微粒物质传感器单元的制造方法技术

本发明专利技术提出了一种微粒物质传感器单元，微粒物质（PM）传感器单元可以包括排放气体经过的排气管路和PM传感器，所述PM传感器可以配置在所述排气管路的一侧并且当包括在所述排放气体中的微粒物质经过其附近时产生信号，其中所述PM传感器可以是静电感应型的，其在带有电荷的所述微粒物质经过其附近时产生感应电荷。

【技术实现步骤摘要】
微粒物质传感器单元的制造方法相关申请的交叉引用本申请要求2011年12月9日向韩国知识产权局提交的韩国专利申请No.10-2011-0132255的优先权，该申请的全部内容通过该引用结合于此，以用于所有目的。
本专利技术涉及一种微粒物质传感器单元，其准确地和有效地检测对用于过滤包括在排放气体中的微粒物质（PM）的微粒过滤器的损害并将检测信号传递至控制部分。
技术介绍
柴油微粒过滤器（DPF）已被应用于柴油车辆以便于降低其PM，并且压差传感器被应用于检测在所述柴油微粒过滤器中捕获的PM量。在未来，根据排放气体规定，压差传感器将不再用于检测对DPF的损害，并且进一步地，所述压差传感器的检测精度低。公开于本专利技术背景部分的信息仅仅旨在增加对本专利技术的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。
技术实现思路
本专利技术的各个方面旨在提供一种微粒物质传感器单元，其具有准确地检测由微粒过滤器排出的PM（微粒物质）的量并且通过检测的PM量准确地检测所述微粒过滤器的损害的优点。在本专利技术的一个方面中，微粒物质（PM）传感器单元可以包括排放气体经本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微粒物质传感器单元的制造方法，其包含：清洗硅树脂电极层；在所述硅树脂电极层的全部前表面部分上形成防蚀层；从所述防蚀层中消除规定的图案；通过所述防蚀层的已消除的部分将所述硅树脂电极层的前表面部分蚀刻至预定的深度；通过消除所述防蚀层形成突出的电极；在全部前表面部分和后表面部分上形成绝缘层以覆盖所述突出的电极；选择性地消除在所述硅树脂电极层的后表面部分上形成的所述绝缘层中形成传感电极垫的部分；在所述硅树脂电极层的全部后表面部分上形成PR层，在所述PR层中消除了对应于加热器电极的图案化的部分；在所述PR层和所述硅树脂电极层上形成Pt层；和通过消除所述PR层在所述硅树脂电极层上形成由所述Pt层形成的...

【技术特征摘要】
2011.12.09 KR 10-2011-01322551.一种微粒物质传感器单元的制造方法，其包含：清洗硅树脂电极层；在所述硅树脂电极层的全部前表面部分上形成防蚀层；从所述防蚀层中消除规定的图案；通过所述防蚀层的已消除的部分将所述硅树脂电极层的前表面部分蚀刻至预定的深度；通过消除所述防蚀层形成突出的电极；在全部前表面部分和后表面部分上形成绝缘层以覆盖所述突出的电极；选择性地消除在所述硅树脂电极层的后表面部分上形成的所述绝缘层中形成传感电极垫的部分；在所述硅树脂电极层的全部后表面部分上形成PR层，在所述PR层中消除了对应于加热器电极的图案化的部分；在所述PR层和所述硅树脂电极层上形成Pt层；和通过消除所述PR层在所述硅树脂...

【专利技术属性】
技术研发人员：李津夏，赵志晧，全国镇，姜诚赞，张根豪，
申请(专利权)人：现代自动车株式会社，起亚自动车株式会社，首尔大学校产学协力团，
类型：发明
国别省市：韩国,KR