外观检查装置及外观检查方法制造方法及图纸

倾斜相机(31b)～(31e)相对于基板(10)的表面(10a)的法线方向(铅垂方向Z)倾斜地配置，适用于捕捉存在于基板(10)的表面(10a)上的焊料(91)、(92)的侧面(图7)。而且，基于通过倾斜相机(31b)～(31e)拍摄对基板(10)设定的计测区域R(I)而得到的计测区域R(I)，对计测区域R(I)的三维形状Dt(I)进行计测。因此，即使是计测区域R(I)以包含存在于基板(10)上的焊料(91)、(92)的侧面(91a)、(92a)的方式设定的情况下，也能够准确地计测焊料(91)、(92)的侧面(91a)、(92a)的三维形状Dt(I)。

Appearance inspection device and appearance inspection method

The tilting camera (31b) ~ (31E) is disposed relative to the normal direction (vertical direction Z) of the surface (10a) of the substrate (10), and is suitable for capturing the side (91) and (92) side of the solder (91) on the surface (10a) of the substrate (Fig. 7). Moreover, based on the computed area R (I) obtained from the measurement area R (I) set by the substrate (10) by tilting camera (31b) ~ (31E), the three-dimensional shape Dt (I) of the measurement area R (I) is measured. Therefore, even if the measuring area R (I) is set in the way of the side (91A) and (92a) of solder (91) and (92) on the substrate (10), the three-dimensional shape Dt (I) of the solder (91) and (92) side (91A) and (92a) can be accurately measured.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】外观检查装置及外观检查方法
本专利技术涉及一种检查基板的外观的外观检查装置及外观检查方法。
技术介绍
专利文献1所记载的视力检查装置具备正对于检查对象物的第一相机和照射格子图案的格子图案照射部，基于通过第一相机拍摄照射在检查对象物上的格子图案变形的样子的结果，测定检查对象物的高度。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特表2014-510276号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题这种技术例如能够用于检查通过焊料安装有元件的基板的外观。但是，上述的第一相机正对检查对象物。因此，在对基板进行检查时，有时不一定能够准确地计测存在于基板上的物体(焊料或者元件等)的侧面的三维形状。顺便说一下，在专利文献1中，设有配置在第一相机的周围的第二相机。但是，该第二相机只能确认元件的浮起或未插入，不足以消除该问题。该专利技术鉴于上述课题而完成，其目的在于提供一种能够准确地计测存在于基板上的物体的侧面的三维形状的技术。用于解决课题的技术方案为了实现上述目的，本专利技术的外观检查装置具备：基板保持部，对基板进行保持；投影机，向保持于基板保持部的基板照射光；倾斜相机，相对于保持于基板保持部的基板的表面的法线方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种外观检查装置，具备：基板保持部，对基板进行保持；投影机，向保持于所述基板保持部的所述基板照射光；倾斜相机，相对于保持于所述基板保持部的所述基板的表面的法线方向倾斜地配置；及控制部，基于从所述投影机向对所述基板设定的计测区域照射光并通过所述倾斜相机拍摄所述计测区域而得到的拍摄图像，对所述计测区域的三维形状进行计测。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种外观检查装置，具备：基板保持部，对基板进行保持；投影机，向保持于所述基板保持部的所述基板照射光；倾斜相机，相对于保持于所述基板保持部的所述基板的表面的法线方向倾斜地配置；及控制部，基于从所述投影机向对所述基板设定的计测区域照射光并通过所述倾斜相机拍摄所述计测区域而得到的拍摄图像，对所述计测区域的三维形状进行计测。2.根据权利要求1所述的外观检查装置，其中，至少2台所述倾斜相机在从所述基板的表面的法线方向观察的俯视图中朝向互不相同的方向且各自的视野在所述基板的表面的检查范围内相互重复，所述控制部在多个所述倾斜相机的视野重复的检查范围内设定所述计测区域。3.根据权利要求2所述的外观检查装置，其中，所述控制部基于所述倾斜相机拍摄所述计测区域的方向，选择多个所述倾斜相机各自的所述拍摄图像中的用于所述计测区域的三维形状的计测的所述拍摄图像。4.根据权利要求3所述的外观检查装置，其中，所述控制部获取表示通过焊料安装在所述基板的表面上的元件的位置及外形的元件数据，根据该元件数据设定在拍摄所述计测区域的所述倾斜相机的拍摄方向上要求的拍摄条件，将从满足所述拍摄条件的方向拍摄所述计测区域的所述倾斜相机的所述拍摄图像用于所述计测区域的三维形状的计测。5.根据权利要求4所述的外观检查装置，其中，所述控制部对所述焊料的表面设定所述计测区域，基于根据所述元件数据判断所述焊料与安装于所述基板的所述元件的位置关系所得的结果，设定所述拍摄条件。6.根据权利要求5所述的外观检查装置，其中，所述元件包含具有端子的芯片元件，所述控制部当根据所述元件数据判断为作为所述计测区域的设定对象的所述焊料所附着的所述端子位于与所述基板的表面平行的特定方向上的所述芯片元件的第一侧的端部时，设定从所述计测区域的第一侧拍摄所述计测区域这一所述拍摄条件。7.根据权利要求6所述的外观检查装置，其中，至少2台所述倾斜相机以在与所述基板的表面平行且与所述特定方向正交的方向上夹着所述计测区域的方式配置而拍摄所述计测区域，所述控制部将满足所述拍摄条件的所述拍摄图像用于所述计测区域的三维形状的计测。8.根据权利要求7所述的外观检查装置，其中，所述控制部使以在与所述基板的表面平行且与所述特定方向正交的方向上夹着所述计测区域的方式配置的至少2台所述倾斜相机各自的曝光时间相互重复而执行拍摄。9.根据权利要求3～8中任一项所述的外观检查装置，其中，所述控制部设定多个所述计测区域，使多个所述倾斜相机中的至少2台倾斜相机曝光时间相互重复而执行拍摄，对于多个所述计测区域的各计测区域，从使曝光时间相互重复的所述倾斜相机的所述拍摄图像中选择用于所述计测区域的三维形状的计测的所述拍摄图像。10.根据权利要求1～9中任一项所述的外观检查装置，其中，所述投影机相对于保持于所述基板保持部的所述基板的表面的法线方向倾斜地配置。11.根据权利要求10所述的外观检查装置，其中，具备多个所述投影机，多个所述投影机在从所述基板的表面的法线方向观察的俯视图中朝向互不相同的方向且各自的光的照射范围在所述基板的表...

【专利技术属性】
技术研发人员：田端伸章，
申请(专利权)人：雅马哈发动机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP