The utility model relates to a F theta lens, the F theta objective includes four single lens has a biconcave lens with focal length of F1 as the first single lens L1, as a meniscus lens has a focal length of second F2 single lens L2, L3 as a plano convex lens with focal length of F3 third L3, as a lenticular lens with focal length of F4 fourth L4 single lens, and the focal length of F theta lens F, the relationship between these F4 and the focal length of F1 total focal length between F meet the following conditions: 2.0< f1/f< 1.8, 2.6< f2/f< +1.1< f3/f< 2. +1.4< f4/f< +1.6; +1.9. The lens has a wavelength of 355nm, 150mm and 190mm in between, especially for the total focal length of 170mm, the F theta objective can be achieved without reverse reflection imaging of laser beam.
【技术实现步骤摘要】
F-θ物镜
本技术涉及一种用于高功率激光器的聚焦的F-θ物镜,该F-θ物镜例如可以在扫描设备中用于激光材料加工。
技术介绍
F-θ物镜使围绕相对于该F-θ物镜的光轴+/-θ的扫描角度范围扫描而入射的激光束聚焦到一个平坦的成像区域中,其中在该扫描角度范围内,扫描角度与激光束的入射点的在该成像区域中与光轴的间距的关系遵循线性函数。即以恒定的角速度扫描的激光束在该成像区域中产生一个焦点,该焦点以恒定的速度移动。在此,在该成像区域中的每个位置处该焦点的大小应是恒定的。依赖于纤维材料加工的目的(例如标记、剥离或切割)来确定焦点的大小。由于该激光束在穿过F-θ物镜时依赖于波长的折射,为了实现高的焦点质量,将该F-θ物镜对所使用的加工激光束的波长进行校正,即如下地计算该物镜:在针对预定的波长和预定的激光束直径的允许的温度容差范围内,该物镜针对预定大小的成像区域不具有或具有仅非常小的光学的成像失真,这些成像失真导致焦点的显著的大小变化。尤其针对在激光材料加工中的使用,该F-θ物镜具有大的成像区域和大的总焦距。
技术实现思路
本技术的目的在于,提供一种用于高功率激光器的F-θ物镜,其具有355nm的波长以及在150mm和190mm之间、尤其为170mm的总焦距,该F-θ物镜可以实现激光束的无反向反射的成像。这个目的通过以下特征的一种F-θ物镜实现:该F-θ物镜包括四个单透镜,具有:作为双凹透镜的具有焦距f1的第一单透镜L1、作为弯月形透镜的具有焦距f2的第二单透镜L2、作为平凸透镜L3的具有焦距f3的第三单透镜L3、作为双凸透镜的具有焦距f4的第四单透镜L4,以及该F-θ物镜的总焦 ...
【技术保护点】
F‑θ物镜,该F‑θ物镜包括四个单透镜,具有:作为双凹透镜的具有焦距f1的第一单透镜L1、作为弯月形透镜的具有焦距f2的第二单透镜L2、作为平凸透镜L3的具有焦距f3的第三单透镜L3、作为双凸透镜的具有焦距f4的第四单透镜L4,以及该F‑θ物镜的总焦距f,其中这些焦距f1‑f4与该总焦距f之间的关系满足以下条件:‑2.0<f1/f<‑1.8‑2.6<f2/f<‑2.0+1.1<f3/f<+1.6+1.4<f4/f<+1.9。
【技术特征摘要】
2016.06.30 DE 202016004165.81.F-θ物镜,该F-θ物镜包括四个单透镜,具有:作为双凹透镜的具有焦距f1的第一单透镜L1、作为弯月形透镜的具有焦距f2的第二单透镜L2、作为平凸透镜L3的具有焦距f3的第三单透镜L3、作为双凸透镜的具有焦距f4的第四单透镜L4,以及该F-θ物镜的总焦距f,其中这些焦距f1-f4与该总焦距f之间的关系满足以下条件:-2.0<...
【专利技术属性】
技术研发人员:蒂姆·巴尔德希芬,乔戈·文德利希,
申请(专利权)人:业纳光学系统有限公司,
类型:新型
国别省市:德国,DE
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