，用于提供设备内的真空环境。2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述分解装置(2)的壳体由金属陶瓷制备，所述析出部件(202)设置在分解装置(2)的壳体内，所述感应加热部件(201)设置在所述分解装置(2)的壳体外。3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述钛析出的析出部件(202)具体为中空的钛管。4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述分解装置(2)还设有分解温度检测部件(203)，所述分解温度检测部件(203)一端设置在所述中空的钛管内部。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐嘉立，楚增勇，欧鹏，刘志宇，吴韡，
申请(专利权)人：株洲稀美泰材料有限责任公司，
类型：发明
国别省市：湖南,43