The utility model relates to a supercritical state cleaning system, which comprises a cleaning room (4), gas supercharging device (11), a first heating device (5) and carbon dioxide supply device, wherein the cleaning chamber (4) respectively with the first heating device (5) and carbon dioxide supply device is connected, which is characterized in that the cleaning chamber (4) is connected with the vacuum pump group (1). Compared with the existing technology, the utility model can clean the air brought in when the workpiece enters the cleaning room, prevent the mixing of CO2 from the air, and improve the cleaning effect.
【技术实现步骤摘要】
一种超临界状态清洗系统
本技术涉及一种热处理设备产品的清洗装置,尤其是涉及一种超临界状态清洗系统。
技术介绍
热处理行业在售的清洗设备,一般都是水基清洗机,极少数用的是碳氢溶剂清洗机。水基清洗机是用水作为清洗介质,由于水是不能溶解油的,而水基清洗机大多数情况下都是清洗油淬后的工件,为了提高清洗效果,不得不调整水的温度和在水里面添加清洗剂(或防锈剂)。水基清洗机的最大缺陷是水污染,因为清洗机长时间工作后,水里面含有乳化油,对清洗效果有相当大的影响,所以需要定期更换水。清洗下来的废油(淬火油),也是要通过有资质的处理单位处理,不能回收再利用,从而使用成本也大大的提高。水基清洗机清洗后的工件还会存在清洁度不过关的问题,对于一些工件有盲孔或者细小的缝隙,基本上是洗不到,这也使得水基清洗机不能在高清洁度要求的行业里面应用。碳氢溶剂清洗机是利用碳氢溶剂作为清洗介质,碳氢溶剂是石油烃的混合物,能溶解淬火油,清洗效果非常好,清洗后的工件表面非常干净。利用是碳氢溶剂的闪点低,通过加热的方式,将碳氢溶剂蒸馏出来,留下的淬火油还能继续回收再利用。碳氢溶剂清洗机清洗效果好,而且没有污染,但是碳氢溶剂是易燃易爆物质,因此在用户在使用该设备时需加以防护,不是最优选择。申请号为200810226688X的中国专利公开了一种半导体二氧化碳超临界吹扫清洗机,包括清洗室和分离室,清洗室与分离室通过密封的二氧化碳出气管连通,清洗室带有喷嘴,二氧化碳通过喷嘴直接喷射到清洗室底部的待清洗硅片上。然而该清洗室在工作过程中可能混入空气,不利于保证清洗效果。
技术实现思路
本技术的目的就是为了克服上述现有技术存 ...
【技术保护点】
一种超临界状态清洗系统,包括清洗室(4)、气体增压装置(11)、第一加热装置(5)和二氧化碳供给装置,所述的清洗室(4)分别与气体增压装置(11)、第一加热装置(5)和二氧化碳供给装置连接,其特征在于,所述的清洗室(4)连有真空泵组(1)。
【技术特征摘要】
1.一种超临界状态清洗系统,包括清洗室(4)、气体增压装置(11)、第一加热装置(5)和二氧化碳供给装置,所述的清洗室(4)分别与气体增压装置(11)、第一加热装置(5)和二氧化碳供给装置连接,其特征在于,所述的清洗室(4)连有真空泵组(1)。2.根据权利要求1所述的一种超临界状态清洗系统,其特征在于,所述的二氧化碳供给装置包括相互连接的储存罐(17)和缓存罐(15),所述的气体增压装置(11)设置在缓存罐(15)与清洗室(4)之间的管路上,二氧化碳从储存罐(17)流入缓存罐(15),经气体增压装置(11)增压后进入清洗室(4)。3.根据权利要求2所述的一种超临界状态清洗系统,其特征在于,所述的系统中的管路包括:两端分别与储存罐(17)和缓存罐(15)连接的第五管路(10)、两端分别与缓存罐(15)和清洗室(4)连接的第三管路(8)、两端分别与清洗室(4)和缓存罐(15)连接的第二管路(7)以及两端分别与缓存罐(15)和储存罐(17)连接的第四管路(9),所述的气体增压装置(11)与第三管路(8)和第四管路(...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨凡,杨景峰,
申请(专利权)人:上海颐柏热处理设备有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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