一种用于涂布机的防干燥装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于涂布机的防干燥装置，涂布机包括有用于涂布的涂头，防干燥装置包括用于容纳稀释剂的防干燥容纳腔和防干燥盖板，防干燥容纳腔包括有开口、底壁和侧壁，底壁和侧壁连接，开口和底壁分别位于侧壁两端，开口用于放置于涂头位置；防干燥盖板可滑动的设置在侧壁上，用于盖开口，防干燥盖板的宽度大于开口的最大宽度，防干燥盖板和侧壁之间设置有导向结构，导向结构控制防干燥盖板在侧壁上、且在开口所形成的平面范围内滑动，以控制所述开口大小。本实用新型专利技术不仅防止涂头内光阻挥发稀释剂过多而干结，而且还防止防干燥容纳腔内的稀释剂挥发进入涂头光阻过多而使涂头内光阻流出，确保光阻能够正常涂布，改善产品良率。

An anti drying device for coating machine

The utility model provides a dry proof device for coating machine, coating machine comprises a coating head for coating, anti drying device comprises a drying chamber and the diluent of anti anti drying cover, anti drying chamber includes an opening, a bottom wall and a side wall, a bottom wall and connected with the side wall opening located in the bottom wall and side walls of both ends, placed in the openings for the coating head position; anti dry cover which can slide is arranged on the side wall, used to cover the opening, the maximum width of the dry cover is larger than the width of the opening, a guide structure is arranged between the cover plate and the side wall of the drying case, guide structure of control plane range anti drying the cover on the side wall, and in the opening formed by sliding, to control the size of the opening. The utility model not only prevent the coating head within the photoresist diluent rather than dry, but also prevent the drying chamber into the volatile diluent containing photoresist coating head too much of the coating head within the photoresist outflow, photoresist can ensure normal coating, improve product yield.

【技术实现步骤摘要】
一种用于涂布机的防干燥装置
本技术涉机械加工领域，特别涉及一种用于涂布机的防干燥装置。
技术介绍
液晶显示器具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶面板及背光模组(BacklightModule)。液晶面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子，并在两片玻璃基板上施加驱动电压来控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线折射出来产生画面。其中，薄膜晶体管液晶显示器(ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay，TFT-LCD)由于具有低的功耗、优异的画面品质以及较高的生产良率等性能，近年来得到了飞速的发展和广泛的应用。具体而言，TFT-LCD可视为两片玻璃基板中间夹着一层液晶，上层的玻璃基板是彩色滤光片、下层的玻璃基板上设置有薄膜晶体管。当电流通过薄膜晶体管时，产生电场变化，电场的变化引起液晶分子偏转，从而来改变光线的偏极性，而实现预期的显示画面。在现有的TFT-LCD制程工艺流程中，其中光阻涂布制程是其必要过程。具体的，通过涂布机在基板上涂布光阻。其中，涂布机在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于涂布机的防干燥装置，所述涂布机包括有用于涂布的涂头，其特征在于，所述防干燥装置包括：防干燥容纳腔，用于容纳稀释剂，所述防干燥容纳腔包括有开口、底壁和侧壁，所述底壁和侧壁连接，所述开口和底壁分别位于所述侧壁两端，所述开口用于放置于所述涂头位置；防干燥盖板，可滑动的设置在所述侧壁上，用于盖所述开口，所述防干燥盖板的宽度大于所述开口的最大宽度，所述防干燥盖板和侧壁之间设置有导向结构，所述导向结构控制所述防干燥盖板在所述侧壁上、且在所述开口所形成的平面范围内滑动，以控制所述开口大小。

【技术特征摘要】
1.一种用于涂布机的防干燥装置，所述涂布机包括有用于涂布的涂头，其特征在于，所述防干燥装置包括：防干燥容纳腔，用于容纳稀释剂，所述防干燥容纳腔包括有开口、底壁和侧壁，所述底壁和侧壁连接，所述开口和底壁分别位于所述侧壁两端，所述开口用于放置于所述涂头位置；防干燥盖板，可滑动的设置在所述侧壁上，用于盖所述开口，所述防干燥盖板的宽度大于所述开口的最大宽度，所述防干燥盖板和侧壁之间设置有导向结构，所述导向结构控制所述防干燥盖板在所述侧壁上、且在所述开口所形成的平面范围内滑动，以控制所述开口大小。2.根据权利要求1所述的一种用于涂布机的防干燥装置，其特征在于，所述防干燥盖板为两个，对称设置。3.根据权利要求2所述的一种用于涂布机的防干燥装置，其特征在于，所述防干燥盖板设置有凹口，当两个所述防干燥盖板对合时，所述凹口适合所述涂头大小。4.根据权利要求1所述的一种用于涂布机的防干燥装置，其特征在于，所述导向结构包括设置在所述防干燥盖板上的导向槽，和设置在所述侧壁上的导轨。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：李培宏，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42