掩膜版卡匣搬运车制造技术

本实用新型专利技术公开了一种掩膜版卡匣搬运车，属于有机发光二极管制备领域。所述掩膜版卡匣搬运车包括：车体和设置于车体内的电磁锁，电磁锁包括：电磁铁、金属卡扣和与电磁铁连接的控制器；金属卡扣包括卡柄和钩状结构，卡柄的一端与钩状结构连接，卡柄的另一端位于电磁铁的磁力范围内，钩状结构能够在卡柄不受磁力作用时与待搬运的掩膜版卡匣上的卡扣扣合；控制器能够控制电磁铁的通电和断电，在电磁铁通电时，卡柄在电磁铁的磁力作用下朝向电磁铁运动以使钩状结构与掩膜版卡匣上的卡扣脱离。本实用新型专利技术能够避免持续为电磁锁供电导致的电能大和电磁锁使用寿命短的问题。

【技术实现步骤摘要】
掩膜版卡匣搬运车
本技术涉及有机发光二极管制备领域，特别涉及一种掩膜版卡匣搬运车。
技术介绍
在实际应用中，FMM(FineMetalMask，精细金属掩膜)技术是制备OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)器件的一种较为常见的技术。在FMM技术中可以将金属掩膜版置于基板上，而后通过蒸镀等工艺在该基板上形成与该金属掩膜版上的掩模图形形状相应的膜层，从而最终制备出OLED器件。在实际应用中，上述金属掩膜版通常放置于掩膜版卡匣(MaskCassette)中，而该掩膜版卡匣通常由掩膜版卡匣搬运车(以下简称搬运车)进行搬运，在进行蒸镀时，搬运车可以将掩膜版卡匣投入真空室中，在蒸镀完成后，搬运车可以将掩膜版卡匣由真空室中取出。在相关技术中，搬运车一般使用电磁锁对掩膜版卡匣进行固定，在将掩膜版卡匣投入真空室时，搬运车可以在掩膜版卡匣到达指定位置后停止为电磁锁供电，以使掩膜版卡匣脱离搬运车，在将掩膜版卡匣由真空室中取出时，搬运车可以持续为电磁锁供电，直至掩膜版卡匣在磁力的作用下固定于搬运车上，而后搬运车可以将该掩膜版卡匣由真空室中取出。在搬运车将掩膜版卡匣由本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜版卡匣搬运车，其特征在于，所述掩膜版卡匣搬运车包括车体和设置于所述车体内的电磁锁，所述电磁锁包括：电磁铁、金属卡扣和与所述电磁铁连接的控制器；所述金属卡扣包括卡柄和钩状结构，所述卡柄的一端与所述钩状结构连接，所述卡柄的另一端位于所述电磁铁的磁力范围内，所述钩状结构能够在所述卡柄不受磁力作用时与待搬运的掩膜版卡匣上的卡扣扣合；所述控制器能够控制所述电磁铁的通电和断电，在所述电磁铁通电时，所述卡柄在所述电磁铁的磁力作用下朝向所述电磁铁运动以使所述钩状结构与所述掩膜版卡匣上的卡扣脱离。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版卡匣搬运车，其特征在于，所述掩膜版卡匣搬运车包括车体和设置于所述车体内的电磁锁，所述电磁锁包括：电磁铁、金属卡扣和与所述电磁铁连接的控制器；所述金属卡扣包括卡柄和钩状结构，所述卡柄的一端与所述钩状结构连接，所述卡柄的另一端位于所述电磁铁的磁力范围内，所述钩状结构能够在所述卡柄不受磁力作用时与待搬运的掩膜版卡匣上的卡扣扣合；所述控制器能够控制所述电磁铁的通电和断电，在所述电磁铁通电时，所述卡柄在所述电磁铁的磁力作用下朝向所述电磁铁运动以使所述钩状结构与所述掩膜版卡匣上的卡扣脱离。2.根据权利要求1所述的掩膜版卡匣搬运车，其特征在于，所述掩膜版卡匣搬运车还包括弹性元件；所述弹性元件的一端与所述卡柄的中部连接，所述弹性元件的另一端固定于所述电磁锁上。3.根据权利要求2所述的掩膜版卡匣搬运车，其特征在于，所述弹性元件为拉伸弹簧。4.根据权利要求1所述的掩膜版卡匣搬运车，其特征在于，所述掩膜版卡匣搬运车还包括支撑柱，所述支撑柱的一端与所述卡柄的中部转动连接，所述支撑柱...

【专利技术属性】
技术研发人员：井昱，吴文泽，张新建，曹飞，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京,11