高精度高均匀度洁净室系统技术方案

本发明专利技术公开了一种高精度高均匀度洁净室系统，包括：洁净室结构系统，其包括洁净室房间、多孔高架地板、内洁净隔断室、风淋室、缓冲走廊和回风夹道；空气调节系统，其包括空调室外机、空调室内处理机组和风机滤器机组；及智能控制系统，其包括集成有控制主机的触摸控制屏和多个检测装置。本发明专利技术结构简单可靠、能耗低、控制精度高、空气均匀度高、智能化程度高，能有效保证洁净室内的空气质量，满足用户的需求，具有很高的推广应用价值。

【技术实现步骤摘要】
高精度高均匀度洁净室系统
本专利技术涉及洁净室
，特别涉及一种高精度高均匀度洁净室系统。
技术介绍
随着科学技术的发展，人们对纳米、微电子、生物、生命科学等领域的研究也越来越广泛与深入，很多高校和科研机构都投入到这些高精尖领域的研究中，为科学技术的不断发展做出了巨大贡献。在这些尖端科学的研究中，处理本专业的科学知识外，一个与该研究工艺相适合的研究环境是保证研究结果的一致性、可靠性并最终取得成功的重要保证手段。高精度、高均匀度、高洁净度等级的洁净室及是这一手段的重要体现形式，这些洁净室的洁净度一般都要高于ISO5级，对空间内的温度精度、均匀度，相对湿度的精度、均匀度等要求较高。为实验这样的参数指标，常规的洁净室需要非常大的风量来保证参数的稳定性，这就需要配置大型的净化空调机组及配套实施，占有很大的辅助空间，结构复杂，成本高昂。所以现在需要一种控制精度高、空气均匀度高、系统结构简单可靠、运行成本低的洁净室系统。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种高精度高均匀度洁净室系统。为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：一种高精度高均匀度洁净本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高精度高均匀度洁净室系统，其特征在于，包括：洁净室结构系统，其包括洁净室房间、架设在所述洁净室房间地面上的多孔高架地板、设置在所述多孔高架地板上的内洁净隔断室、设置于所述洁净室房间入口处的风淋室、设置在所述多孔高架地板上且与所述风淋室连通的缓冲走廊和设置在所述洁净室房间内的侧部的回风夹道；空气调节系统，其包括空调室外机、间隔设置于所述高架地板底面上的多个空调室内处理机组和设置于所述内洁净隔断室顶部的风机滤器机组；及智能控制系统，其包括集成有控制主机的触摸控制屏和多个设置在所述空调室内处理机组上的检测装置；其中，所述空调室内处理机组包括外壳及设置在所述外壳内的风机、表冷器、加热器、加湿器、凝...

【技术特征摘要】
1.一种高精度高均匀度洁净室系统，其特征在于，包括：洁净室结构系统，其包括洁净室房间、架设在所述洁净室房间地面上的多孔高架地板、设置在所述多孔高架地板上的内洁净隔断室、设置于所述洁净室房间入口处的风淋室、设置在所述多孔高架地板上且与所述风淋室连通的缓冲走廊和设置在所述洁净室房间内的侧部的回风夹道；空气调节系统，其包括空调室外机、间隔设置于所述高架地板底面上的多个空调室内处理机组和设置于所述内洁净隔断室顶部的风机滤器机组；及智能控制系统，其包括集成有控制主机的触摸控制屏和多个设置在所述空调室内处理机组上的检测装置；其中，所述空调室内处理机组包括外壳及设置在所述外壳内的风机、表冷器、加热器、加湿器、凝水盘、冷凝水排水泵、控制器；所述检测装置包括温度传感器和湿度传感器；所述控制主机包括采集模块、处理模块和控制模块。2.根据权利要求1所述的高精度高均匀度洁净室系统，其特征在于，所述风机滤器机组包括风机和高效空气过滤器，用于将室外新风和室内回风过滤后吹入到内洁净隔断室内。3.根据权利要求1所述的高精度高均匀度洁净室系统，其特征在于，所述空调室内处理机组的外壳顶部设置有滚轮和用于驱动所述滚轮移动的电机；所述高架地板底部设置有若干用于配合安装所述空调室内处理机组的滑轨，所述空调室内处理机组通过其上的滚轮配合倒挂设置在所述滑轨上，所述电机驱动所述滚轮滚动，并带动所述空调室内处理机组在所述滑轨上来回运动。4.根据权利要求3所述的高精度高均匀度洁净室系统，其特征在于，所述空调室外机与所述空调室内处理机组连接，所述空调室外机为所述空调室内处理机组提供冷媒；所述控制器与所述风机、表冷器、加热器、加湿器、凝水盘、冷凝水排水泵和电机均电连接，所述控制器还与所述空调室外机和检测装置均电连接。5.根据权利要求4所述的高精度高均匀度洁净室系统，其特征在于，所述温度传感器和湿度传感器分别检测器所在的空调室内处理机组附近的空气的温度值和湿度...

【专利技术属性】
技术研发人员：邴绍同，姜皓遐，吕明，孟庆龙，
申请(专利权)人：中天道成苏州洁净技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32