The invention discloses a system and a wafer scan mapping method, the sense of setting through each on a silicon wafer box slot position sensing unit can scan the wafer box in real-time mapping, information processing and storage unit and through wafer box set will scan the mapping information in real time to process equipment, so it can to process equipment to scan mapping in equipment in front of the loading platform in time after receiving a wafer cassette, which can directly transfer sheet, thus improving the production efficiency; can also realize the manufacturing execution system in real time scanning mapping information box of silicon wafer, promptly notify the relevant personnel of silicon wafer abnormal display box the treatment.
【技术实现步骤摘要】
一种硅片扫描映射方法及系统
本专利技术涉及半导体集成电路制造
,更具体地,涉及一种硅片扫描映射方法及系统。
技术介绍
在半导体集成电路制造中,自动化程度越来越高。其中,在200mm及300mm硅片生产加工中,普遍用到适用于200mm硅片的SMIFPOD(标准机械接口硅片盒)及适用于300mm硅片的FOUP(前开式硅片盒)来装载需加工的硅片。硅片加工过程中,在硅片被送至工艺设备内部进行加工前,需要对硅片盒内的硅片进行扫描映射(mapping),来确认硅片盒内的硅片数量、每片硅片所在位置以及是否有硅片叠片、斜放等错误状况发生,以避免在加工传片过程中出错。请参阅图1,图1是现有的一种300mm设备前端结构示意图。如图1所示,工艺设备前端(EFEM)101设有装载台(loadport)103以及扫描映射模块102。当硅片盒104放置于装载台103上准备作业时,在开始作业前,扫描映射模块102会对硅片盒内部装有的硅片进行扫描确认。请参阅图2,图2是现有的一种300mm硅片盒内部结构示意图。如图2所示,常用的硅片盒104内可具有25个用于放置硅片的槽位(slot1~25),在每个槽位两侧设有支撑硅片的凹槽108。当扫描映射模块102对硅片盒104内部进行扫描后,其就可以确认在例如其中一个槽位105位置有一枚正常摆放的硅片。而如有异常时,比如在另一个槽位106位置有两枚硅片放在同一个槽位内形成叠片时,或者在又一个槽位107位置有一枚硅片被斜放时,设备根据扫描映射信息,就可以确认能否正常从各槽位位置拾取硅片,或者将硅片放置在正确的槽位位置。在上述现有技术中,对硅片进 ...
【技术保护点】
一种硅片扫描映射系统,其特征在于,包括:感测单元,设于硅片盒内的每个槽位位置,用于检测每个槽位位置是否放置有硅片及硅片放置状态;信息处理及存储单元,设于硅片盒上,用于根据感测单元的检测结果形成扫描映射信息,并实时传递给需要处理硅片盒内硅片的工艺设备。
【技术特征摘要】
1.一种硅片扫描映射系统,其特征在于,包括:感测单元,设于硅片盒内的每个槽位位置,用于检测每个槽位位置是否放置有硅片及硅片放置状态;信息处理及存储单元,设于硅片盒上,用于根据感测单元的检测结果形成扫描映射信息,并实时传递给需要处理硅片盒内硅片的工艺设备。2.根据权利要求1所述的硅片扫描映射系统,其特征在于,每个所述槽位的两侧设有支撑硅片的凹槽,所述感测单元分设于凹槽的底面,用于进行重量检测。3.根据权利要求2所述的硅片扫描映射系统,其特征在于,所述感测单元为压力传感器。4.根据权利要求1所述的硅片扫描映射系统,其特征在于,还包括控制及执行单元,所述控制及执行单元设于物料控制系统和制造执行系统,用于使物料控制系统和制造执行系统依次接收来自所述信息处理及存储单元的扫描映射信息,并实时传递给需要处理硅片盒内硅片的工艺设备。5.一种硅片扫描映射方法,使用权利要求1所述的硅片扫描映射系统,其特征在于,包括以下步骤:步骤S01:在硅片盒内完成硅片取放;步骤S02:通过感测单元对每个槽位位置是否放置有硅片及硅片放置状态进行检测;步骤S03:通过信息处理及存储单元根据感测单元的检测结果形成扫描映射信息;步骤S04:通过信息处理及存储单元将扫描映射信息实时传递给需要处理硅片盒内硅片的工艺设备。6.根据权利要求5所述的硅片扫描映射方法,其特征在于,通过将感测单元分设于每个所述槽位两侧用于支撑硅片的凹槽底面,并以对应的每对感测单元所检测到的重量...
【专利技术属性】
技术研发人员:李佳青,
申请(专利权)人:上海微阱电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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