探针卡水平检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种探针卡水平检测装置，包括：一支架载台、一设于所述支架载台的导电基准垫片与探针连接单元、电性连接所述基准垫片与所述探针连接单元的电源，以及电性连接所述电源与探针连接单元的指示灯；将一探针卡与探针连接单元电性连接地安装于支架载台后，藉由控制探针卡的各探针朝向基准垫片移动，使各探针的下端接触所述导电基准垫片而分别形成电流通路时令各指示灯分别发光，从而记录各探针的高度值，直到所有指示灯均发光后再依所述量测的高度值而调整各探针的高度，最终使各探针下端位于同一水平。

Probe card level detection device

The utility model discloses a probe card level detection device comprises a support table, a bracket is arranged on the table of the conductive gasket and reference probe connected unit and electrically connected with the base pad is connected with the probe unit power, and electrically connected with the electric light source and probe the connecting unit; a probe card connected to the probe unit is electrically connected to is mounted on the support platform, through the probe control probe card toward the lower end of the mobile base gasket, contact the probe of the conductive pads are formed respectively by the reference current path indicating lamp are respectively seasonal light, to record the height of the probe value, until all the lights are shining and then according to the measured height and adjust the height of the probe, finally to the lower end of the probe is located at the same level.

【技术实现步骤摘要】
探针卡水平检测装置
本技术涉及一种用于检测探针卡上的探针高度的治具，特别涉及可以更高效率地对探针的水平高度进行检测的检测装置。
技术介绍
探针卡(probecard)是对半导体元件进行电性测试，筛选出良品或不良品的测试治具；因此，透过探针检测是集成电路制造中相当重要的环节之一，优异的探针卡可提高良率贡献度，因此对半导体封测厂而言影响甚巨。一般而言，长期使用探针卡后，其每一支探针长度或多或少存在一些误差而具有不同长度，以致于在对半导体元件进行检测时，无法同时使各探针接触到半导体元件的各接垫或凸块。因此，在使用探针卡之前必须对探针进行长度校正，使各探针端部位于同一水平而具有相同长度。习知上对探针卡进行探针长度调整的方式，系以人力使用显微镜观测探针端面，使用量测仪器量测出每根探针的高度差异，然后通过公英制转换单位换算出高度差，因此，人员反复调整容易疲劳且不易操作，工作效率很低。中国专利CN104714054A系揭露一种探针点测系统，其包含升降载台、至少一个探针装置、至少一个形变感应回路、接触感应回路、测试回路、第一开关与第二开关。升降载台用以承载待测物；探针装置位于升降载台上方，探针装置包本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针卡水平检测装置，包括：一支架载台，具有一固定支架与一活动支架，所述活动支架具有上下贯通的一中空部且可被调整而在垂直方向上相对于所述固定支架上升或下降地移动；一导电基准垫片，水平地设于所述固定支架的上表面；一探针连接单元，设于所述活动支架上；一电源，电性连接所述基准垫片与所述探针连接单元；以及复数指示灯，以电路电性连接于所述电源与所述探针连接单元之间；其中，所述活动支架用以安装一探针卡并且使所述探针卡电性连接所述探针连接单元，以及使设于所述探针卡上的各探针通过所述活动支架的中空部而使探针下端露出所述活动支架的下表面，藉由调整所述活动支架朝向所述固定支架移动，使各探针的下端接触所述导电基准...

【技术特征摘要】
1.一种探针卡水平检测装置，包括：一支架载台，具有一固定支架与一活动支架，所述活动支架具有上下贯通的一中空部且可被调整而在垂直方向上相对于所述固定支架上升或下降地移动；一导电基准垫片，水平地设于所述固定支架的上表面；一探针连接单元，设于所述活动支架上；一电源，电性连接所述基准垫片与所述探针连接单元；以及复数指示灯，以电路电性连接于所述电源与所述探针连接单元之间；其中，所述活动支架用以安装一探针卡并且使所述探针卡电性连接所述探针连接单元，以及使设于所述探针卡上的各探针通过所述活动支架的中空部而使探针下端露出所述活动支架的下表面，藉由调整所述活动支架朝向所述固定支架移动，使各探针的下端接触所述导电基准垫片而分别形成电流通路时令各指示灯分别发光，从而记录被量测的各探针之高度值，直到所有指示灯均发光后再依所述高度值而调整各探针的高度，最终使各探针下端位于同一水平。2.根据权利要求1所述的探针卡水平检测装置，其特征在于：所述探针连接单元具...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓方军，
申请(专利权)人：苏州震坤科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32