湿制程除静电装置及湿制程设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种湿制程除静电装置及湿制程设备，通过在湿制程设备的两个相邻湿区间之间的缓冲区间内设置离子除静电机构等组件，能够使得当进行湿制程处理的基板从一个湿区间进入相邻的另一个湿区间时，直接通过离子除静电机构除去静电，避免了现有技术中在干燥区间无法有效地消除水段或药液段产生的静电的问题，同时避免了因水段或药液段产生的静电造成的设备故障，进而提升湿制程设备清除基板残余微粒的能力。

Wet process removing electrostatic device and wet process equipment

The utility model provides an electrostatic device and wet process equipment in wet process, ion components such as static electricity removing mechanism by setting buffer zone between the wet process equipment of two adjacent wet interval, when the substrate can make the process of wet enter from a wet interval adjacent to another a wet interval, in addition to electrostatic ion directly through the mechanism to remove static electricity, avoid the existing technology can not effectively eliminate the interval in the drying section of water or liquid generated by electrostatic problems, while avoiding the equipment failure caused by water or liquid static segment caused, and thus enhance the ability of process equipment to remove residual substrate particles wet.

【技术实现步骤摘要】
湿制程除静电装置及湿制程设备
本技术涉及生产用设备
，尤其涉及一种湿制程除静电装置及湿制程设备。
技术介绍
有源矩阵有机发光显示屏(AMOLED)等电子显示装置主要是基于玻璃基板(glass)制造的，在制造显示面板的过程中，有多道制程会使用到湿制程设备，湿制程设备主要是让基板承载于一输送带上，并经由传动机构(roller)的传动，让基板经过喷洒药液或水液的湿区间，以让喷洒的液体均匀冲刷该基板，而依据喷洒的液体的不同，即可以对基板进行不同的湿制程处理作业。湿制程设备进行相应的湿制程时，会无法避免地产生和累积静电电荷，这些静电电荷一方面可能会在基板内转移而产生静电电流，进而损坏基板上的元器件；另一方面会产生电场而吸引带电颗粒或者极化中性颗粒到基板表面，进而造成基板上的致命缺陷。因此，需要对湿制程设备进行除静电处理。目前业界针对湿制程设备的除静电方式大多是在湿制程设备入口和出口的干燥区间加装离子棒(Ionizerbar)，以此来消除进出湿制程设备的玻璃基板上的静电。然而，这种除静电方式下，在湿区间(即水或药液等液体喷洒段，可简称水段或药液段)，由于传动机构即输送带的导电性不佳以及气刀本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种湿制程除静电装置，其特征在于，包括：用于提供带电离子气团的离子除静电机构以及用于为所述离子除静电机构提供气体的气体送入机构，所述离子除静电机构设置于湿制程设备的缓冲区间内，所述气体送入机构连接所述离子除静电机构。

【技术特征摘要】
1.一种湿制程除静电装置，其特征在于，包括：用于提供带电离子气团的离子除静电机构以及用于为所述离子除静电机构提供气体的气体送入机构，所述离子除静电机构设置于湿制程设备的缓冲区间内，所述气体送入机构连接所述离子除静电机构。2.如权利要求1所述的湿制程除静电装置，其特征在于，所述离子除静电机构为离子枪或者离子棒。3.如权利要求1所述的湿制程除静电装置，其特征在于，所述湿制程除静电装置还包括一第一挡门板和一第二挡门板，所述第一挡门板设置于所述缓冲区间的入口处并用于封闭或者打开所述缓冲区间的入口，所述第二挡门板设置于所述缓冲区间的出口处并用于封闭或者打开所述缓冲区间的出口。4.如权利要求3所述的湿制程除静电装置，其特征在于，所述湿制程除静电装置还包括一排气机构，所述排气机构设置于所述缓冲区间内并用于排除所述缓冲区内的气体。5.如权利要求4所述的湿制程除静电装置，其特征在于，所述湿制程除静电装置还包括一控制机构，所述控制机构分别与所述气体送入机构、离子除静电机构、排气机构、第一挡门板以及第二挡门板信号连接，并用于控制所述气体送入机构、离子...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭建龙，金子善雄，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32