基于异质结薄膜的远程电气火灾监测系统及其制备方法技术方案
Remote electrical fire monitoring system based on heterojunction film and its preparation method
The invention relates to a remote electric fire monitoring system and its making method based on Heterojunction thin film, composed of europium oxide / gallium oxide heterojunction thin film chip, UV detection circuits, LED indicator and network communication module, wherein the europium oxide / gallium oxide heterojunction thin film chip including europium oxide film, and gallium oxide thin film Ti/Au thin film electrode and N type Si substrate, wherein the europium oxide film with a thickness of 100 150nm, gallium oxide thin film thickness of 200 250nm, europium oxide film and gallium oxide film formed of europium oxide / gallium oxide heterojunction, n substrate Si substrate as gallium oxide films. The invention of the remote monitoring system for electrical fire heterojunction films can be the fire alarm information is sent to a computer or mobile phone based terminals, remote monitoring and alarm, europium oxide / gallium oxide heterojunction thin film chip has stable performance, high sensitivity and high sensitivity, can be applied to remote electrical fire alarm and remote monitoring of high-voltage corona and has a wide application prospect.
【技术实现步骤摘要】
基于异质结薄膜的远程电气火灾监测系统及其制备方法
本专利技术涉及一种电气火灾监测系统，具体是指一种基于异质结薄膜的远程电气火灾监测系统及其制作方法。技术背景目前，由于电器设备老化放电而引起的电气火灾越来越多，给人们造成极大的财产损失。因此，研究开发一种能准确、有效地探测到电火花信号，在第一时间发现火灾源头，防范于未“燃”的远程火灾监测报警系统是当下安防领域所迫切需要的。为了避免太阳光的干扰，市场上的常用紫外探测器需要增加滤波器，排除太阳光的影响来降低误报率，这些附件一般体积大，易碎价格贵，增加了探测器的复杂程度和制造成本，也使得探测器的适用范围大为缩小。因此，低成本、高便捷和小型化的日盲型紫外探测器是未来电气火灾防御的重要研究方向。β-Ga2O3是一种新型的宽禁带半导体材料，带隙约为4.9eV(对应的波长为254nm)，具有极高的热稳定性和化学稳定性，可以工作在恶劣环境，是一种非常有前景的深紫外日盲探测材料。用这类器件制作的日盲紫外探测器可以检测电火花中存在，而太阳光中不存在的日盲波段紫外光，极大地降低误报率。因此，如何设计一种可有效的检测电火花信号的报警器，...
【技术保护点】
基于异质结薄膜的远程电气火灾监测系统，其特征在于，由氧化銪/氧化镓异质结薄膜芯片、紫外光电探测外围电路、LED指示灯以及网络通讯模块组成，所述氧化銪/氧化镓异质结薄膜芯片包括氧化銪薄膜、氧化镓薄膜、Ti/Au薄膜电极以及n型Si衬底；所述氧化銪薄膜的厚度为100‑150nm，氧化镓薄膜的厚度为200‑250nm，氧化銪薄膜和氧化镓薄膜形成氧化銪/氧化镓异质结，n型Si衬底作为氧化镓薄膜的衬底。
【技术特征摘要】
1.基于异质结薄膜的远程电气火灾监测系统，其特征在于，由氧化銪/氧化镓异质结薄膜芯片、紫外光电探测外围电路、LED指示灯以及网络通讯模块组成，所述氧化銪/氧化镓异质结薄膜芯片包括氧化銪薄膜、氧化镓薄膜、Ti/Au薄膜电极以及n型Si衬底；所述氧化銪薄膜的厚度为100-150nm，氧化镓薄膜的厚度为200-250nm，氧化銪薄膜和氧化镓薄膜形成氧化銪/氧化镓异质结，n型Si衬底作为氧化镓薄膜的衬底。2.根据权利要求1所述的基于异质结薄膜的远程电气火灾监测系统，其特征在于，所述氧化銪薄膜面积为氧化镓薄膜面积的一半。3.根据权利要求1或2所述的基于异质结薄膜的远程电气火灾监测系统，其特征在于，所述Ti/Au薄膜电极包括第一Ti/Au薄膜电极和第二Ti/Au薄膜电极，所述第一Ti/Au薄膜电极位于氧化銪薄膜表面，所述第二Ti/Au薄膜电极位于氧化镓薄膜表面。4.根据权利要求3所述的基于异质结薄膜的远程电气火灾监测系统，其特征在于，所述Ti/Au薄膜电极形状为边长2.5毫米的正方形，所述Ti/Au薄膜电极由Ti薄膜电极和位于Ti薄膜电极上方的Au薄膜电极构成，所述Ti薄膜电极厚度为25-30nm，所述Au薄膜电极的厚度为75-90nm。5.根据权利要求1或2或4所述的基于异质结薄膜的远程电气火灾监测系统，其特征在于，所述网络通讯模块可以将电气火灾报警信息发送到计算机或移动手机终端，实现远程监测和报警。6.基于异质结薄膜的远程电气火灾监测系统的制备方法，其特征在于，利用掩膜版并通过射频...
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