一种音圈电机及其制造方法技术

本发明专利技术公开了一种音圈电机及其制造方法，该音圈电机包括Π型磁铁支撑结构，嵌套于Π型磁铁支撑结构内部两侧的海尔贝克磁铁阵列、设于海尔贝克磁铁阵列之间的线圈和套设于线圈外周的线圈保护层，Π型磁铁支撑结构和线圈保护层均由环氧树脂一次灌注成型。通过设置由环氧树脂灌注成型的Π型磁铁支撑结构对海尔贝克磁铁阵列进行有效支撑，不仅质量轻、机械强度高、能够承受海尔贝克磁铁阵列之间的吸力而不易形变、防水性能好、耐化学腐蚀、耐冲击，而且制造过程中，采用可重复使用的模具一次成型，安全可靠，提高了生产效率；同时通过设置由环氧树脂灌注成型的线圈保护层对线圈进行保护，提高了线圈的耐高温性能、防水性能和绝缘的功能。

A voice coil motor and its manufacturing method

The invention discloses a voice coil motor and its manufacturing method, the voice coil motor comprises a PI type magnet supporting structure between nested in PI type magnet supporting structure on both sides of the internal magnet array, a Haier Haier Beck Beck magnet array coil and the coil is sleeved on the periphery of the coil protective layer, an n-shaped magnet supporting structure and the coil protective layer by an epoxy resin infusion molding. Through setting up the Haier Beck magnet array effectively supported by PI magnet supporting structure of epoxy resin infusion molding, not only light quality, high mechanical strength, can withstand the attraction between the Haier Beck magnet array and not easy deformation, good waterproof performance, chemical corrosion resistance, impact resistance, and the manufacturing process, using a molding a reusable mold, safe and reliable, the production efficiency is improved; at the same time by setting up by epoxy resin infusion molding the protective layer on the coil coil coil protection, improve heat resistance, waterproof and insulation functions.

【技术实现步骤摘要】
一种音圈电机及其制造方法
本专利技术涉及工件与掩模台领域，具体涉及一种音圈电机及其制造方法。
技术介绍
音圈电机通常由定子和动子组成，其工作原理为：在定子间隙磁场中放入线圈绕组，线圈通电后产生电磁力，带动动子和负载作直线运动，改变电流的强弱和极性，即可改变电磁力的大小和方向。由于音圈电机结构简单、维护方便、可靠和能量转换效率高，而且电气与机械时间常数低，推力/质量比高，无齿槽效应，不需要换向，灵敏度高，因此在要求快速、高精度定位的光刻机短行程精密定位单元中具有广泛应用。然而现有的音圈电机通常存在以下几方面的不足：一是适用场合有限，在恶劣环境中，其高精度和高速响应的特点受到了很大局限；二是为了排除线缆力等带来的干扰，往往采用线圈相对静止，磁铁及其背铁支撑结构作为运动部分的使用方案，然而用于支撑固定磁铁的背铁由不锈钢材质制造，比较厚重，给chuck运动台带来附加的负载质量，给进一步提高运动台整体推重比带来困难；三是在制造过程中，需要具体制造背铁和磁铁结构，制造周期长，且价格昂贵，还需要先将磁铁与背铁粘接后，上下背铁再通过工装进一步安装，行程气隙的控制，安装过程较复杂，危险系数高。专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种音圈电机，其特征在于，包括Π型磁铁支撑结构、嵌套于所述Π型磁铁支撑结构内部相对两侧的海尔贝克磁铁阵列、设于所述海尔贝克磁铁阵列之间的线圈和套设于所述线圈外周的线圈保护层，所述Π型磁铁支撑结构和线圈保护层均由环氧树脂一次灌注成型。

【技术特征摘要】
1.一种音圈电机，其特征在于，包括Π型磁铁支撑结构、嵌套于所述Π型磁铁支撑结构内部相对两侧的海尔贝克磁铁阵列、设于所述海尔贝克磁铁阵列之间的线圈和套设于所述线圈外周的线圈保护层，所述Π型磁铁支撑结构和线圈保护层均由环氧树脂一次灌注成型。2.根据权利要求1所述的音圈电机，其特征在于，所述海尔贝克磁铁阵列呈梯形结构。3.根据权利要求1所述的音圈电机，其特征在于，位于所述线圈上方的所述海尔贝克磁铁阵列沿出力方向的充磁方向依次为正Z、正X及负Z；对应的位于所述线圈下方的所述海尔贝克磁铁阵列沿出力方向的充磁方向依次为正Z、负X及负Z。4.一种如权利要求1所述音圈电机的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：将环氧树脂进行单组份真空脱泡、混合；S2：将海尔贝克磁铁阵列安装到磁铁支撑结构模具中，并进行烘烤预热；S3：将线圈放入线圈保护层模具中，并进行烘烤预热；S4：将环氧树脂分别从磁铁支撑结构模具的第一浇注口和线圈保护层模具的第二浇注口通入，并将磁铁支撑结构模具和线圈保护层模具分别进行恒温固化；S5：脱模，并组装成型。5.根据权利要求4所述的制造方法，其特征在于，所述磁铁支撑结构模具包括：下模和设于所述下模上方与所述下模配合使用的上盖模，所述下模内部设有Π型空腔，所述上盖模内...

【专利技术属性】
技术研发人员：季汉川，陈庆生，王琼，高贵杰，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31