基于一维光子晶体耦合微环腔的生物传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于一维光子晶体耦合微环腔的生物传感器，包括第一直波导、微环谐振腔和第二直波导，微环谐振腔位于第一直波导和第二直波导之间，第一直波导和微环谐振腔耦合形成耦合点，第一直波导上设有一维光子晶体组，一维光子晶体组水平的分布在第一直波导上；一维光子晶体组包括非均匀圆孔组和均匀圆孔组，第一直波导上从两端到耦合点的方向上依次对称的设有均匀圆孔组和非均匀圆孔组。本发明专利技术所提供的基于一维光子晶体耦合微环腔的生物传感器，通过在输入直波导上刻蚀一维光子晶体，相较于传统微环谐振腔所产生的对称线型(洛伦兹线型)，非对称线型在传感领域更加有优势。

Biosensor based on one dimensional photonic crystal coupled microring cavity

【技术实现步骤摘要】
基于一维光子晶体耦合微环腔的生物传感器
本专利技术属于对化学或生物物质的检测
，具体涉及一种基于一维光子晶体耦合微环腔的生物传感器。
技术介绍
生物传感器是由识别单元和换能器构成的，对被测物具有高度选择性的检测器。根据换能器的不同，可以把生物传感器分成不同的类别，如电化学生物传感器、光学生物传感器、热生物传感器、半导体生物传感器、电导/阻抗生物传感器和声波生物传感器等。其中，光学生物传感器具有无损操作模式、抗电磁干扰、高灵敏度、高速信号产生、高速读取速率等优点，具有非常广阔的前景，受到越来越广泛的关注。SOI光学生化传感器是本领域的研究热点，从现有的基于SOI的光学生化传感器来看，大多采用了倏逝波探测原理，即周围媒介的折射率或浓度的改变会导致波导有效折射率的改变，而有效折射率的改变会导致光谱的移动。用光电探测器检测光谱的移动即可得知被测物质的浓度或折射率信息。目前光学生化传感器的光波导结构有包括微环腔、微盘腔、微球腔、光子晶体微腔等结构。对于这些结构，其传感方式分为两种，一种是基于谐振波长移动的传感，即通过检测谐振波长的移动来感知外界物质的浓度或者折射率等信息；另外一种是基于强本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于一维光子晶体耦合微环腔的生物传感器，其特征在于：包括第一直波导(11)、微环谐振腔(14)和第二直波导(12)，微环谐振腔(14)位于第一直波导(11)和第二直波导(12)之间，第一直波导和微环谐振腔耦合形成耦合点(13)，第一直波导(11)上设有一维光子晶体组(15)，一维光子晶体组(15)水平的分布在第一直波导(11)上。

【技术特征摘要】
1.一种基于一维光子晶体耦合微环腔的生物传感器，其特征在于：包括第一直波导(11)、微环谐振腔(14)和第二直波导(12)，微环谐振腔(14)位于第一直波导(11)和第二直波导(12)之间，第一直波导和微环谐振腔耦合形成耦合点(13)，第一直波导(11)上设有一维光子晶体组(15)，一维光子晶体组(15)水平的分布在第一直波导(11)上。2.根据权利要求1所述的基于一维光子晶体耦合微环腔的生物传感器，其特征在于：所述一维光子晶体组(15)包括非均匀圆孔组(16)和均匀圆孔组(17)，第一直波导(11)上从两端到耦合点(13)的方向上依次对称的设有均匀圆孔组(17)和非均匀圆孔组(16)。3.根据权利要求2所述的基于一维光子晶体耦合微环腔的生物传感器，其特征在于：所述均匀圆孔组(17)和非均匀圆孔组(16)关于耦合点(13)呈中心对称分布在第一直波导(11)上，均匀圆孔组(17)离第一直波导(11)中心的距离大于非均匀圆孔(16)离第一直波导(11)中心的距离。4.根据权利要求3所述的基于一维光子晶体耦合微环腔的生物传感器，其特征在于：所述非均匀圆孔组(16)中圆孔的直径依次增大，离耦合点(13)最近的圆孔直径最大。5.根据权利要求3所述的基于一维光子晶体耦合微环腔的生物传感...

【专利技术属性】
技术研发人员：王卓然，袁国慧，彭芳草，管磊，彭真明，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川,51