【技术实现步骤摘要】
用于处理待处理的物体的设备和方法和用于其的平台单元
本公开涉及一种用于处理待处理的物体(下文被称作主体)的设备和方法和用于其的平台单元,并且更具体地说涉及一种用于主体的能够容易支持各种尺寸的主体的平台单元以及一种用于处理所述主体的设备和方法。
技术介绍
一般来说,玻璃主体用作例如有机发光二极管显示器或液晶显示器的主体。这里,玻璃主体通过退火工艺被结晶处理或者改善结晶度。激光退火设备由激光源产生的脉冲激光束形成直线光束,该直线光束照射到安置于要使主体结晶的玻璃主体上的非晶硅薄膜上。这里,主体安放并且支撑在平台上,平台在垂直于激光束或相对于激光束稍微倾斜的方向上水平移动,以将激光束照射在主体的整个区域上。平台必须在稳定地支撑着各种尺寸的主体的状态下移动。现有技术中,为了在平台上支撑不同尺寸的主体,使用尺寸与待处理的主体相对应的托盘将主体固定在平台上。然而,由于现有技术中必须制造多个托盘用来处理各种主体,所以制造托盘所消耗的成本和时间会增加。也就是说,必须根据主体的尺寸制造不同尺寸的托盘,并且必须在平台上组装和拆分各种尺寸的托盘以处理各种尺寸的主体。因此,在平台上组装和拆分与主体尺寸相配的托盘所要花费的时间会不必要地增加,从而降低了主体处理过程的效率和生产率。[现有技术文献][专利文献](专利文献1)KR2005-0004434A(专利文献2)JP2013-0187293A
技术实现思路
本公开提供一种能够稳定地固定主体的用于各种尺寸的主体的平台单元,以及一种用于处理主体的设备和方法。本公开提供一种能够容易覆盖主体的非光照区的用于主体的平台单元,以及一种用于处理主体 ...
【技术保护点】
一种用于待处理的物体的平台单元,所述平台单元包括:底座,其包括一个表面、面对所述一个表面的另一个表面以及配置成将所述一个表面连接到所述另一个表面的侧表面;可变固定单元,其包括安装在所述底座上的可变固定部件,所述可变固定单元的位置对应于所述待处理的物体的尺寸为可变化的;以及控制单元,其连接到所述可变固定单元以根据所述待处理的物体的数据而控制所述可变固定部件的移动。
【技术特征摘要】
2016.07.26 KR 10-2016-00949131.一种用于待处理的物体的平台单元,所述平台单元包括:底座,其包括一个表面、面对所述一个表面的另一个表面以及配置成将所述一个表面连接到所述另一个表面的侧表面;可变固定单元,其包括安装在所述底座上的可变固定部件,所述可变固定单元的位置对应于所述待处理的物体的尺寸为可变化的;以及控制单元,其连接到所述可变固定单元以根据所述待处理的物体的数据而控制所述可变固定部件的移动。2.根据权利要求1所述的用于待处理的物体的平台单元,其中所述可变固定单元的至少一部分安置成从所述底座突出,且所述可变固定单元包括:主要可变固定本体,其安置成形成垂直于彼此的第一侧面和第二侧面,由此形成用于所述待处理的物体的参考固定侧面;以及辅助可变固定本体,其与所述主要可变固定本体隔开并且安置成平行于所述第一侧面和所述第二侧面。3.根据权利要求2所述的用于待处理的物体的平台单元,其中所述主要可变固定本体包括:主要导引部分,其沿着所述第一侧面和所述第二侧面延伸;以及主要固定部件,其沿着所述主要导引部分为可移动的。4.根据权利要求2所述的用于待处理的物体的平台单元,其中所述辅助可变固定本体安置成形成多个行和多个列,所述多个行和所述多个列分别平行于所述第一侧面和所述第二侧面安置,且所述辅助可变固定本体包括:辅助导引部分,其在平行于所述第一侧面和所述第二侧面中的一个的方向上在所述底座上延伸;以及辅助固定部件,其沿着所述辅助导引部分为可移动的。5.根据权利要求4所述的用于待处理的物体的平台单元,其中形成所述多个行和所述多个列的所述辅助可变固定本体不彼此重叠,并且所述辅助导引部分具有在离开所述参考固定侧面的方向上逐渐减小的延伸长度。6.根据权利要求1所述的用于待处理的物体的平台单元,其中所述控制单元包括:收集部分,其配置成收集所述待处理的物体的尺寸和厚度的数据;以及驱动控制部分,其配置成根据所述收集部分收集的所述数据控制所述可变固定单元的驱动。7.根据权利要求1所述的用于待处理的物体的平台单元,其进一步包括覆盖单元,所述覆盖单元连接到所述底座以覆盖所述待处理的物体的至少一个区域。8.根据权利要求1所述的用于待处理的物体的平台单元,其进一步包括:平台,所述底座的至少一个区域安放在所述平台上;以及转移单元,其配置成转移所述平台。9.一种处理待处理的物体的设备,所述设备包括:腔室,其具有处理所述待处理的物体用的处理空间;平台,其安置在所述腔室中;托盘,其包括固定部件,所述固定部件安置于所述平台上,且所述固定部件的位置对应于所述待处理的物体的尺寸为可变化的从而与所述待处理的物体接触;以及光照部分,其配置成在垂直于所述待处理的物体的转移方向的垂线上照射光。10.根据权利要求9所述的处理待处理的物体的设备,其中所述托盘包括:底座,其包括一个表面、面对所述一个表面的另一个表面以及配置成将所述一个表面连接到所述另一个表面的侧表面;主要可变固定本体,其对应于所述待处理的物体的尺寸为可变化的,且平行于所述待处理的物体...
【专利技术属性】
技术研发人员:李基雄,金镐岩,严泰骏,金圣进,
申请(专利权)人:AP系统股份有限公司,
类型:发明
国别省市:韩国,KR
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