【技术实现步骤摘要】
一种单自由度柔性铰链
本技术涉及柔性铰链设计领域,尤其涉及一种带有自锁功能的一种单自由度柔性铰链。
技术介绍
在微型机械、半导体光刻、精密测量、超精密加工、微型装配、生物细胞操纵和纳米技术等领域,需要高性能的超精密定位工作台作为技术支持。超精密定位工作台的定位精度(输出位移)往往达到亚微米量级,因此要有相应精度的驱动部件,驱动部件的设计、制造成本都限制了超精密定位工作台的使用。柔性铰链作为一种位移的线性缩放机构,可以将输入位移等比例放大或缩小。由于柔性铰链发生的是弹性变形,因此放大或缩小比例的线性度好,可以将其用在定位工作台上,就可以用较低精度的驱动部件,通过位移等比例缩小,得到较高的控制精度。同时柔性铰链结构紧凑、体积小,可以做到无机械摩擦、无间隙,具有较高的位移分辨率,如专利CN102705661A、CN102490021A、CN101837586A、CN101770182A、CN1669744等公开的技术,都涉及到使用柔性铰链的微位移工作台,并且公开了机械式、压电陶瓷式等不同的位移驱动方式及其控制反馈方式。但是已有公开专利技术中对柔性铰链的性能要求不高,很少 ...
【技术保护点】
一种单自由度柔性铰链,包括基座(10),其特征在于:该基座(10)的正面(11)左部设有用于安装柔性铰链的定位孔(12);该基座(10)设贯穿正背面的通槽(20),该通槽(20)包括一L形槽(21)、一U形槽(22)和一第一横向槽(23),该U形槽(22)两上端分别接通L形槽(21)右端和第一横向槽(23)左端,该第一横向槽(23)右端通至基座(10)右侧,通过通槽(20)使基座(10)形成有一弹性悬空臂(30),该弹性悬空臂(30)之朝左侧面凹设凹槽(31),该凹槽(31)构成自由铰链位移输入端,该U形槽(22)之右侧部分构成限制弹性悬空臂(30)最大变形以起自锁功能的保 ...
【技术特征摘要】
1.一种单自由度柔性铰链,包括基座(10),其特征在于:该基座(10)的正面(11)左部设有用于安装柔性铰链的定位孔(12);该基座(10)设贯穿正背面的通槽(20),该通槽(20)包括一L形槽(21)、一U形槽(22)和一第一横向槽(23),该U形槽(22)两上端分别接通L形槽(21)右端和第一横向槽(23)左端,该第一横向槽(23)右端通至基座(10)右侧,通过通槽(20)使基座(10)形成有一弹性悬空臂(30),该弹性悬空臂(30)之朝左侧面凹设凹槽(31),该凹槽(31)构成自由铰链位移输入端,该U形槽(22)之右侧部分构成限制弹性悬空臂(30)最大变形以起自锁功能的保护间隙;该弹性悬空臂(30)之正面上设有输出响应部(40)。2.根据权利要求1所述的一种单自由度柔性铰链,其特征在于:该基座(10)的正面(11)左部中部沉设形成有阶梯台(13),该定位孔(12)设在阶梯台(13)上。3.根据权利要求1所述的一种单自由度柔性铰链,其特征在于:该U形槽(22)之右侧部分下端右凹形成截面成三角形的三角槽(221)。4.根据权利要求1或2或...
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