一种电镜测试平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种电镜测试平台，包括测试平台，所述测试平台上沿一方向间隔设置有至少两个测试支撑板，所述测试支撑板沿垂直于所述测试平台的方向向上延伸，相邻两个所述测试支撑板之间形成用于放置待测试样品的空隙，每个所述测试支撑板的对应于所述空隙的侧面均设置有柔性导电层，测试时，样品立设于所述空隙中并夹持于该空隙对应的两个所述柔性导电层之间，以便于观察样品的端面。另外，所述测试平台上还设置有放大镜，所述放大镜能够移动至任意所述空隙的上方。该电镜测试平台，能够有效提高测试效率，避免样品掉入电镜的真空腔内污染腔体。

A test platform for electron microscopy

The utility model discloses an electron microscope test platform, including the test platform, the test platform along a direction interval is provided with at least two test support plate, the support plate along the direction of the test perpendicular to the test platform extends upwards of two adjacent the test gap for placing test samples formed between the supporting board, each side of the corresponding test support plate in the gap are provided with a flexible conductive layer, when the test stand is arranged in the gap between the sample and clamped in the gap corresponding to the two conductive layer of the flexible, easy to observe the sample to end. In addition, a magnifying mirror is also arranged on the test platform, the magnifying mirror can be moved to the upper part of any of the gaps. The test platform of the electron microscope can effectively improve the test efficiency and avoid the samples falling into the vacuum cavity of the vacuum chamber.

【技术实现步骤摘要】
一种电镜测试平台
本技术涉及测试装置
，尤其涉及一种用于观察PERC背面铝硅层厚度的电镜测试平台。
技术介绍
现有技术中，扫描电镜是一种样品制备简单、分辨高、综合分析能力强的测试分析设备，已广泛应用于各类材料的表面和截面微观分析。目前太阳新型电池PERC技术正在产线逐步推广，在工艺监测中需要用电镜来测试硅铝合金层厚度，这时需要大量的硅铝合金厚度的测试数据。PERC是钝化发射极背面接触点技术，在激光开孔这一工艺流程中有line式开孔，dash式开孔和dot式开孔，也就是开孔呈线状、线段状、点状，而需要观察制备的截面是与这些线、线段、点相互垂直的，当电池片是线状开孔则在测试时很容易，当电池片是线段或是点开孔时，制备样品存在很大难度，尤其是点状，这是因为无法控制电池片的碎裂方向，只能在现有碎裂方向中选取合适的样品，这时选用普通的光镜，如图1所示，其在测试时，将待测试的样品100粘贴在圆形的测试平台1’的侧面，将存在如下问题：1、样品100与测试平台1’之间的接触点较少，因而无法采集较多的数据，且导电性不好；2、一个测试平台1’最多能够贴5个样品100，因而测试过程中，需要频繁更换测试本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电镜测试平台，包括测试平台(1)，其特征在于，所述测试平台(1)上沿一方向间隔设置有至少两个测试支撑板(2)，所述测试支撑板(2)沿垂直于所述测试平台(1)的方向向上延伸，相邻两个所述测试支撑板(2)之间形成用于放置待测试样品(100)的空隙，每个所述测试支撑板(2)的对应于所述空隙的侧面均设置有柔性导电层(3)，测试时，样品(100)立设于所述空隙中并夹持于该空隙对应的两个所述柔性导电层(3)之间，以便于观察样品(100)的端面。

【技术特征摘要】
1.一种电镜测试平台，包括测试平台(1)，其特征在于，所述测试平台(1)上沿一方向间隔设置有至少两个测试支撑板(2)，所述测试支撑板(2)沿垂直于所述测试平台(1)的方向向上延伸，相邻两个所述测试支撑板(2)之间形成用于放置待测试样品(100)的空隙，每个所述测试支撑板(2)的对应于所述空隙的侧面均设置有柔性导电层(3)，测试时，样品(100)立设于所述空隙中并夹持于该空隙对应的两个所述柔性导电层(3)之间，以便于观察样品(100)的端面。2.根据权利要求1所述的电镜测试平台，其特征在于，所述测试平台(1)上还设置有放大镜(6)，所述放大镜(6)能够移动至任意所述空隙的上方。3.根据权利要求1或2所述的电镜测试平台，其特征在于，相邻两个所述测试支撑板(2)之间的所述空隙的宽度可调；所述测试支撑板(2)的厚度为500μm-4mm；所述柔性导电层(3)的厚度为30μm-150μm。4.根据权利要求3所述的电镜测试平台，其特征在于，所述测试平台(1)上沿所述方向设置有滑轨(10)，所述测试支撑板(2)设置有移动机构，所述移动机构与所述滑轨(10)配合，以使所述测试支撑板(2)沿着所述滑轨(10)移动。5.根据权利要求4所述的电镜测试平台，其特征在于，所述滑轨(10...

【专利技术属性】
技术研发人员：李琰琪，王栩生，涂修文，邢国强，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32