形状测量设备的控制方法技术

本发明专利技术涉及一种形状测量设备的控制方法。根据合成速度矢量V来生成扫描测量中的探测器移位指令：V＝Gf·Vf+Ge·Ve+sg(p)·Gc·Vc2其中：Vf是探测器沿着扫描路径移位所沿着的矢量；Ve是使探测器的向着工件的压入量维持于标准压入量的矢量。Vc2由(Vc1·q)q来表示，Vc1是在校正探测器位置使得触针头沿着扫描轨道取向的方向上的矢量，q是由工件的表面的法线与Vf的外积给出的矢量。将被测面的法线方向指定为Nw，p是Vc和Nw的内积，并且sg(p)是根据p的值而返回+1或‑1的函数。

Control method of shape measuring equipment

The invention relates to a control method of a shape measuring device. To generate the scanning measurement of the detector in the shift instruction according to the synthesis of velocity vector V: V = Gf - Vf+Ge - Ve+sg - Gc - Vc2 (P) where: Vf is the detector along the scanning path shift along the vector; Ve is the detector to press the workpiece to maintain vector in the standard press volume. Vc2 is represented by (Vc1. Q) Q. Vc1 is the vector that corrections the location of the detector to make the contact pin orientations along the scanning track, and Q is the vector given by the outer product of the normal surface of the workpiece and Vf. Will be measured in the normal direction is designated as Nw, Vc and P is the inner product of Nw, and SG (P) is based on the value of P and +1 or 1 return function.

【技术实现步骤摘要】
形状测量设备的控制方法
本专利技术涉及一种形状测量设备的控制方法。
技术介绍
已知有通过沿着被测物的表面进行探测器的扫描移位来测量被测物的形状的形状测量设备(例如，参见日本特开2008-241420、日本特开2013-238573和日本特开2014-021004)。此外，还已知有在自主轨道(course)校正期间进行扫描测量的方法(日本特开2013-238573)，其中在该方法中，连续地计算压入校正矢量以使探测器的压入量保持恒定。将诸如该示例中等的标称扫描称为“主动标称扫描测量”。为了提供日本特开2013-238573中所公开的“主动标称扫描测量”的简单介绍，在“主动标称扫描测量”中，将如以下的等式1中所表示的合成矢量V视为针对探测器的移位指令。在探测器基于合成矢量V而移位的情况下，在探测器(触针头)沿着预定义的扫描路径移位的同时，实现使压入量保持恒定的针对工件表面的扫描测量(即，“主动标称扫描测量”)。在以下说明中，将“预定义的扫描路径”称为“标称扫描路径”。V＝Gf×Vf+Ge×Ve+Gc×Vc...(等式1)参考图1来简单说明该等式的含义。在图1中，标称扫描路径相对于工件的设计本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种形状测量设备的控制方法，所述形状测量设备包括：探测器，其远端具有触针头；以及移位机构，用于使所述探测器移位，所述形状测量设备用于检测所述触针头和工件的表面之间的接触并测量所述工件的形状，所述控制方法包括以下步骤：基于所述工件的设计数据来求出所述触针头移位所沿着的扫描路径；在控制所述探测器向着所述工件的压入量以维持标准压入量的同时，使所述触针头沿着所述扫描路径移位；以及经由所述形状测量设备的运动控制器，根据合成速度矢量V来生成探测器移位指令，其中所述合成速度矢量V通过以下等式来表示：合成速度矢量V＝Gf·Vf+Ge·Ve+sg(p)·Gc·Vc2其中，路径速度矢量Vf是所述探测器沿着所述扫描...

【技术特征摘要】
2016.07.14 JP 2016-1398161.一种形状测量设备的控制方法，所述形状测量设备包括：探测器，其远端具有触针头；以及移位机构，用于使所述探测器移位，所述形状测量设备用于检测所述触针头和工件的表面之间的接触并测量所述工件的形状，所述控制方法包括以下步骤：基于所述工件的设计数据来求出所述触针头移位所沿着的扫描路径；在控制所述探测器向着所述工件的压入量以维持标准压入量的同时，使所述触针头沿着所述扫描路径移位；以及经由所述形状测量设备的运动控制器，根据合成速度矢量V来生成探测器移位指令，其中所述合成速度矢量V通过以下等式来表示：合成速度矢量V＝Gf·Vf+Ge·Ve+sg(p)·Gc·Vc2其中，路径速度矢量Vf是所述探测器沿着所述扫描路径移位的矢量，压入校正矢量Ve是将所述探测器向着所述工件的压入量维持于所述标准压入量所用的矢量，第二轨道校正矢量Vc2由(Vc1·q)q来表示，第一轨道校正矢量Vc1是对探测器位置进行校正使得所述触针头沿着扫描轨道取向的方向上的矢量，轨道校正方向矢量q是由所述工件的表面的法线与所述路径速度矢量Vf的外积给出的矢量，在基于所述工件的设计数据所计算出的被测面的法线方向被定义为标称的法线方向矢量Nw的情况下，p是所述第二轨道校正矢量Vc2和标称的法线方向矢量Nw的内积，并且数学符号确定函数sg(p)是根据p的值而返回+1或-1的函数，以及Gf、Ge和Gc各自是预定系数。2.根据权利要求1所述的形状测量设备的控制方法，其中，在所述第二轨道校正矢量Vc2和标称的法线方向矢量Nw的内积p为0以上的情况下，所述数学符号确定函数sg(p)的值为+1，以及在所述第二轨道校正矢量Vc2和标称的法线方向矢量Nw的内积p小于0的情况下，所述数学符号确定函数sg(p)的值为-1。3.根据权利要求1所述的形状测量设备的控制方法，其中，在基于所述工件的设计数据来计算所述触针头移位所沿着的扫描路径期间，将所述扫描路径分割成多个区段，并且针对各区段计算被测面的平均的法线方向矢量Nw。4.至少一种有形的非暂...

【专利技术属性】
技术研发人员：野田孝，出口博美，村田宪彦，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：日本,JP