使用多个磁场敏感装置的设备和方法制造方法及图纸

一种用于磁场检测的设备包括多个磁场敏感装置，所述多个磁场敏感装置包括至少第一磁场敏感装置、第二磁场敏感装置和第三磁场敏感装置。所述设备包括：电源，被配置为提供通过第一磁场敏感装置的第一供电电流和通过第二磁场敏感装置的独立于第一供电电流的第二供电电流。第一至第三磁场敏感装置被耦合，以使得第一供电电流流经第一磁场敏感装置而不流经第二磁场敏感装置，第二供电电流流经第二磁场敏感装置而不流经第一磁场敏感装置，并且第一供电电流和第二供电电流之和流经第三磁场敏感装置。

【技术实现步骤摘要】
使用多个磁场敏感装置的设备和方法
本公开涉及使用多个磁场敏感装置的设备和方法。
技术介绍
磁场敏感装置被用于测量磁场。磁场敏感装置的示例是霍尔效应装置。霍尔效应装置具有与磁场成比例的输出信号。在零磁场，磁场敏感装置可能输出不同于零的信号。这个信号被称为所述装置的偏移误差(=零场误差)。霍尔效应装置包括发生霍尔效应的霍尔效应区域，霍尔效应区域有时被称为有效区域并且具有三个或更多个接触器。通常，霍尔效应区域由半导体基底中的半导通材料形成。接触器可由位于霍尔效应区域中或与霍尔效应区域接触的接触桶（tub）形成。可通过接触扩散或注入过程来制造接触器。几个接触器可经金属线连接到诸如半导体技术的互连层中的同一端子。端子被用于为所述装置供应电力，并且引出它的输出信号。霍尔板(有时称为HHall(水平Hall))是平坦装置，并且它们的厚度可能是它们的横向尺寸的万分之一至五分之一(通常为五十分之一)。它们被用于沿着它们的厚度方向(即，进到半导体基底中的方向)检测磁场分量。在硅技术中，霍尔板通常是1至3µm厚，并且在横向方向上是10至100µm大。它们的布局可以是矩形、正方形、圆形、八边形、十字形或甚至本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种设备，包括：多个磁场敏感装置，包括至少第一磁场敏感装置、第二磁场敏感装置和第三磁场敏感装置；和电源，被配置为提供通过第一磁场敏感装置的第一供电电流和通过第二磁场敏感装置的独立于第一供电电流的第二供电电流；其中第一至第三磁场敏感装置被耦合，以使得第一供电电流流经第一磁场敏感装置而不流经第二磁场敏感装置，第二供电电流流经第二磁场敏感装置而不流经第一磁场敏感装置，并且第一供电电流和第二供电电流之和流经第三磁场敏感装置。

【技术特征摘要】
2016.06.30 DE 102016211964.81.一种设备，包括：多个磁场敏感装置，包括至少第一磁场敏感装置、第二磁场敏感装置和第三磁场敏感装置；和电源，被配置为提供通过第一磁场敏感装置的第一供电电流和通过第二磁场敏感装置的独立于第一供电电流的第二供电电流；其中第一至第三磁场敏感装置被耦合，以使得第一供电电流流经第一磁场敏感装置而不流经第二磁场敏感装置，第二供电电流流经第二磁场敏感装置而不流经第一磁场敏感装置，并且第一供电电流和第二供电电流之和流经第三磁场敏感装置。2.如权利要求1所述的设备，其中所述第三磁场敏感装置向第一和第二供电电流之和提供的内部电阻小于第一磁场敏感装置向第一供电电流提供的内部电阻并且小于第二磁场敏感装置向第二供电电流提供的内部电阻。3.如权利要求1所述的设备，其中所述多个磁场敏感装置被分组在N个组中，其中N>1，其中对于1≤k≤N，每个组k包括2k-1个磁场敏感装置，其中所述电源被配置为独立地提供通过组N的每个磁场敏感装置的供电电流，其中所述多个磁场敏感装置被耦合，以使得，对于1<k≤N，流经组k中的两个磁场敏感装置的供电电流流经组k-1中的一个磁场敏感装置。4.如权利要求3所述的设备，其中，对于至少一个k，1<k≤N，组k的磁场敏感装置向供电电流提供的内部电阻大于组k-1的磁场敏感装置向供电电流提供的内部电阻。5.如权利要求4所述的设备，其中组k的磁场敏感装置具有小于组k-1的磁场敏感装置的掺杂浓度；大于组k-1的磁场敏感装置中的供电端子之间的间隔；小于组k-1的磁场敏感装置的有效区域的宽度；用于隔离利用大于组k-1的磁场敏感装置中的反向偏置电压偏置的有效区域的pn结；和/或并联连接的多个磁场敏感元件。6.如权利要求3至5之一所述的设备，其中每个磁场敏感装置包括至少三个端子，其中对于组N中的每个磁场敏感装置，所述电源在对应磁场敏感装置的第一端子处强加电流。7.如权利要求6所述的设备，其中对于组N中的至少一些磁场敏感装置，所述电源在对应磁场敏感装置的第二端子处强加电流，其中对应磁场敏感装置的第三端子被耦合到组N-1中的磁场敏感装置的第一端子。8.如权利要求6至7之一所述的设备，其中对于1≤k<N并且对于组k中的每个磁场敏感装置，第一端子被耦合到组k+1中的磁场敏感装置的第三端子，第二端子被耦合到组k+1中的另一磁场敏感装置的第三端子，并且对于k≠1，第三端子被耦合到组k-1中的磁场敏感装置的端子。9.如权利要求6至8之一所述的设备，被配置为在每个组的至少一个磁场敏感装置的至少一个端子处引出输出信号并且将引出的输出信号组合成总体输出信号。10.如权利要求7所述的设备，被配置为在至少一些磁场敏感装置的第一和第二端子之间引出输出信号。11.如权利要求6所述的设备，被配置为在组N中的两个磁场敏感装置的第二端子之间引出输出信号。12.如权利要求6至11之一所述的设备，其中至少一些磁场敏感装置包括具有至少三个接触器的磁场敏感元件和开关阵列，所述开关阵列被配置为选择性地将所述至少三个接触器和所述至少三个端子彼此耦合。13.如权利要求12所述的设备，其中所述开关阵列还被配置为选择性地将第一输出端子耦合到所述三个接触器之一并且选择性地将第二输出端子耦合到所述三个接触器之一。14.如权利要求13所述的设备，其中所述设备被配置为控制开关阵列以在不同开关状态之间变化以便获得偏移减小或偏移补偿，所述不同开关状...

【专利技术属性】
技术研发人员：U奥瑟莱希纳，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE