一种偶次阶Lamb波发生装置及温度检测系统制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种偶次阶Lamb波发生装置及温度检测系统，涉及Lamb波传感器技术领域，其中所述装置包括：至少一个第一换能器，具有多个平行的第一臂；至少一个第二换能器，具有多个平行的第二臂，所述第二臂与所述第一臂平行且交错排布；其中所述至少一个第一换能器作为所述偶次阶Lamb波发生装置的输入端，所述至少一个第二换能器作为所述偶次阶Lamb波发生装置的输出端，以输出偶次阶Lamb。所述系统包括：信号发生器、偶次阶Lamb波发生装置和处理器，偶次阶Lamb波发生装置用于与待检测物质接触，处理器用于根据所述偶次阶Lamb波发生装置的输出端输出的电信号，确定所述待检测物质的温度值。

An even order Lamb wave generator and temperature detection system

The invention discloses a second order Lamb wave generating device and temperature detection system, relates to Lamb wave sensor technical field, wherein the device comprises at least a first transducer having a plurality of parallel to the first arm; at least a second transducer having a plurality of second parallel arm, the arm and the second the first arm parallel arrangement; wherein the at least one first transducer as the second order input Lamb wave generating device, wherein at least one of the second transducers as the output of second order Lamb wave generator to output end, even order Lamb. The system comprises a signal generator, second order Lamb wave generating device and the processor, even order Lamb wave generating device for detecting material and contact, according to the signal processor for even order output Lamb wave generating device, to determine the detection of material temperature.

【技术实现步骤摘要】
一种偶次阶Lamb波发生装置及温度检测系统
本专利技术涉及Lamb波传感器
，具体涉及一种偶次阶Lamb波发生装置及温度检测系统。
技术介绍
Lamb波传感器作为一种薄膜压电声波传感器，测试灵敏度随着硅基衬底薄膜的厚度减小而提高，当薄膜厚度远低于器件叉指换能器的波长时，Lamb波传感器仅存在两种模式，分别为一阶反对称模式A0和一阶对称模式S0。单一Lamb器件采用上述两种模式时，所能够检测的介质参数有限，而单一Lamb器件能实现三种及三种以上的物理量等测试十分困难。A0模式在其波速小于周围测试介质流速时表现为消逝波，声波损耗能够得到有效控制，在生化类检测领域具有重要的应用价值。现有的文献中A0模式多是采用其一阶A01模式，开发新型的A0模式激励方法和装置对于气、液介质多参数测试均具有重要的意义。现有Lamb波传感器的连接方式如图1所示，Lamb传感器上设置了两对叉指换能器，两对叉指换能器之间留有间距，其中一对叉指换能器连接输入信号，另一对叉指换能器作为输出端。图2示出了图1所示Lamb传感器上左侧的叉指换能器A0和B0的电极状态与压电介质机械运动的对应关系示意图。为使该Lamb本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种偶次阶Lamb波发生装置，其特征在于，包括：至少一个第一换能器，具有多个平行的第一臂；至少一个第二换能器，具有多个平行的第二臂，所述第二臂与所述第一臂平行且交错排布；其中所述至少一个第一换能器作为所述偶次阶Lamb波发生装置的输入端，所述至少一个第二换能器作为所述偶次阶Lamb波发生装置的输出端。

【技术特征摘要】
1.一种偶次阶Lamb波发生装置，其特征在于，包括：至少一个第一换能器，具有多个平行的第一臂；至少一个第二换能器，具有多个平行的第二臂，所述第二臂与所述第一臂平行且交错排布；其中所述至少一个第一换能器作为所述偶次阶Lamb波发生装置的输入端，所述至少一个第二换能器作为所述偶次阶Lamb波发生装置的输出端。2.根据权利要求1所述的偶次阶Lamb波发生装置，其特征在于，所述至少一个第一换能器包括至少两个第一换能器，所述至少一个第二换能器包括至少两个第二换能器，所述至少两个第一换能器位于所述偶次阶Lamb波发生装置的一侧，所述至少两个第二换能器位于所述偶次阶Lamb波发生装置的与所述一侧相对的另一侧，相邻的所述第一换能器之间存在第一间隔，相邻的所述第二换能器之间存在第二间隔。3.根据权利要求1或2所述的偶次阶Lamb波发生装置，其特征在于，多个所述第一臂长度相同；和/或多个所述第二臂长度相同；和/或多个所述第一臂宽度相同；和/或多个所述第二臂宽度相同。4.根据权利要求3所述的偶次阶Lamb波发生装置，其特征在于，所述第一臂与所述第二臂长度相同；和/或所述第一臂与所述第二臂宽度相同。5.根据权利要求3所述的偶次阶Lamb波发生装置，其特征在于，所述第一臂与所述第二臂宽度相同，并且相邻所述第一臂和所述第二臂之间间距与所述第一臂和/或所述第二臂的宽度相等。6.根据权利要求1所述的偶次阶Lamb波发生装置，其特征在于，所述偶次阶Lamb波发生装置顺次包括换能器层、压电层、地电极层，其中所述第一换能器和所述第二换能器设置在所述换能器层上；所述地电极层连接地信号。7.根据权利要求6所述的偶次阶Lamb波发生装置，其特征在于，还包括：反射栅，设置在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：周连群，李传宇，孔慧，李敬，郭振，张威，姚佳，张芷齐，
申请(专利权)人：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所，苏州国科芯感医疗科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32