一种差压传感器的温度补偿系统及方法技术方案

本发明专利技术提供一种差压传感器的温度补偿系统及方法，所述系统包括：一次补偿模块，一次补偿模块用于对差压信号进行补偿，从而获取第一差压信号；一次放大模块，一次放大模块用于对一次补偿模块供电，并对第一差压信号进行放大，从而获取第二差压信号；二次放大补偿模块，二次放大补偿模块用于对第二差压信号进行放大与补偿，从而获取第三差压信号。本发明专利技术提供的系统及方法，通过由硅压阻式双半桥组成的差分电路获取微弱的差压信号，并对差压信号进行二次放大与二次补偿，可实现标准的模拟信号输出，同时，减少了电路中运算放大器和匹配电阻的数量，使得传感器更趋小型化。此外，电路中均采用耐高温电子元器件，提高了测压耐温范围及高温可靠性。

A temperature compensation system and method for differential pressure sensor

The present invention provides a differential pressure sensor temperature compensation system and method, the system includes a compensation module, a compensation module is used to compensate for differential pressure signal, thereby obtaining the first differential signal; an amplifying module, an amplifying module for a compensation module, and the first differential pressure signal in order to gain amplification, second differential signals two times; two times magnification compensation module, amplifier compensation module is used for the second differential signal amplification and compensation, thus obtaining third differential pressure signal. System and method provided by the invention, the weak signal acquired by silicon piezoresistive double half bridge composed of differential circuit, and differential pressure signal of two times and two times magnification compensation, analog signal output, can achieve the standard at the same time, reduce the number of operational amplifiers and matching resistor, the sensor smaller. In addition, high temperature resistant electronic components are used in the circuit, which improves the temperature range of pressure measurement and the reliability of high temperature.

【技术实现步骤摘要】
一种差压传感器的温度补偿系统及方法
本专利技术涉及压力测量
，更具体地，涉及一种差压传感器的温度补偿系统及方法。
技术介绍
差压传感器是一种用来测量两个压力之间差值的传感器，通常用于测量某一设备或设备前后两端的压差，它在微流量测量、泄漏测试、洁净间监测、环境密封性检测、气体流量测量、液位高低测量等诸多高精度测量场合都有着广泛的应用。目前，差压传感器主要有硅压阻式和电容式两种。由于硅压阻式传感器具有灵敏度高，动态响应好，测量精度高，稳定性好，易于小型化和批量生产等优点，近年来发展非常迅速。但是，由于半导体的温度特性和封装引起的附加应力，硅压阻式传感器受温度影响而变化。所以，温度补偿一直是硅压阻式差压传感器的关键技术问题。硅压阻式差压传感器的温度补偿方法一般是采用两只压力敏感元件，分别测量高压端和低压端的压力输出，再利用精密的信号处理电路将微弱的电信号进行放大处理，实现标准的模拟信号输出。这种温度补偿的优点是原理简单可行，但是在电路中增加运放和匹配电阻的数量，占用较大的空间，不利于传感器的小型化。现有技术中另一种方法提出了一种由双半桥组成的双膜片式差压全桥的桥路设计，节省了元器件数本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种差压传感器的温度补偿系统，其特征在于，包括：一次补偿模块，所述一次补偿模块用于对差压信号进行补偿，从而获取第一差压信号；一次放大模块，所述一次放大模块用于对所述一次补偿模块供电，并对所述第一差压信号进行放大，从而获取第二差压信号，所述一次放大模块与所述一次补偿模块电连接；二次放大补偿模块，所述二次放大补偿模块用于对所述第二差压信号进行放大与补偿，从而获取第三差压信号，所述二次放大补偿模块与所述一次放大模块电连接。

【技术特征摘要】
1.一种差压传感器的温度补偿系统，其特征在于，包括：一次补偿模块，所述一次补偿模块用于对差压信号进行补偿，从而获取第一差压信号；一次放大模块，所述一次放大模块用于对所述一次补偿模块供电，并对所述第一差压信号进行放大，从而获取第二差压信号，所述一次放大模块与所述一次补偿模块电连接；二次放大补偿模块，所述二次放大补偿模块用于对所述第二差压信号进行放大与补偿，从而获取第三差压信号，所述二次放大补偿模块与所述一次放大模块电连接。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：感压模块，所述感压模块包括左半桥和右半桥，所述左半桥由惠斯通电桥左半部分的第一桥臂电阻和第二桥臂电阻组成，所述左半桥用于感知外部设备高压端压力，所述右半桥由惠斯通电桥右半部分的第三桥臂电阻和第四桥臂电阻组成，所述右半桥用于感知外部设备低压端压力，根据所述左半桥和所述右半桥组成的差分电路获取差压信号。3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述一次补偿模块包括：调零位温漂电阻，所述调零位温漂电阻的一端与第一转接位连接，所述调零位温漂电阻的另一端接参考电压，所述调零位温漂电阻用于补偿所述差压传感器的零点漂移对所述差压信号带来的影响。4.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述一次补偿模块还包括：调零电阻和满量程调节电阻，所述调零电阻的一端与所述第二桥臂电阻连接，所述调零电阻的另一端与所述第四桥臂电阻连接；所述满量程调节电阻的一端与第二转接位连接，所述满量程调节电阻的另一端接地；所述调零电阻用于补偿所述差压传感器的零点输出，所述满量程调节电阻用于补偿所述差压传感器的满量程输出。5.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述一次放大模块包括：仪表放大器，所述仪表放大器用于给所述一次补偿模块和所述感压模块提供参考电压，并通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：任重，周璇，蔡婷，
申请(专利权)人：武汉中航传感技术有限责任公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42