一种热界面材料及其制造方法技术

一种热界面材料，其包括一高分子材料以及分布在该高分子材料中的多个碳纳米管，该热界面材料形成有一第一表面及相对于第一表面的第二表面，该碳纳米管两端开口，在该高分子材料中均匀分布并且沿热界面材料的第一表面向第二表面延伸。本发明专利技术还提供此种热界面材料的制造方法，其包括以下步骤：提供一碳纳米管阵列；将碳纳米管阵列浸润于液相高分子体系；使液相高分子体系转化为固相，生成分布有碳纳米管的高分子复合材料；在碳纳米管阵列预定高度，并沿垂直碳纳米管阵列轴向的方向切割该高分子复合材料，去除碳纳米管阵列顶端的高分子材料并使得碳纳米管尖端开口；按照预定厚度切割上述高分子复合材料，形成热界面材料。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，尤其涉及一种利用碳纳米管导热的热界面材料及其制造方法。
技术介绍
近年来，随着半导体器件集成工艺的快速发展，半导体器件的集成化程度越来越高，而器件体积却变得越来越小，其散热成为一个越来越重要的问题，其对散热的要求也越来越高。为了满足这些需要，各种散热方式被大量的运用，如利用风扇散热、水冷辅助散热和热管散热等方式，并取得一定的散热效果，但由于散热器与半导体集成器件的接触界面并不平整，一般相互接触的只有不到2％面积，没有理想的接触界面，，从根本上极大地影响了半导体器件向散热器进行热传递的效果，因此在散热器与半导体器件的接触界面间增加一导热系数较高的热界面材料来增加界面的接触程度就显得十分必要。传统的热界面材料是将一些导热系数较高的颗粒分散到聚合物材料中形成复合材料，如石墨、氮化硼、氧化硅、氧化铝、银或其它金属等。此种材料的导热性能在很大程度上取决于聚合物载体的性质。其中以油脂、相变材料为载体的复合材料因其使用时为液态而能与热源表面浸润故接触热阻较小，而以硅胶和橡胶为载体的复合材料的接触热阻就比较大。这些材料的一个普遍缺陷是整个材料的导热系数比较小，典型值在1W/mK，这本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热界面材料，其包括一高分子材料以及分布于该高分子材料中的多个碳纳米管，该热界面材料形成有一第一表面及相对于第一表面的第二表面，其特征在于：该碳纳米管两端开口，在该高分子材料中均匀分布且沿热界面材料的第一表面向第二表面延伸。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄华，刘长洪，范守善，
申请(专利权)人：清华大学，鸿富锦精密工业深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]