一种具有宽带减反射作用的柔性水氧阻隔膜及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种柔性透明水氧阻隔膜及其制备方法，该柔性透明水氧阻隔膜位于柔性透明基底以上；所述阻隔膜具有宽带减反射作用。所述阻隔膜为多层结构，所述阻隔膜中各层的厚度在10nm至400nm范围内，所述阻隔膜的总层数在2至20层范围内。本发明专利技术通过采用薄膜光学理论中多层宽带减反射膜设计方法设计阻隔膜的膜系机构，利用薄膜沉积工艺将所述阻隔膜沉积在柔性透明基底上，制备得到了一种兼顾阻隔性能、弯曲性能和光学性能，且工艺成本低的具有宽带减反射作用的柔性水氧阻隔膜，由此解决现有技术缺乏一种应用于柔性透明光电器件的既具有阻隔性能满足光学性能要求的水氧阻隔膜的技术问题。

A flexible water oxygen barrier diaphragm with broadband antireflection and its preparation method

The invention discloses a flexible transparent water oxygen barrier diaphragm and a preparation method thereof. The flexible transparent water oxygen barrier film is positioned above the flexible transparent substrate, and the barrier film has broadband reflection reduction function. The barrier film is a multilayer structure, and the thickness of each layer in the barrier film is within the range of 10nm to 400nm, the total number of the hindrance diaphragm is within the range of 2 to 20 layers. The membrane system design method of reducing reflection film by adopting multilayer broadband optical thin film theory in design of barrier film, thin film deposition process using the barrier films deposited on flexible transparent substrate, prepared by both the barrier properties, bending properties and optical properties, with flexible water oxygen barrier broadband antireflection film the process and effect of low cost, which solves the lack of a flexible and transparent optoelectronic devices used in both water and oxygen barrier properties meet the technical requirements of the optical properties of barrier films.

【技术实现步骤摘要】
一种具有宽带减反射作用的柔性水氧阻隔膜及其制备方法
本专利技术属于光电器件领域，更具体地，涉及一种具有宽带减反射作用的柔性水氧阻隔膜及其制备方法。
技术介绍
新兴的柔性透明光电器件，如柔性透明的太阳能电池(solarcell)、有机发光二极管(OLED)、触控板(touchpanel)等，因其具有独特的优势，在人们生活中具有广泛的应用前景，而高性能透明柔性基底的制备就是光电器件实现柔性化和透明化首先需要解决的问题。透明聚合物薄膜由于具备体积轻薄、弯折性能好、种类丰富，并且兼容卷对卷大面积量产工艺等诸多优势，成为了透明柔性基底的首选。然而，聚合物薄膜由于其固有的疏松多孔表面而水氧阻隔性能低下，难以满足光电器件的使用要求，而另一方面，现有的阻隔膜结构由于在结构设计和制作时大多仅考虑阻隔性能和弯曲性能，其光学性能不能满足柔性透明光电器件的使用需求。因此，现有技术缺乏一种应用于柔性透明光电器件的既具有阻隔性能又满足光学性能要求的水氧阻隔膜及其制备方法。
技术实现思路
针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本专利技术提供了一种具有宽带减反射作用的柔性水氧阻隔膜及其制备方法，其目的在于通过采用薄膜光学理本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性透明水氧阻隔膜，其特征在于：所述柔性透明水氧阻隔膜位于柔性透明基底以上；所述阻隔膜具有宽带减反射作用；所述阻隔膜的CIE色坐标的纵坐标值与标准白光的CIE色坐标的纵坐标值的之差的绝对值不超过0.1％，所述阻隔膜的CIE色坐标的横坐标值与标准白光的CIE色坐标的横坐标值的之差的绝对值不超过0.1％。

【技术特征摘要】
1.一种柔性透明水氧阻隔膜，其特征在于：所述柔性透明水氧阻隔膜位于柔性透明基底以上；所述阻隔膜具有宽带减反射作用；所述阻隔膜的CIE色坐标的纵坐标值与标准白光的CIE色坐标的纵坐标值的之差的绝对值不超过0.1％，所述阻隔膜的CIE色坐标的横坐标值与标准白光的CIE色坐标的横坐标值的之差的绝对值不超过0.1％。2.如权利要求1所述的柔性透明水氧阻隔膜，其特征在于，所述阻隔膜为多层结构，所述阻隔膜的总层数在2至20层范围内，所述阻隔膜中各层的厚度在10nm至400nm范围内，所述阻隔膜的总厚度不大于3微米。3.如权利要求2所述的柔性透明水氧阻隔膜，其特征在于，所述阻隔膜的每一层可选用的膜材为氮化硅、氧化硅、氮氧化硅、氧化锆、氧化铪、氧化铝、氧化钛、氧化锌、氧化镁、氟化镁、硫化锌、氧化钼、氧化钨或氧化钽，所述阻隔膜至少选用两种不同的膜材。4.如权利要求1所述的柔性透明水氧阻隔膜，其特征在于，所述柔性透明基底为PI、PET、PEN、PES、PDMS、PMMA或PC透明聚合物薄膜。5.如权利要求1所述的柔性透明水氧阻隔膜，其特征在于，所述柔性透明基底为PI。6.如权利要求1所述的柔性透明水氧阻隔膜，其特征在于，所述阻隔膜与所述柔性透明基底构成的复合膜在430～730nm波段的最高透光率与最低透光率之差不大于4.2％。7.一种柔性透明水氧阻隔膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)选定柔性透明基底、阻隔膜的膜材种类以及薄膜沉积工艺，使得所述柔性透明基底的玻璃化转变温度高于所述薄膜沉积工艺的工作...

【专利技术属性】
技术研发人员：屠国力，申九林，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：湖北,42