传感器和/或变换器设备和用于运行其的方法技术

本发明专利技术涉及一种传感器和/或变换器设备，具有至少一个包括至少一个压电层的弯曲结构，通过该压电层分别至少部分填充在弯曲结构的至少两个电极之间的中间容积，其中，弯曲结构具有电子器件装置，该电子器件装置设计成，在弯曲结构的各两个电极之间这样施加至少一个预给定或确定的激励电压，使得可以至少部分补偿由于在弯曲结构中的固有应力梯度而引起的弯曲结构的变形。本发明专利技术同样涉及一种用于运行具有至少一个包括至少一个压电层的弯曲结构的传感器和/或变换器设备的方法以及一种用于校准具有至少一个包括至少一个压电层的弯曲结构的麦克风的方法。

Sensors and / or converter devices and methods used to run it

The invention relates to a sensor and / or converter equipment, with at least one bending structure including at least one piezoelectric layer, the piezoelectric layer are at least partially filled the middle volume between at least two electrode structure bending the bending structure with electronic device, the electronic device design as such, applying at least one predetermined or determined excitation voltage between the two electrodes of bending structure, which can bend at least in part due to the compensation structure inherent in the structure of the bending stress gradient. The invention also relates to a method for operating with at least one sensor structure includes at least one bending piezoelectric layer and / or converter device and a method for calibrating with at least one bending structure including at least one piezoelectric layer of microphone.

【技术实现步骤摘要】
传感器和/或变换器设备和用于运行其的方法
本专利技术涉及一种传感器和/或变换器设备，尤其是麦克风。本专利技术同样涉及一种用于运行具有至少一个包括至少一个压电层的弯曲结构的传感器和/或变换器设备的方法。此外，本专利技术涉及一种用于校准具有至少一个包括至少一个压电层的弯曲结构的麦克风的方法。
技术介绍
由现有技术已知传感器和/或变换器设备，所述传感器和/或变换器设备具有至少一个包括至少一个压电层的弯曲结构。各个弯曲结构具有至少一个悬置区域，可以通过至少一个压电层的压缩和/或拉伸相对于弯曲结构的固定区域调整该悬置区域。例如，US2014/0339657A1描述了压电麦克风，该压电麦克风具有多个这样的弯曲结构。
技术实现思路
本专利技术实现一种具有至少一个包括至少一个压电层的弯曲结构的传感器和/或变换器设备、一种具有所述传感器和/或变换器设备的麦克风、一种用于运行具有至少一个包括至少一个压电层的传感器和/或变换器设备的方法和一种用于校准具有至少一个包括至少一个压电层的传感器和/或变换器设备的方法。本专利技术实现成本有利的并且可以简单实现的可能性，用于至少部分补偿各个传感器和/或变换器设备的至少一本文档来自技高网...

【技术保护点】
传感器和/或变换器设备，具有：至少一个分别包括至少一个压电层(12、14)的弯曲结构(10)，通过该压电层分别至少部分填充在所述弯曲结构(10)的至少两个电极(16至20、50至54)之间的中间容积，其中，所述弯曲结构(10)具有至少一个悬置区域(10a)，通过所述至少一个压电层(12、14)的压缩和/或拉伸能够相对于所述弯曲结构(10)的固定区域(10b)调整该悬置区域；其特征在于，具有电子器件装置(28)，该电子器件装置设计成，在所述弯曲结构(10)的相应两个所述电极(16至20、50至54)之间这样施加至少一个预给定或确定的激励电压(Ua)，使得能够至少部分补偿由于在所述弯曲结构(10)...

【技术特征摘要】
2016.06.07 DE 102016210008.41.传感器和/或变换器设备，具有：至少一个分别包括至少一个压电层(12、14)的弯曲结构(10)，通过该压电层分别至少部分填充在所述弯曲结构(10)的至少两个电极(16至20、50至54)之间的中间容积，其中，所述弯曲结构(10)具有至少一个悬置区域(10a)，通过所述至少一个压电层(12、14)的压缩和/或拉伸能够相对于所述弯曲结构(10)的固定区域(10b)调整该悬置区域；其特征在于，具有电子器件装置(28)，该电子器件装置设计成，在所述弯曲结构(10)的相应两个所述电极(16至20、50至54)之间这样施加至少一个预给定或确定的激励电压(Ua)，使得能够至少部分补偿由于在所述弯曲结构(10)中的固有应力梯度而引起的所述弯曲结构(10)的变形。2.根据权利要求1所述的传感器和/或变换器设备，其中，所述弯曲结构(10)包括作为电极(16至20、50至54)的至少一个第一外电极(16、50)、至少一个第二外电极(18、52)和至少一个布置在所述至少一个第一外电极(16、50)与所述至少一个第二外电极(18、52)之间的中间电极(20、54)，并且包括作为至少一个压电层(12、14)的、位于所述至少一个第一外电极(16、50)与所述至少一个中间电极(20、54)之间的第一中间容积中的第一压电层(12)和位于所述至少一个中间电极(20、54)与所述至少一个第二外电极(18、52)之间的第二中间容积中的第二压电层(14)。3.根据权利要求2所述的传感器和/或变换器设备，其中，所述弯曲结构(10)只包括所述第一外电极(16)、所述第二外电极(18)和布置在所述第一外电极(16)与所述第二外电极(18)之间的所述中间电极(20)作为电极(16至20)，其中，所述电子器件装置(28)设计成，输出关于作用在所述第一外电极(16)与所述中间电极(20)之间的感应电压(Us)的至少一个电输出信号(40)并且在所述中间电极(20)与所述第二外电极(18)之间施加所述预给定或确定的激励电压(Ua)。4.根据权利要求2所述的传感器和/或变换器设备，其中，所述弯曲结构(10)包括第一感应电极(16)和第一激励电极(50)作为所述至少一个第一外电极(16、50)、第二感应电极(18)和第二激励电极(52)作为所述至少一个第二外电极(18、52)，并且包括位于所述第一感应电极(16)与所述第二感应电极(18)之间的第三感应电极(20)和位于所述第一激励电极(50)与所述第二激励电极(52)之间的第三激励电极(54)作为所述至少一个中间电极(20、54)，其中，所述电子器件装置(28)设计成，输出关于至少一个作用在相应两个所述感应电极(16至20)之间的感应电压(Us)的至少一个电输出信号(40)，并且在相应两个所述激励电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：F·普尔科，K·德塞尔，T·布克，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE