三维测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供三维测量装置，能够在利用相移法进行三维测量时提高便利性和普遍性。基板检查装置(1)包括向印刷基板(2)照射光图案的照明装置(4)、以及拍摄该印刷基板(2)的相机(5)。基板检查装置(1)构成为能够切换成：在获取相位不同的三组图像数据时，在相同相位的光图案之下进行一次拍摄的第一拍摄模式；在获取相位不同的三组图像数据时，在相同相位的光图案之下分两次进行拍摄的第二拍摄模式；在获取相位不同的四组图像数据时，在相同相位的光图案之下进行一次拍摄的第三拍摄模式；在获取相位不同的四组图像数据时，在相同相位的光图案之下分两次进行拍摄的第四拍摄模式。

Three dimensional measuring device

The invention provides a three-dimensional measuring device which can improve the convenience and universality when the phase shift method is used for three-dimensional measurement. The substrate inspection device (1) includes an illumination device (4) to illuminate the light pattern of a printed substrate (2) and a camera (5) for taking the printed substrate (2). Substrate inspection device (1) constituted for switching in three groups of image data acquisition and different phase, a shot of the first shooting mode under the light pattern of the same phase; in the three group to obtain image data of different phase, in the same phase of the light pattern under two times of shooting second shooting modes; in the four group to obtain image data of different phases, one shot of the third shooting modes under the same pattern of light phase; in the four group to obtain image data of different phase, two times under the same phase pattern of light shooting fourth shooting mode.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】三维测量装置技术区域本专利技术涉及利用相移法进行三维测量的三维测量装置。
技术介绍
一般来说，在印刷基板上安装电子部件的情况下，首先在配置于印刷基板上的预定的电极图案上印刷膏状焊料。接着，基于该膏状焊料的粘性在印刷基板上临时固定电子部件。之后，所述印刷基板被导入回流炉，通过经过预定的回流工序进行焊接。最近，在被导入回流炉的前一阶段，需要检查膏状焊料的印刷状态，在进行该检查时，有时使用三维测量装置。近年来，提出了各种使用光的所谓非接触式的三维测量装置，例如提出了与使用相移法的三维测量装置有关的技术。在利用该相移法的三维测量装置中，通过由发出预定的光的光源和将来自该光源的光转换为具有正弦波状(条纹状)的光强度分布的光图案的光栅组合构成的照射单元，将光图案照射至印刷基板(被测量物)。并且，使用配置于正上方的拍摄单元观察基板上的点。作为拍摄单元，使用由透镜及拍摄元件等构成的CCD相机等。在上述构成之下，由拍摄单元拍摄的图像数据上的各像素的光的强度(亮度)I由下式(U1)给出。其中，f：增益、e：偏移、光图案的相位。这里，通过移动或者切换控制上述光栅，使光图案的相位例如以四阶段变化，获取具有与它们对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三维测量装置，其特征在于，包括：照射单元，所述照射单元能够向被测量物照射具有条纹状的光强度分布的光图案；拍摄单元，所述拍摄单元能够拍摄被照射所述光图案的所述被测量物上的预定的测量区域；图像获取单元，所述图像获取单元能够获取使所述光图案的相位变化成多组并在该各光图案之下拍摄的所述测量区域相关的多组图像；以及图像处理单元，所述图像处理单元能够根据由所述图像获取单元获取的图像通过相移法对所述测量区域内的测量对象执行三维测量，所述图像获取单元获取相位不同的多组图像时，能够在相同相位的光图案之下分多次执行拍摄，并且，能够将在该相同相位的光图案之下的拍摄方式切换成至少拍摄次数不同的多个拍摄方式。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.10.16 JP 2015-2045731.一种三维测量装置，其特征在于，包括：照射单元，所述照射单元能够向被测量物照射具有条纹状的光强度分布的光图案；拍摄单元，所述拍摄单元能够拍摄被照射所述光图案的所述被测量物上的预定的测量区域；图像获取单元，所述图像获取单元能够获取使所述光图案的相位变化成多组并在该各光图案之下拍摄的所述测量区域相关的多组图像；以及图像处理单元，所述图像处理单元能够根据由所述图像获取单元获取的图像通过相移法对所述测量区域内的测量对象执行三维测量，所述图像获取单元获取相位不同的多组图像时，能够在相同相位的光图案之下分多次执行拍摄，并且，能够将在该相同相位的光图案之下的拍摄方式切换成至少拍摄次数不同的多个拍摄方式。2.一种三维测量装置，其特征在于，包括：照射单元，所述照射单元能够向被测量物照射具有条纹状的光强度分布的光图案；拍摄单元，所述拍摄单元能够拍摄被照射所述光图案的所述被测量物上的预定的测量区域；图像获取单元，所述图像获取单元能够获取使所述光图案的相位变化成多组并在该各光图案之下拍摄的所述测量区域相关的多组图像；以及图像处理单元，所述图像处理单元能够根据由所述图像获取单元获取的图像通过相移法对所述测量区域内的测量对象执行三维测量，所述图像获取单元获取相位不同的所述多组图像时，至少能够在相同相位的光图案之下进行一次拍摄的拍摄方式和在相同相位的光图案之下分多次进行拍摄的拍摄方式之间切换。3.一种三维测量装置，其特征在于，包括：照射单元，所述照射单元能够向被测量物照射具有条纹状的光强度分布的光图案；拍摄单元，所述拍摄单元能够拍摄被照射所述光图案的所述被测量物上的预定的测量区域；图像获取单元，所述图像获取单元能够获取使所述光图案的相位变化成第一预定数量组或者比...

【专利技术属性】
技术研发人员：大山刚，坂井田宪彦，二村伊久雄，石垣裕之，
申请(专利权)人：CKD株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP