一种有助于力传感器重置的方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及有助于力传感器重置的方法和装置，该方法包括：生成力传感器的多个候选重置周期和多个候选重置次数，所述力传感器是通过将施加到其上的力的量值转换成电信号的形式来感测施加到其上的力的量值的传感器；以及，从所述多个候选重置周期和所述多个候选重置次数中，选取特定的候选重置周期和特定的候选重置次数，作为在重置所述力传感器时使用的重置周期和重置次数，其中，在所述多个候选重置周期和所述多个候选重置次数中，在按照所选取的候选重置周期和所选取的候选重置次数重置所述力传感器之后当未被施加力时所述力传感器感测到的力的量值的差异最小。该方法和装置能够提高在重置之后力传感器感测到的力的稳定性。

A method and apparatus can reset force sensor

The invention relates to a method and a device to help reset force sensor, the method includes generating a force sensor, a plurality of candidate reset cycle and a plurality of candidate reset times, the force sensor is converted into electrical signals in the form of sensor is applied to the amount of force value by applying to the on the amount of force; and, from the plurality of candidate reset cycle and the plurality of candidate number reset, reset cycle to select candidate specific and specific candidate reset times, as in the use of the force sensor when the reset and reset the reset cycle times, which, in the multiple candidate reset the cycle and the multiple candidate number after reset, reset period in accordance with the candidate selected and the selected candidate number reset resets the force sensor when the force is not applied when the force sensor The difference in the amount of the force to the force is minimal. The method and device can improve the stability of the force measured by the force sensor after the reset.

【技术实现步骤摘要】
一种有助于力传感器重置的方法和装置
本专利技术涉及半导体封装测试领域，具体地说涉及关于封装测试过程中对力传感器进行重置的方法和装置。
技术介绍
在倒装芯片封装工艺中，许多操作要求精确的力以取得良好的质量结果，并且力也是反映工艺过程异常的重要信号。受倒装芯片封装中的增加的输入/输出(I/O)密度、引脚间距、基片无核和低介电常数(k)的驱动，出现了一种通过在加热的时候施加压力以实现贴装的芯片贴装技术。不像传统的对流回流贴装技术，在这种新型贴装过程中，贴装头利用真空吸起芯片并且在芯片和基片对齐之后向下移动接触基片。在检测到芯片接触到基片之后，贴装头施加一定的力以压紧基片(力控制阶段)，然后利用该施加的不变的力来加热芯片。在检测到基片焊锡球融化之后，贴装头通过追逐、保持、回拉和冷却等工艺(位置控制阶段)来确保所有的基板焊锡球和芯片铜球都一一对应地连接在一起。在位置控制阶段阶段，力被看作是工艺的关键信号。如果存在力的任何异常，则表明发生异常，然后将触发响应流程(RFC)。在上述贴装过程中，使用由压电材料制成的力传感器(也称为压电类型的力传感器)来测量贴装头所施加的力的量值。当力被施加到压电类型的力传感器上时，将在该力传感器的正极和负极之间产生电压，如图1所示，其中，V表示电压，Q表示电量和C表示电容。压电类型的力传感器具有两个固有特性：噪声和累积效应。由于累积效应，即使没有力施加到压电类型的力传感器上，该力传感器感测到的力也显示上升或下降的趋势，如图2所示某类型压力传感器累计上升的示意图。为此，例如像体重秤一样，所有压电类型的力传感器在使用之前都需要重置为零。然而，在重置之后当未被施加力时压电类型的力传感器所感测到的力(下面将在重置之后当未被施加力时力传感器所感测到的力称作初始力)并不真正为零。如果放大在重置之后压电类型的力传感器所输出的指示初始力的力传感信号，则会发现该力传感信号像波浪形，如图3所示。从而，当对力传感器重置之后，力传感器所感测的初始力有可能处在波峰或波谷等。因此，在每次重置之后压电类型的力传感器所感测到的初始力都不相同，并不能稳定接近某个值。压电类型的力传感器所感测到的不稳定的初始力将导致在力控制阶段期间贴装头不能施加正确的力，并且导致在位置控制阶段期间产生许多虚假警报。
技术实现思路
鉴于以上问题，本专利技术的实施例提供一种有助于力传感器重置的方法和装置，其能够提高在重置之后力传感器所感测到的力的稳定性。按照本专利技术的实施例的一种力传感设备，包括：力传感器，用于通过将施加到所述力传感器上的力的量值转换成电信号的形式，来感测施加到所述力传感器上的力的量值；重置执行机构，用于在需要重置所述力传感器时，按照设定的重置周期重置所述力传感器设定的重置次数；以及，控制器，用于生成多个候选重置周期和多个候选重置次数，以及，从所述多个候选重置周期和所述多个候选重置次数中选取特定的候选重置周期和特定的候选重置次数，作为所述设定的重置周期和所述设定的重置次数，其中，在所述多个候选重置周期和所述多个候选重置次数中，在按照所选取的候选重置周期和所选取的候选重置次数重置所述力传感器之后当未被施加力时所述力传感器感测到的力的量值的差异最小。按照本专利技术的实施例的一种有助于力传感器重置的方法，包括：生成力传感器的多个候选重置周期和多个候选重置次数，所述力传感器是通过将施加到其上的力的量值转换成电信号的形式来感测施加到其上的力的量值的传感器；以及，从所述多个候选重置周期和所述多个候选重置次数中，选取特定的候选重置周期和特定的候选重置次数，作为在重置所述力传感器时使用的重置周期和重置次数，其中，在所述多个候选重置周期和所述多个候选重置次数中，在按照所选取的候选重置周期和所选取的候选重置次数重置所述力传感器之后当未被施加力时所述力传感器感测到的力的量值的差异最小。按照本专利技术的实施例的一种有助于力传感器重置的装置，包括：生成模块，用于生成力传感器的多个候选重置周期和多个候选重置次数，所述力传感器是通过将施加到其上的力的量值转换成电信号的形式来感测施加到其上的力的量值的传感器；以及，选取模块，用于从所述多个候选重置周期和所述多个候选重置次数中，选取特定的候选重置周期和特定的候选重置次数，作为在重置所述力传感器时使用的重置周期和重置次数，其中，在所述多个候选重置周期和所述多个候选重置次数中，在按照所选取的候选重置周期和所选取的候选重置次数重置所述力传感器之后当未被施加力时所述力传感器感测到的力的量值的差异最小。按照本专利技术的实施例的一种控制器，包括：处理器；以及，存储器，其上存储有可执行指令，其中，所述可执行指令当被执行时使得所述处理器执行前述的方法。按照本专利技术的实施例的一种机器可读介质，其上存储有可执行指令，其中，所述可执行指令当被执行时使得机器执行前述的方法。本专利技术的实施例的方案使用多个候选重置周期中的特定候选重置周期和多个候选重置次数中的特定候选重置次数，作为在重置力传感器时使用的重置周期和重置次数，其中，在该多个候选重置周期和该多个候选重置次数中，在按照该特定候选重置周期和该特定候选重置次数重置力传感器之后当未被施加力时力传感器感测到的力的量值的差异最小，因此，本专利技术的实施例的方案能够提高在重置之后力传感器感测到的力的稳定性。附图说明本专利技术的特征和优点通过以下结合附图的描述将变得更加显而易见。图1示出了压电类型的力传感器的工作原理的示意图；图2示出了压电类型的力传感器的噪声和累积效应的示意图；图3示出了压电类型的力传感器输出的力传感信号的放大示意图；图4示出了按照本专利技术的实施例的压电类型的力传感器的重置的示意图；图5示出了按照本专利技术的一个实施例的一种力传感设备的架构示意图；图6示出了按照本专利技术的一个实施例的一种有助于力传感器重置的方法的总体流程图；图7示出了按照本专利技术的一个实施例的一种有助于力传感器重置的方法的流程图；图8示出了按照本专利技术的一个实施例的一种有助于力传感器重置的装置的示意图；以及图9示出了按照本专利技术的一个实施例的一种控制器的示意图。具体实施方式现在将参考示例实施方式讨论本文描述的主题。应该理解，讨论这些实施方式只是为了使得本领域技术人员能够更好地理解从而实现本文描述的主题，并非是对权利要求书中所阐述的保护范围、适用性或者示例的限制。可以在不脱离本公开内容的保护范围的情况下，对所讨论的元素的功能和排列进行改变。各个示例可以根据需要，省略、替代或者添加各种过程或组件。例如，所描述的方法可以按照与所描述的顺序不同的顺序来执行，以及各个步骤可以被添加、省略或者组合。另外，相对一些示例所描述的特征在其它例子中也可以进行组合。如本文中使用的，术语“包括”及其变型表示开放的术语，含义是“包括但不限于”。术语“基于”表示“至少部分地基于”。术语“一个实施例”和“一实施例”表示“至少一个实施例”。术语“另一个实施例”表示“至少一个其他实施例”。术语“第一”、“第二”等可以指代不同的或相同的对象。下面可以包括其他的定义，无论是明确的还是隐含的。除非上下文中明确地指明，否则一个术语的定义在整个说明书中是一致的。专利技术人在研究如何提高在重置之后压电类型的力传感器所感测到的初始力的稳定性时发现，如果把在重置之后压电类型的力传感器所输出的指示初本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种力传感设备，包括：力传感器，用于通过将施加到所述力传感器上的力的量值转换成电信号的形式，来感测施加到所述力传感器上的力的量值；重置执行机构，用于在需要重置所述力传感器时，按照设定的重置周期重置所述力传感器设定的重置次数；以及控制器，用于生成多个候选重置周期和多个候选重置次数，以及，从所述多个候选重置周期和所述多个候选重置次数中选取特定的候选重置周期和特定的候选重置次数，作为所述设定的重置周期和所述设定的重置次数，其中，在所述多个候选重置周期和所述多个候选重置次数中，在按照所选取的候选重置周期和所选取的候选重置次数重置所述力传感器之后当未被施加力时所述力传感器感测到的力的量值的差异最小。

【技术特征摘要】
1.一种力传感设备，包括：力传感器，用于通过将施加到所述力传感器上的力的量值转换成电信号的形式，来感测施加到所述力传感器上的力的量值；重置执行机构，用于在需要重置所述力传感器时，按照设定的重置周期重置所述力传感器设定的重置次数；以及控制器，用于生成多个候选重置周期和多个候选重置次数，以及，从所述多个候选重置周期和所述多个候选重置次数中选取特定的候选重置周期和特定的候选重置次数，作为所述设定的重置周期和所述设定的重置次数，其中，在所述多个候选重置周期和所述多个候选重置次数中，在按照所选取的候选重置周期和所选取的候选重置次数重置所述力传感器之后当未被施加力时所述力传感器感测到的力的量值的差异最小。2.如权利要求1所述的力传感设备，其中，所述选取特定的候选重置周期和特定的候选重置次数包括：创建多个重置测试，每一个重置测试包括所述多个候选重置周期的其中一个和所述多个候选重置次数的其中一个；在按照所述多个重置测试中的任一重置测试所包括的候选重置周期和候选重置次数重置所述力传感器之后，在多个不同的时间点收集当未被施加力时所述力传感器感测到的力的量值，以得到所述任一重置测试对应的多个力的量值；计算所述任一重置测试对应的所述多个力的量值的均方差，作为所述任一重置测试对应的均方差；以及确定所述多个重置测试中的特定重置测试所包括的候选重置周期和候选重置次数，作为在重置所述力传感器时使用的重置周期和重置次数，其中，所述特定重置测试是所述多个重置测试中其对应的所述均方差最小的重置测试。3.如权利要求1所述的力传感设备，其中，所述生成多个候选重置周期包括：对所述力传感器进行重置；在重置所述力传感器之后，在多个不同的时间点收集当未被施加力时所述力传感器感测到的力的量值，以得到多个力的量值；将由所述多个力的量值形成的时域信号转换为频域信号；以及产生所述多个候选重置周期，其中，所述多个候选重置周期的每一个是由初始重置周期和多个周期偏移值的其中一个确定的，所述初始重置周期等于所述频域信号中幅值最大的频率的倒数。4.如权利要求1-3中的任意一个所述的力传感设备，其中，还包括：显示单元，其与所述力传感器连接，用于显示所述力传感器所感测的力的量值。5.如权利要求1-3中的任意一个所述的力传感设备，其中，所述力传感器包括由压电材料制成的用于将施加到所述力传感器上的力的量值转换成电信号的转换元件。6.如权利要求1-3中的任意一个所述的力传感设备，其中，还包括：输出接口，用于将所述力传感器所感测的力的量值输出给外部的显示器进行显示。7.一种有助于力传感器重置的方法，包括：生成力传感器的多个候选重置周期和多个候选重置次数，所述力传感器是通过将施加到其上的力的量值转换成电信号的形式来感测施加到其上的力的量值的传感器；以及，从所述多个候选重置周期和所述多个候选重置次数中，选取特定的候选重置周期和特定的候选重置次数，作为在重置所述力传感器时使用的重置周期和重置次数，其中，在所述多个候选重置周期和所述多个候选重置次数中，在按照所选取的候选重置周期和所选取的候选重置次数重置所述力传感器之后当未被施加力时所述力传感器感测到的力的量值的差异最小。8.如权利要求7所述的方法，其中，所述选取特定的候选重置周期和特定的候选重置次数包括：创建多个重置测试，每一个重置测试包括所述多个候选重置周期的其中一个和所述多个候选重置次数的其中一个；在按照所述多个重置测试中的任一重置测试所包括的...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗德均，
申请(专利权)人：英特尔产品成都有限公司，英特尔公司，
类型：发明
国别省市：四川,51