一种谐振腔抽气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种谐振腔抽气装置，包括装置主体，装置主体的一端设有管道接头，管道接头一侧设有第二接头，第二接头的一侧设有壳体，壳体顶部设有慢抽阀，慢抽阀的一侧设有快抽阀，快抽阀的一侧设有洁净阀，壳体的一侧设有第一接头，壳体的一端设有第二接头，壳体的另一端设有抽气单元压力传感器，抽气单元压力传感器的一侧设有第二接头，第一接头、第二接头和第四接头的一端设有第一限位环，第一限位环的一侧设有垫圈，管道接头和第三接头的一端设有第二限位环，本实用新型专利技术结构新颖、结构简单，设计合理，使用难度低，实现了多个阀体的统一安转，合理排布，当出现气体不足时便于及时关机并报警，同时便于保护整个谐振腔电路。

【技术实现步骤摘要】
一种谐振腔抽气装置
本技术涉及抽气装置
，具体涉及一种谐振腔抽气装置。
技术介绍
抽气单元主体为各个电磁阀和管路接头的连接载体，因为所采用电磁阀进气口和出气口有区别当一个载体安装一个电磁阀时很容易实现安装，但是当多个电磁阀统一安装到一个载体时，就非常麻烦，就不得不考虑多个与电磁阀进气口和出气口连接的通道之间是否出现干涉，同时对多个阀体的载体在WFL1200W激光器上又有安装限制，因此在体积限制的如何实现多个阀体的统一安装是一个问题，同时如何保护谐振腔整个电路也是一个难题。
技术实现思路
技术的要解决技术问题是克服现有的监控管理主机不能智能报警的问题，提供一种谐振腔抽气装置。为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：本技术提供了一种谐振腔抽气装置，包括所述装置主体，所述装置主体的一端设有管道接头，所述管道接头一侧设有第二接头，所述第二接头的一侧设有壳体，所述壳体顶部设有慢抽阀，所述慢抽阀的一侧设有快抽阀，所述快抽阀的一侧设有洁净阀，所述壳体的一侧设有第一接头，所述壳体的一端设有第二接头，所述壳体的另一端设有抽气单元压力传感器，所述抽气单元压力传感器的一侧设有第二接头，所述第一接头、所述第二接头和第四接头的一端设有第一限位环，所述第一限位环的一侧设有垫圈，所述管道接头和第三接头的一端设有第二限位环，所述壳体的外壁设有连接口，所述壳体的内部设有电磁阀通道，所述电磁阀通道的一侧设有阻尼孔。作为本技术的一种优选技术方案，所述快抽阀、所述慢抽阀和所述洁净阀的底部设有连接轴。作为本技术的一种优选技术方案，所述快抽阀、所述慢抽阀和所述洁净阀通过所述连接口连接所述壳体，所述连接轴通过所述连接口连接所述电磁阀通道，所述抽气单元压力传感器通过所述连接口连接所述壳体。为本技术的一种优选技术方案，所述管道接头连接谐振腔放电管，所述第四接头连接所述谐振腔放电管整个气路循环系统，所述第一接头和所述第二接头连接风机轴承腔，所述第三接头连接真空泵。为本技术的一种优选技术方案，所述第一限位环为0.125英寸，所述第二限位环为0.5英寸。本技术所达到的有益效果是：本技术结构新颖、结构简单，设计合理，使用难度低，实现了多个阀体的统一安转，合理排布，当出现气体不足时便于及时关机并报警，同时便于保护整个谐振腔电路。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1是本技术的整体结构示意图；图2是本技术的局部结构示意图之一；图3是本技术的局部结构示意图之二；图中：1、装置主体；2、洁净阀；3、快抽阀；4、第一接头；5、垫圈；6、第一限位环；7、慢抽阀；8、抽气单元压力传感器；9、壳体；10、第二接头；11、管道接头；12、第二限位环；13、连接轴；14、阻尼孔；15、电磁阀通道；16、连接口；17、第三接头；18、第四接头。具体实施方式以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。实施例1如图1-3所示，本技术提供了一种谐振腔抽气装置，包括装置主体1，装置主体1的一端设有管道接头11，管道接头11连接谐振腔放电管便于抽气工作，管道接头11一侧设有第二接头10，第二接头10的一侧设有壳体9，第一接头4和第二接头10连接风机轴承腔便于风机工作，壳体9顶部设有慢抽阀7，慢抽阀7便于慢抽工作，慢抽阀7的一侧设有快抽阀3，快抽阀3用于快速抽气，快抽阀3的一侧设有洁净阀2，洁净阀2具有一点的的清洁功能，壳体9的一侧设有第一接头4，壳体9的一端设有第二接头10，壳体9的另一端设有抽气单元压力传感器8，抽气单元压力传感器8用于检测谐振腔的压力，抽气单元压力传感器8的一侧设有第二接头10，第一接头4、第二接头10和第四接头18的一端设有第一限位环6，第一限位环6的一侧设有垫圈5，第一限位环6用于固定使用，第四接头18连接谐振腔放电管整个气路循环系统，管道接头11和第三接头17的一端设有第二限位环12，壳体9的外壁设有连接口16，壳体9的内部设有电磁阀通道15，电磁阀通道15的一侧设有阻尼孔14，快抽阀3、慢抽阀7和洁净阀2通过连接口16连接壳体9实现了多个阀体的统一安装。快抽阀3、慢抽阀7和洁净阀2的底部设有连接轴13。快抽阀3、慢抽阀7和洁净阀2通过连接口16连接壳体9，连接轴13通过连接口16连接电磁阀通道15，抽气单元压力传感器8通过连接口16连接壳体9。管道接头11连接谐振腔放电管，第四接头18连接谐振腔放电管整个气路循环系统，第一接头4和第二接头10连接风机轴承腔，第三接头17连接真空泵。第一限位环6为0.125英寸，第二限位环12为0.5英寸。具体的工作时，首先管道接头11连接谐振腔放电管，第四接头18连接谐振腔放电管整个气路循环系统，第一接头4和第二接头10连接风机轴承腔，第三接头17连接真空泵，快抽阀3、慢抽阀7和洁净阀2通过连接口16连接壳体9，连接轴13通过连接口16连接电磁阀通道15，抽气单元压力传感器8通过连接口16连接壳体9，实现了多个阀体的统一安装，当谐振腔内工作压力大于上限时，装置主体1通过慢抽阀7打开真空泵开始抽气直到达到工作压力，慢抽阀7关闭，每当二氧化碳、氮气和氦气三种气体不足时，激光器不能正常产生激光，发出报警5分钟后关机，当激光器停止工作时，关闭涡轮泵，关闭充气阀、关闭快抽阀3和慢抽阀7，氮气开始回充，抽气单元停止工作，整个谐振腔气路需要充满氦气，对谐振气路进行保护，快抽阀3和慢抽阀7开始抽真空，达到指定压力后关闭，混气单元开始冲氮气，到达指定压力后关闭，整个工作流程结束。本技术所达到的有益效果是：本技术结构新颖、结构简单，设计合理，使用难度低，设有散热板，散热性能强，检测监控系统的工作，当有人穿越门禁时发出电话报警、短信报警和声光报警。最后应说明的是：以上仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种谐振腔抽气装置，包括装置主体(1)，其特征在于，所述装置主体(1)的一端设有管道接头(11)，所述管道接头(11)一侧设有第二接头(10)，所述第二接头(10)的一侧设有壳体(9)，所述壳体(9)顶部设有慢抽阀(7)，所述慢抽阀(7)的一侧设有快抽阀(3)，所述快抽阀(3)的一侧设有洁净阀(2)，所述壳体(9)的一侧设有第一接头(4)，所述壳体(9)的一端设有第二接头(10)，所述壳体(9)的另一端设有抽气单元压力传感器(8)，所述抽气单元压力传感器(8)的一侧设有第二接头(10)，所述第一接头(4)、所述第二接头(10)和第四接头(18)的一端设有第一限位环(6)，所述第一限位环(6)的一侧设有垫圈(5)，所述管道接头(11)和第三接头(17)的一端设有第二限位环(12)，所述壳体(9)的外壁设有连接口(16)，所述壳体(9)的内部设有电磁阀通道(15)，所述电磁阀通道(15)的一侧设有阻尼孔(14)。

【技术特征摘要】
1.一种谐振腔抽气装置，包括装置主体(1)，其特征在于，所述装置主体(1)的一端设有管道接头(11)，所述管道接头(11)一侧设有第二接头(10)，所述第二接头(10)的一侧设有壳体(9)，所述壳体(9)顶部设有慢抽阀(7)，所述慢抽阀(7)的一侧设有快抽阀(3)，所述快抽阀(3)的一侧设有洁净阀(2)，所述壳体(9)的一侧设有第一接头(4)，所述壳体(9)的一端设有第二接头(10)，所述壳体(9)的另一端设有抽气单元压力传感器(8)，所述抽气单元压力传感器(8)的一侧设有第二接头(10)，所述第一接头(4)、所述第二接头(10)和第四接头(18)的一端设有第一限位环(6)，所述第一限位环(6)的一侧设有垫圈(5)，所述管道接头(11)和第三接头(17)的一端设有第二限位环(12)，所述壳体(9)的外壁设有连接口(16)，所述壳体(9)的内部设有电磁阀通道(15)，所述电磁阀通道(15)的一侧设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：李枕，曹彬，李波，贺昌玉，
申请(专利权)人：沧州沃福激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13