一种石英烧结隔板制造技术

技术编号:16844791 阅读:30 留言:0更新日期:2017-12-20 02:56
本实用新型专利技术公开了一种石英烧结隔板,包括垫板、置于所述的垫板上的隔板和顶板,所述的隔板上设有若干个用于放置硅片的凸台,在所述的凸台的顶部设置台阶,所述的顶板通过所述的台阶置于所述的隔板上,且所述的台阶穿过所述的顶板,所述的硅片置于穿过所述的顶板侧的所述的台阶上;所述的垫板、所述的隔板和所述的顶板均为高纯度石英制成。本实用新型专利技术有效地提高了硅片与炉内密致的红外高温接触面积,提高了烧结特性,形成较好的欧姆接触,且尽可能的减少红外线在穿透时的能量消耗,具有穿透性能好、烧结温度均匀等优点。

A quartz sinter partition

The utility model discloses a sintered quartz separator, separator and roof plate including plate, mounted on the, the partition board is provided with a plurality of bosses for placement of a silicon wafer, a step in the boss and the top plate, through the steps set on the roof on the roof, and the step through the roof, the wafer is positioned in the side through the steps on the roof; the baffle plate, the and the are made of high purity quartz. The utility model can effectively improve the infrared high temperature silicon furnace dense contact area, improve the sintering properties, good ohmic contact, and reduce the energy consumption in the infrared penetration when possible, with the penetrating performance, the advantages of uniform sintering temperature.

【技术实现步骤摘要】
一种石英烧结隔板
本技术属于太阳能银浆印刷
,涉及一种石英烧结隔板,具体涉及一种硅片在高温红外线下隔空均匀烧结的工装。
技术介绍
太阳能用银浆印刷工艺包括浆料准备,印刷,烘干,烧结等步骤,其中烘干的作用是将印刷在硅片上的银浆中的有机相(溶剂部分)烘干,主要保留银浆中的玻璃和银含量;烧结的过程就是将银浆内的玻璃融化析出到“硅”的表面并与“硅”发生反应,以此在“银硅”表面形成PN结,完成电性能的转化,所以,烧结过程是银浆能够发挥作用的关键,而且对温度控制及内部结构具有较高的要求。在高温烧结炉中,如何有效地把硅片与炉内密致的红外高温接触面积提升到最大,并且尽可能的减少红外线在穿透隔板时的能量消耗,是硅片在烧结炉内能否成功烧结的关键,传统的烧结隔板采用合金等材料制成,红外穿透性能差,烧结温度不够均匀。
技术实现思路
本技术提供一种石英烧结隔板,其垫板、隔板和顶板均由高纯度石英制成,且通过设置凸台将顶板间隔一段距离置于隔板上,且凸台内设置有通孔,硅片又通过凸台置于顶板上,有效地提高了硅片与炉内密致的红外高温接触面积,且尽可能的减少红外线在穿透时的能量消耗,具有穿透性能好、烧结温度均匀等优点。本技术的技术方案如下:一种石英烧结隔板,包括垫板、置于所述的垫板上的隔板和顶板,所述的隔板上设有若干个用于放置硅片的凸台,在所述的凸台的顶部设置台阶,所述的顶板通过所述的台阶置于所述的隔板上,且所述的台阶穿过所述的顶板,所述的硅片置于穿过所述的顶板侧的所述的台阶上;所述的垫板、所述的隔板和所述的顶板均为高纯度石英制成。优选为,所述的凸台的形状为圆柱,且在所述的圆柱内设有一圆柱通孔,且所述的圆柱通孔延伸至所述的隔板上。优选为,在所述的垫板上对应地设有与所述的圆柱通孔相通的开口。优选为,所述的台阶为圆柱状。优选为,所述的隔板通过挡条与所述的垫板卡接固定。优选为,所述的凸台左右对称且阵列排列的设置在所述的隔板上。与现有技术相比,本技术的有益效果如下:第一.本技术的一种石英烧结隔板,由于高温红外线能够穿过石英板,且纯度高的石英板与红外线的消耗为负相关关系,因此,采用高纯度石英作为垫板、隔板和顶板的材料,可以提高红外线穿透比率,减少红外线在穿透时的能量消耗,且提高加热的均匀度;第二.本技术的一种石英烧结隔板,通过在隔板上设置若干凸台,利用凸台将顶板间隔一段距离置于隔板上,且凸台内设置有通孔,硅片又通过凸台置于顶板上,有效地提高了硅片与炉内密致的红外高温接触面积,提高了烧结特性,形成较好的欧姆接触。当然,实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。附图说明图1为本技术的一种石英烧结隔板的剖视图;图2为隔板的俯视图;图3为垫板的俯视图。具体实施方式下面结合具体实施例,进一步阐述本技术。应该理解,这些实施例仅用于说明本技术,而不用于限定本技术的保护范围。在实际应用中本领域技术人员根据本技术做出的改进和调整,仍属于本技术的保护范围。为了更好的说明本技术,下方结合附图对本技术进行详细的描述。如图1~3所示,本技术的一种石英烧结隔板,包括垫板1、置于所述的垫板1上的隔板2和顶板6,所述的隔板2上设有若干个用于放置硅片(图中未标记)的凸台3,在所述的凸台3的顶部设置台阶5,在本实施例中,所述的台阶5为圆柱状,所述的顶板6通过所述的台阶5置于所述的隔板2上,且所述的台阶5穿过所述的顶板6,所述的硅片置于穿过所述的顶板6侧的所述的台阶5上;所述的垫板1、所述的隔板2和所述的顶板6均为高纯度石英制成。所述的凸台3的形状为圆柱,且在所述的圆柱3内设有一圆柱通孔4,且所述的圆柱通孔4延伸至所述的隔板2上,同时,在所述的垫板1上对应地设有与所述的圆柱通孔4相通的开口(图中未标记),通过圆柱通孔4、开口实现热空气的流动,进一步保证硅片的均匀加热。本技术不具体限定凸台3的形状及通孔4的形状,本领域技术人员根据实际工况可做出常规选择。所述的隔板2通过挡条7与所述的垫板1卡接固定,实现隔板2与垫板1固定安装。所述的凸台3左右对称且阵列排列的设置在所述的隔板2上,本技术一实施例中,所述的凸台3以2*3*5左右对称且阵列排列在所述的隔板2上(其中对称一侧未在图中显示),将待烧结硅片放置在凸台3的上方,能够大量减少硅片与隔板2的接触面积,以增大银浆与高温红外线的接触。下方结合具体实施例对本技术做进一步的描述。安装时,首先将顶板6通过凸台3的台阶5结构固定到隔板2的上面,然后将隔板2通过挡条7卡接固定于垫板1上,实现整个结构的组装。使用时,将硅片置于穿过所述的顶板6侧的所述的台阶5上,红外高温穿过石英隔板传递到硅片上,实现对硅片的加热,同时顶板6与隔板2之间的空隙以及通孔4内的空间,可以方便的实现热空气的流动,进一步保证硅片的均匀加热。以上公开的本技术优选实施例只是用于帮助阐述本技术。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该技术仅为所述的具体实施方式。显然,根据本说明书的内容,可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例,是为了更好地解释本技术的原理和实际应用,从而使所属
技术人员能很好地理解和利用本技术。本技术仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。本文档来自技高网
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一种石英烧结隔板

【技术保护点】
一种石英烧结隔板,其特征在于,包括垫板、置于所述的垫板上的隔板和顶板,所述的隔板上设有若干个用于放置硅片的凸台,在所述的凸台的顶部设置台阶,所述的顶板通过所述的台阶置于所述的隔板上,且所述的台阶穿过所述的顶板,所述的硅片置于穿过所述的顶板侧的所述的台阶上;所述的垫板、所述的隔板和所述的顶板均为高纯度石英制成。

【技术特征摘要】
1.一种石英烧结隔板,其特征在于,包括垫板、置于所述的垫板上的隔板和顶板,所述的隔板上设有若干个用于放置硅片的凸台,在所述的凸台的顶部设置台阶,所述的顶板通过所述的台阶置于所述的隔板上,且所述的台阶穿过所述的顶板,所述的硅片置于穿过所述的顶板侧的所述的台阶上;所述的垫板、所述的隔板和所述的顶板均为高纯度石英制成。2.根据权利要求1所述的石英烧结隔板,其特征在于,所述的凸台的形状为圆柱,且在所述的圆柱内设有...

【专利技术属性】
技术研发人员:范友志涂小平明祝平李宏伟
申请(专利权)人:常州聚和新材料股份有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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