The utility model belongs to the field of charged particle optical imaging technology, in particular to a charged particle round magnetic lens. Including the coil and iron ring, a coil arranged in the annular shell, with at least one annular ring on the end face of the annular gap in iron, iron in the ring. By introducing the annular gap in the end magnetic circuit, solved some experimental samples due to a magnetic lens and can not complete the internal emission imaging electronic technology problems, to break the existing circular magnetic lens technology bottleneck, makes the magnetic field effect in lens lens enclosed space outside, so it has wider application field.
【技术实现步骤摘要】
一种带电粒子圆磁透镜
本技术属于带电粒子光学成像
,尤其涉及一种带电粒子圆磁透镜。
技术介绍
圆磁透镜是电子显微镜、电子束刻蚀系统等带电粒子光学成像
重要的元件。在透射电子显微镜中,用以形成高倍的点聚焦电子像;在其他一些情形,如电子束刻蚀系统,用以对电子源的交叉截面聚焦形成低倍电子像,以获得微束斑电子探针。为减少激磁电流安匝数(或永磁材料体积),并使透镜磁场在空间上更集中以形成更高强度的磁场,一般都使透镜带有铁壳及磁极靴。铁壳内侧设置有环形间隙,铁壳与极靴共同构成了磁路,磁路中的间隙处为主要的透镜磁场区,如图1a、图1b所示。目前常用的圆磁透镜,其磁路间隙常位于铁壳所围空间的内部,使得磁场峰值所在的透镜磁场区也位于圆磁透镜所围空间的内部。此类圆磁透镜结构和场分布特性,使得其在一些应用环境,比如实验样品无法置于磁透镜内部的情况下,面临固有瓶颈难题。因此,寻求新的磁透镜设计方案,使透镜磁场区位于透镜所围空间的外部,已成为该领域技术研发热点。
技术实现思路
为了解决一些实验样品由于无法置于磁透镜内部而不能完成样品发射电子的聚焦成像等技术问题,本技术提供一种带电粒子圆磁透镜,通过在端面磁路引入环形间隙,可实现使透镜磁场区位于透镜所围空间外部的技术效果,使得实验样品很容易被放置于透镜磁场区而实现样品发射电子的聚焦成像。本技术的技术解决方案是提供一种带电粒子圆磁透镜,包括通电线圈及环形铁壳,上述通电线圈位于环形铁壳中,其特殊之处在于:上述环形铁壳上具有至少一个环形间隙,上述环形间隙位于环形铁壳的端面。优选地,为了使透镜磁场在空间上更集中以形成更高强度的磁场,上述环 ...
【技术保护点】
一种带电粒子圆磁透镜,包括通电线圈及环形铁壳,所述通电线圈位于环形铁壳中,其特征在于:所述环形铁壳上具有至少一个环形间隙,所述环形间隙位于环形铁壳的端面。
【技术特征摘要】
1.一种带电粒子圆磁透镜,包括通电线圈及环形铁壳,所述通电线圈位于环形铁壳中,其特征在于:所述环形铁壳上具有至少一个环形间隙,所述环形间隙位于环形铁壳的端面。2.根据权利要求1所述的带电粒子圆磁透镜,其特征在于:所述环形铁壳的端面设2n个磁极靴,各个磁极靴的锥部的半径大小不同,相邻两个磁极靴的...
【专利技术属性】
技术研发人员:王超,白永林,王屹山,尹飞,赵卫,田进寿,曾健华,王向林,徐鹏,
申请(专利权)人:中国科学院西安光学精密机械研究所,
类型:新型
国别省市:陕西,61
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