The invention discloses a device for electromagnetic high precision micro force, including top-down ring connected end cover, cantilever and substrate, the substrate is set to a cylinder with axial cavity, the outer wall of the substrate is provided with a ring groove along the circumference, the ring groove of a winding coil winding; the cantilever comprises an annular fixed base, connected with a cantilever round the fixed base and the cantilever is connected with a mounting plate, the fixed base, the cantilever and the installation piece is provided with an integral structure, the installation piece is arranged at the bottom part of the columnar permanent magnet. The invention can produce micro cow and nano cattle force accurately, and has the characteristics of high accuracy, fast response speed, etc., and is suitable for the system of precise ultramicro force driving.
【技术实现步骤摘要】
一种电磁式高精度超微力的发生装置
本专利技术设计一种装置,更具体的说,是涉及一种电磁式高精度超微力的发生装置。
技术介绍
随着科技的发展,新材料、新产品的出现,纳米测量的实验仪器的应用越来越广泛。微机电系统(MEMS)中微尺度下构件的力学特性研究,需要提供高精度微小力的产生与测量系统。但是目前微小力值的计量体系还未形成统一的溯源标准,所以迫切需要研究专利技术一种高精度超微力的发生装置。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服现有技术中的不足,提供了一种电磁式高精度超微力的发生装置,能够精确的产生微牛级、纳牛级的作用力,具有高精度、响应速度快等特点。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的。一种电磁式高精度超微力的发生装置,包括由上至下依次连接的环形端盖、悬臂梁构件和基体,所述基体设置为带轴向空腔的圆柱形,所述基体外壁沿圆周设置有环形凹槽,所述环形凹槽内缠绕有绕组线圈;所述悬臂梁构件包括环形固定基座,所述固定基座内圆连接有悬臂,所述悬臂连接有安装片,所述固定基座、悬臂和安装片设置为一体结构,所述安装片底部设置有柱状永磁体。所述悬臂梁构件和基体之间设置有用于调整永磁体轴向高度的环形垫片。所述端盖、悬臂梁构件、垫片、基体和永磁体沿同轴线设置。所述端盖、悬臂梁构件、垫片和基体均设置有螺纹孔,彼此之间通过轴向设置的沉头螺栓固定连接。所述永磁体设置为圆柱形,采用钕铁硼永磁铁。所述安装片设置为圆盘形,与基体同轴线设置。所述悬臂梁构件采用铜铍合金材料,通过刻蚀方法进行加工制作,壁厚达到微米级要求。所述固定基座和安装片厚度为150μm,所述悬臂厚度为40μm~60μm,优选5 ...
【技术保护点】
一种电磁式高精度超微力的发生装置,其特征在于,包括由上至下依次连接的环形端盖(2)、悬臂梁构件(3)和基体(5),所述基体(5)设置为带轴向空腔的圆柱形,所述基体(5)外壁沿圆周设置有环形凹槽,所述环形凹槽内缠绕有绕组线圈(7);所述悬臂梁构件(3)包括环形固定基座(301),所述固定基座(301)内圆连接有悬臂(302),所述悬臂(302)连接有安装片(303),所述固定基座(301)、悬臂(302)和安装片(303)设置为一体结构,所述安装片(303)底部设置有永磁体(6)。
【技术特征摘要】
1.一种电磁式高精度超微力的发生装置,其特征在于,包括由上至下依次连接的环形端盖(2)、悬臂梁构件(3)和基体(5),所述基体(5)设置为带轴向空腔的圆柱形,所述基体(5)外壁沿圆周设置有环形凹槽,所述环形凹槽内缠绕有绕组线圈(7);所述悬臂梁构件(3)包括环形固定基座(301),所述固定基座(301)内圆连接有悬臂(302),所述悬臂(302)连接有安装片(303),所述固定基座(301)、悬臂(302)和安装片(303)设置为一体结构,所述安装片(303)底部设置有永磁体(6)。2.根据权利要求1所述的电磁式高精度超微力的发生装置,其特征在于,所述悬臂梁构件(3)和基体(5)之间设置有用于调整永磁体(6)轴向高度的环形垫片(4)。3.根据权利要求2所述的电磁式高精度超微力的发生装置,其特征在于,所述端盖(2)、悬臂梁构件(3)、垫片(4)、基体(5)和永磁体...
【专利技术属性】
技术研发人员:周重凯,田延岭,王福军,郭志永,张大卫,
申请(专利权)人:天津大学,
类型:发明
国别省市:天津,12
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