传感器测试装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及测试技术领域，具体涉及一种传感器测试装置及方法，包括测试平台、光源、储气装置、配气装置、测试腔体、光学分析装置、光纤连接器以及终端设备，待检测气体传感器设置于所述测试腔体内。所述测试腔体设置于所述测试平台，所述储气装置与所述配气装置连通，所述配气装置与所述测试腔体连通，所述配气装置与所述测试腔体之间连接有气体流量控制装置，所述待检测气体传感器一端通过光纤连接器与所述光源连接、另一端通过所述光纤连接器与所述光学分析装置连接，所述光学分析装置与所述终端设备连接。实现了对所述待检测气体传感器的测试精度、响应速度和检测结果准确性的性能测试。

Sensor testing device and method

The invention relates to the technical field of testing, in particular relates to a sensor device and method for testing, including the testing platform, light source, storage device, gas distribution device, test chamber, optical analysis apparatus, optical fiber connector and terminal equipment, the detected gas sensor is arranged on the test chamber. The test chamber is arranged on the test platform, the storage device and the gas distribution device is communicated with the gas distribution device, and the test chamber communicated with the gas distribution device, and the test gas flow control device is connected with the cavity between the detection end of the optical fiber connector and gas sensor the light source and the other end is connected with the optical fiber connector and the optical analysis device is connected, the optical analysis device and the terminal equipment connected. The performance test of the detection gas sensor's test accuracy, response speed and accuracy of detection results is realized.

【技术实现步骤摘要】
传感器测试装置及方法
本专利技术涉及测试
，具体而言，涉及一种传感器测试装置及方法。
技术介绍
氢能源作为一种新型绿色能源，具有分布广泛(有水即可制氢)、可再生永不枯竭、无污染、能量密度大和应用面广等越来越受到人们的青睐，并在化工、航天、军工等行业得到广泛的开发应用。氢气是易燃易爆气体，与空气混合极易发生爆炸。为了保障存在氢气的工业生产过程和使用的安全性，需要氢气传感器来检测。氢检测技术作为氢能源开发利用的基础性关键技术之一，它的研究和开发变得越来越重要，国家921载人航天工程把连续显示0-2％氢气浓度列为研究课题。因此，研究高性能的氢气传感器已经成为国民经济领域及国防的重要需求，在实际应用中氢气传感器的性能是影响检测结果准确性的重要因素，实现氢气传感器的性能检测准确性是目前亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种传感器测试装置，通过设置测试平台、光源、储气装置、配气装置、测试腔体、光学分析装置、光纤连接器以及终端设备，并在配气装置与测试腔体之间设置气体流量控制装置，实现了对所述待检测气体传感器的测试精度、响应速度和检测结果准确性的性能测试。本专利技术的目的在于提供一种传感器测试方法，方法基于通过设置有测试平台、光源、储气装置、配气装置、测试腔体、光学分析装置、光纤连接器以及终端设备的传感器测试装置实现，并在配气装置与测试腔体之间设置气体流量控制装置，实现了对所述待检测气体传感器的测试精度、响应速度和检测结果准确性的性能测试。为实现上述目的，本专利技术实施例采用如下技术方案：一种传感器测试装置，包括测试平台、光源、储气装置、配气装置、测试腔体、光学分析装置、光纤连接器以及终端设备，待检测气体传感器设置于所述测试腔体内；所述测试腔体设置于所述测试平台，所述储气装置与所述配气装置连通，所述配气装置与所述测试腔体连通，所述配气装置与所述测试腔体之间连接有气体流量控制装置，所述待检测气体传感器一端通过光纤连接器与所述光源连接、另一端通过所述光纤连接器与所述光学分析装置连接，所述光学分析装置与所述终端设备连接；所述储气装置为多个，各所述储气装置分别与所述配气装置连通，所述配气装置根据预设配气标准获取不同储气装置中的气体并混合均匀，之后在所述气体流量控制装置的控制下，所述配气装置按照预设速率向所述测试腔体中加入混合均匀后的气体，所述光学分析装置每间隔预设时长获取所述光源发出的光通过所述待检测气体传感器前后的数据进而获得所述待检测气体传感器不同时刻的检测结果，所述终端设备获取不同时刻的检测结果并与预存性能指标进行对比，分析得到所述待检测气体传感器的测试精度、响应速度和检测结果准确性的性能。可选的，在上述传感器测试装置中，所述光源为激光光源，所述待检测气体传感器为氢传感器，多个储气装置中包括存储有氮气的储气装置，所述测试腔体与存储有氮气的储气装置连通。可选的，在上述传感器测试装置中，所述传感器测试装置还包括温度控制装置和湿度控制装置，所述温度控制装置设置于所述测试腔体内并检测和/或调整所述测试腔体内的温度，所述湿度控制装置设置于所述测试腔体内并检测和/或调整所述测试腔体内的湿度。可选的，在上述传感器测试装置中，所述待检测气体传感器包括感应部，所述传感器测试装置还包括电信号检测装置和两个探针位移调节装置，所述电信号检测装置用于检测所述感应部两端的电信号，分析得到所述待检测气体传感器的电性能；其中一个所述探针位移调节装置设置于所述感应部的一端与所述电信号检测装置之间，另一个所述探针设置于所述感应部的另一端与所述信号检测装置之间。可选的，在上述传感器测试装置中，所述光纤连接器包括单模通信光纤、多模通信光纤和/或裸露光纤。可选的，在上述传感器测试装置中，所述配气装置为动态配气系统，所述配气装置的配气精度为10ppb级的浓度。本专利技术还提供一种传感器测试方法，应用于上述的传感器测试装置，所述方法包括：开启光源、光学分析装置；配气装置根据预设配气标准获取各储气装置中的气体并混合均匀；气体流量控制装置根据预存传输速率将混合后的气体输送至测试腔体中；光学分析装置每间隔预设时长获取光源通过待检测气体传感器前后的数据，并获得所述待检测气体传感器不同时刻的检测结果；终端设备获取不同时刻的检测结果并与预存性能指标进行对比，分析得到所述待检测气体传感器的测试精度、响应速度和检测结果的性能。可选的，在上述传感器测试方法中，在开启光源、光学分析装置之前所述方法还包括：通过与所述测试腔体连通的储气装置向所述测试腔体中通入氮气清洗所述测试腔体。可选的，在上述传感器测试方法中，所述方法还包括：温度控制装置控制所述测试腔体内的温度达到预设温度值，湿度控制装置控制所述测试腔体内的湿度达到预设湿度值。可选的，在上述传感器测试方法中，所述方法还包括：分别通过两个探针位移调节装置调节两个探针到所述待检测气体传感器的感应部两端之间的距离后，电信号传感器测试装置检测所述待检测气体传感器的电信号。本专利技术提供的一种传感器测试装置及方法，通过设置测试平台、光源、储气装置、配气装置、测试腔体、光学分析装置、光纤连接器以及终端设备，并在配气装置与测试腔体之间设置气体流量控制装置，实现了对所述待检测气体传感器的测试精度、响应速度和检测结果准确性的性能测试。为使本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的部分实施例，因此不应被看作是对本专利技术保护范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本专利技术实施例提供的一种传感器测试装置的结构示意图。图2为本专利技术实施例提供的一种传感器测试装置的另一结构示意图。图3为本专利技术实施例提供的一种传感器测试装置的又一结构示意图。图4为本专利技术实施例提供的一种传感器测试方法的流程示意图。图5为本专利技术实施例提供的一种传感器测试方法的另一流程示意图。图标：10-传感器测试装置；20-待检测气体传感器；110-测试平台；130-光源；150-储气装置；170-配气装置；180-气体流量控制装置；190-测试腔体；210-光学分析装置；230-温度控制装置；250-湿度控制装置；270-光纤连接器；290-终端设备；310-电信号检测装置；330-探针位移调节装置；350-抽真空装置。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传感器测试装置，其特征在于，包括测试平台、光源、储气装置、配气装置、测试腔体、光学分析装置、光纤连接器以及终端设备，待检测气体传感器设置于所述测试腔体内；所述测试腔体设置于所述测试平台，所述储气装置与所述配气装置连通，所述配气装置与所述测试腔体连通，所述配气装置与所述测试腔体之间连接有气体流量控制装置，所述待检测气体传感器一端通过光纤连接器与所述光源连接、另一端通过所述光纤连接器与所述光学分析装置连接，所述光学分析装置与所述终端设备连接；所述储气装置为多个，各所述储气装置分别与所述配气装置连通，所述配气装置根据预设配气标准获取不同储气装置中的气体并混合均匀，之后在所述气体流量控制装置的控制下，所述配气装置按照预设速率向所述测试腔体中加入混合均匀后的气体，所述光学分析装置每间隔预设时长获取所述光源发出的光通过所述待检测气体传感器前后的数据进而获得所述待检测气体传感器不同时刻的检测结果，所述终端设备获取不同时刻的检测结果并与预存性能指标进行对比，分析得到所述待检测气体传感器的测试精度、响应速度和检测结果准确性的性能。

【技术特征摘要】
1.一种传感器测试装置，其特征在于，包括测试平台、光源、储气装置、配气装置、测试腔体、光学分析装置、光纤连接器以及终端设备，待检测气体传感器设置于所述测试腔体内；所述测试腔体设置于所述测试平台，所述储气装置与所述配气装置连通，所述配气装置与所述测试腔体连通，所述配气装置与所述测试腔体之间连接有气体流量控制装置，所述待检测气体传感器一端通过光纤连接器与所述光源连接、另一端通过所述光纤连接器与所述光学分析装置连接，所述光学分析装置与所述终端设备连接；所述储气装置为多个，各所述储气装置分别与所述配气装置连通，所述配气装置根据预设配气标准获取不同储气装置中的气体并混合均匀，之后在所述气体流量控制装置的控制下，所述配气装置按照预设速率向所述测试腔体中加入混合均匀后的气体，所述光学分析装置每间隔预设时长获取所述光源发出的光通过所述待检测气体传感器前后的数据进而获得所述待检测气体传感器不同时刻的检测结果，所述终端设备获取不同时刻的检测结果并与预存性能指标进行对比，分析得到所述待检测气体传感器的测试精度、响应速度和检测结果准确性的性能。2.根据权利要求1所述的传感器测试装置，其特征在于，所述光源为激光光源，所述待检测气体传感器为氢传感器，多个储气装置中包括存储有氮气的储气装置，所述测试腔体与存储有氮气的储气装置连通。3.根据权利要求1所述的传感器测试装置，其特征在于，所述传感器测试装置还包括温度控制装置和湿度控制装置，所述温度控制装置设置于所述测试腔体内并检测和/或调整所述测试腔体内的温度，所述湿度控制装置设置于所述测试腔体内并检测和/或调整所述测试腔体内的湿度。4.根据权利要求1所述的传感器测试装置，其特征在于，所述待检测气体传感器包括感应部，所述传感器测试装置还包括电信号检测装置和两个探针...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵一英，杨青，曹伟，袁登鹏，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院材料研究所，
类型：发明
国别省市：四川,51