一种高效多用晶圆清洗花篮制造技术

本实用新型专利技术涉及一种高效多用晶圆清洗花篮，包括可拆卸连接杆、与可拆卸连接杆插槽匹配连接的可拆卸置物托盘，可拆卸置物托盘底部设有多个通孔，可拆卸连接杆上端插槽的相对侧设有挂钩，可拆卸连接杆插槽上端设有一实现可拆卸置物托盘与可拆卸连接杆插槽活动连接的拆卸连接口，可拆卸连接杆的插槽底端部设有固定档板，可拆卸置物托盘依次通过拆卸连接口实现与可拆卸连接杆活动连接；多层水平方式承载晶圆碎片的组合式清洗腔体，防止晶圆碎片在清洗过程中滑落入清洗槽内；多个置物托盘的清洗腔体径向距离和轴向距离分别可设置成相等或不等，从而可以小批量清洗尺寸（厚度）相同或不同的晶圆碎片，节约清洗时间；易于组装，花篮组合牢靠结实。

A high efficiency and multi - use wafer cleaning flower basket

The utility model relates to a high efficiency multipurpose wafer cleaning basket, including a detachable connecting rod, connecting rod, and a removable storage tray can remove slot connection, removable storage at the bottom of the tray is provided with a plurality of through holes, opposite sides of removing the upper end of the connecting pole slot is provided with a hook, a detachable connecting rod is provided with a slot the removable storage tray with a detachable connecting rod connected with the slot disassembly connector, socket detachable connecting rod bottom is provided with a fixed plate, a removable storage tray in turn by removing the connector with the detachable connection rod is movably connected; the combined type cleaning cavity multi horizontal way bearing wafer fragments, prevent in the process of cleaning wafer debris slide into the cleaning groove; cleaning cavity radial and axial distance multiple storage tray can be set to equal or unequal respectively. It can clean the size (thickness) of the same or different wafer fragments in a small batch, so as to save the cleaning time, easy to assemble, and the combination of the flower basket is strong and strong.

【技术实现步骤摘要】
一种高效多用晶圆清洗花篮
本技术涉及半导体晶圆碎片清洗装置，具体涉及一种高效多用晶圆清洗花篮。
技术介绍
在晶圆的加工过程中，通常需要对晶圆进行多次的清洗。晶圆清洗的一般方法是：首先将晶圆放置在清洗花篮内，然后将装有晶圆的清洗花篮投入清洗槽内，清洗槽内装有清洗剂并具有超声波发生装置；传统的清洗花篮多为单一尺寸，为了提高清洗效果需要重新制作不同尺寸的专用的清洗花篮，大大的增加了工装成本；且现有的清洗花篮一般仅适用于固定尺寸的完整晶圆的清洗，而无法清洗处理晶圆碎片。
技术实现思路
本技术的目的是针对上述现有技术中的不足提供一种高效多用晶圆清洗花篮。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种高效多用晶圆清洗花篮，包括可拆卸连接杆、与可拆卸连接杆插槽匹配连接的可拆卸置物托盘，所述可拆卸置物托盘底部设有多个通孔，所述可拆卸连接杆上端插槽的相对侧设有挂钩，所述可拆卸连接杆插槽上端设有一实现可拆卸置物托盘与可拆卸连接杆插槽活动连接的拆卸连接口，所述可拆卸连接杆的插槽底端部设有固定档板，所述可拆卸置物托盘依次通过拆卸连接口实现与可拆卸连接杆活动连接。作为本技术进一步改进的，所述可拆卸置物托盘上端面设有耐磨损层。作为本技术进一步改进的，所述可拆卸置物托盘之间设有与插槽匹配连接的分层垫块，所述分层垫块通过拆卸连接口实现与可拆卸连接杆活动连接，所述分层垫块材料均为耐酸碱和耐腐蚀材质。作为本技术进一步改进的，所述分层垫块的轴向高度M≥可拆卸置物托盘轴向高度H，所述分层垫块的轴向高度M≥可拆卸置物托盘轴向高度H，所述可拆卸置物托盘轴向高度H为500um～600um。作为本技术进一步改进的，所述可拆卸置物托盘为圆形置物托盘，所述可拆卸置物托盘径向距离D相等或不相等，所述可拆卸置物托盘为圆形置物托盘，所述可拆卸置物托盘径向距离D相等或不相等，所述可拆卸置物托盘径向距离D选自2寸、3寸、4寸、6寸中的任意一种。作为本技术进一步改进的，所述可拆卸连接杆、可拆卸置物托盘、挂钩和档板的材质均为耐酸碱和耐腐蚀材质。作为本技术进一步改进的，所述置物托盘至少为3个。由于上述技术方案的运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：本技术方案的一种高效多用晶圆清洗花篮，采用多层水平方式承载晶圆碎片，镂空式的结构和底部设有多个通孔的多个置物托盘依次组合连接形成便于清洗液的浸入和晶圆碎片颗粒污物易于滑落并脱离晶圆表面的组合式清洗腔体，防止晶圆碎片在清洗过程中滑落入清洗槽内；同时，多个置物托盘的清洗腔体径向距离和轴向距离分别可设置成相等或不等，从而可以小批量清洗尺寸（厚度）相同或不同的晶圆碎片，节约清洗时间；进一步的，置物托盘上端面上设有耐磨损层，用于提高清洗花篮的耐用性和经济性；再进一步的，本技术置物托盘之间设计的分层垫块轴向高度可用于调节置物托盘之间轴向间距，能够有效的防止半导体晶圆上下移动而滑落，用于不同尺寸（厚度）或相同尺寸（厚度）的完整晶圆清洗；本新型优点是，易于组装，花篮组合牢靠结实。附图说明下面结合附图对本技术技术方案作进一步说明：附图1为清洗晶圆碎片清洗花篮结构示意图；附图2为置物托盘结构示意图；附图3为分层垫块结构示意图；附图4为清洗完整晶圆清洗花篮结构示意图。具体实施方式下面结合附图及具体实施例对本技术作进一步的详细说明。如附图1、2、3、4所示的本技术的一种高效多用晶圆清洗花篮结构示意图，包括可拆卸连接杆1、与可拆卸连接杆1插槽2匹配连接的可拆卸置物托盘3，可拆卸置物托盘底部设有多个通孔4，置物托盘至少为3个，可拆卸连接杆1上端插槽2的相对侧设有挂钩5，可拆卸连接杆1插槽2上端设有一实现可拆卸置物托盘3与可拆卸连接杆1插槽2活动连接的拆卸连接口6，可拆卸连接杆1插槽2底端部设有固定档板（图中未示出），可拆卸置物托盘3依次通过拆卸连接口6实现与可拆卸连接杆1活动连接；可拆卸置物托盘3上端面设有耐磨损层7；可拆卸置物托盘3之间设有与插槽2匹配连接的分层垫块8，分层垫块8通过拆卸连接口6实现与可拆卸连接杆1活动连接，分层垫块8的轴向高度M等于可拆卸置物托盘3轴向高度H，H=M=600um;可拆卸置物托盘3为圆形置物托盘，可拆卸置物托盘3径向距离D相等或不相等，可拆卸置物托盘径向距离D选自2寸、3寸、4寸、6寸中的任意一种;可拆卸连接杆1、可拆卸置物托盘2、挂钩5、档板和分层垫块8的材质均为耐酸碱和耐腐蚀材质。本技术方案中，清洗晶圆碎片时，清洗花篮通过挂钩挂置在清洗槽壁上将装置待清洗的晶圆碎片的置物托盘浸入至清洗槽内的清洗液中，以对所述晶圆碎片进行清洗，圆形置物托盘之间不设置分层垫块，镂空式的结构和底部设有多个通孔的多个置物托盘之间通过可拆卸连接杆和重力作用依次组合形成密闭式清洗腔体，多层水平方式承载晶圆碎片，便于清洗液的浸入和晶圆碎片颗粒污物易于滑落并脱离晶圆表面的组合式清洗腔体，防止晶圆碎片在清洗过程中滑落入清洗槽内；置物托盘上端面上设有耐磨损层，用于提高清洗花篮的耐用性和经济性，可以小批量清洗尺寸（厚度）相同或不同的晶圆碎片，节约清洗时间；完整晶圆清洗时；圆形置物托盘之间设计的分层垫块可用于调节置物托盘之间轴向间距，能够有效的防止半导体晶圆上下移动而滑落，用于不同尺寸（厚度）或相同尺寸（厚度）的完整晶圆清洗。以上仅是本技术的具体应用范例，对本技术的保护范围不构成任何限制；凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案，均落在本技术权利保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高效多用晶圆清洗花篮，其特征在于，包括可拆卸连接杆、与可拆卸连接杆插槽匹配连接的可拆卸置物托盘，所述可拆卸置物托盘底部设有多个通孔，所述可拆卸连接杆上端插槽的相对侧设有挂钩，所述可拆卸连接杆插槽上端设有一实现可拆卸置物托盘与可拆卸连接杆插槽活动连接的拆卸连接口，所述可拆卸连接杆的插槽底端部设有固定档板，所述可拆卸置物托盘依次通过拆卸连接口实现与可拆卸连接杆活动连接。

【技术特征摘要】
1.一种高效多用晶圆清洗花篮，其特征在于，包括可拆卸连接杆、与可拆卸连接杆插槽匹配连接的可拆卸置物托盘，所述可拆卸置物托盘底部设有多个通孔，所述可拆卸连接杆上端插槽的相对侧设有挂钩，所述可拆卸连接杆插槽上端设有一实现可拆卸置物托盘与可拆卸连接杆插槽活动连接的拆卸连接口，所述可拆卸连接杆的插槽底端部设有固定档板，所述可拆卸置物托盘依次通过拆卸连接口实现与可拆卸连接杆活动连接。2.根据权利要求1所述的一种高效多用晶圆清洗花篮，其特征在于，所述可拆卸置物托盘上端面设有耐磨损层。3.根据权利要求1所述的一种高效多用晶圆清洗花篮，其特征在于，所述可拆卸置物托盘之间设有与插槽匹配连接的分层垫块，所述分层垫块通过拆卸连接口实现与可拆卸连接杆活动连...

【专利技术属性】
技术研发人员：金帅甲，
申请(专利权)人：无锡盈芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32