薄膜剥离装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种薄膜剥离装置，该薄膜剥离装置防止在一边从基板剥离贴附至基板的顶端的薄膜一边进行输送的阶段之前所产生的基板的变形等，不会对基板造成损伤且不会损害基板的质量。所述薄膜剥离装置具有：基板保持机构(40)，其利用线接触对基板(2)的顶端进行保持；粘接剥离机构(30)，其利用粘接力从由基板保持机构(40)保持的基板(2)剥离薄膜(2b)；薄膜保持件(52)，其分别对由粘接剥离机构(30)卷起的粘附在基板(2)的两面上的薄膜(2b)的顶端部进行把持；薄膜输送部驱动机构(55)，其沿与基板输送方向相反的方向输送把持了薄膜(2b)的薄膜保持件(52)；以及回收容器(3)，其收纳利用薄膜保持件(52)把持而被输送来的薄膜(2b)。

Film stripping device

The present invention provides a film peeling device, to prevent the top substrate film attached to the substrate from the substrate on the side of the side of the strip conveying stage before the deformation of the film peeling device will not cause damage and will not damage the quality of substrate on the substrate. The film peeling device includes: a substrate holding mechanism (40), the use of line contact on the substrate (2) at the top of the keep; bonding stripping mechanism (30), the use of adhesive from the substrate holding mechanism (40) to maintain the substrate (2) peeling film (2b) films (the holding part; 52), respectively by bonding stripping mechanism (30) rolled up adhesion in the substrate (2) thin films on both sides (2b) of the top of control; thin film conveying part driving mechanism (55), the conveying direction along the opposite direction of the substrate conveying control film (2B) film holder (52); and (3), the recycling container storage using a film holder (52) and the control film is sent (2b).

【技术实现步骤摘要】
薄膜剥离装置
本专利技术涉及对贴附于基板的薄膜进行剥离的薄膜装置。
技术介绍
以往，作为用于对贴附于基板的薄膜进行剥离的手段，如专利文献1所记载的那样，有如下方法：在将剥离用粘接带按压于贴附有薄膜的基板的表面的状态下，在用压接辊夹住基板的状态下，使基板在输送路径上向下游侧移动，由此将薄膜卷起，并使利用夹紧部对该部分进行把持的薄膜把持输送机构一边向输送方向移动一边进行剥离。另外，如专利文献2所记载的那样，有如下方法：利用夹紧部把持基板的顶端部，在按压剥离用粘接带的状态下使其在输送路径上向下游侧移动而将薄膜卷起，并使用利用夹紧部对该抬起的薄膜进行把持的薄膜把持输送机构，使其一边向输送方向移动一边进行剥离。在先技术文献专利文献专利文献1：日本专利第4779132号公报专利文献2：日本专利第4231018号公报不过，在专利文献1及2所记载的方法中，在将贴附于基板的两面的薄膜从基板分离时，需要夹紧基板的顶端部。因此，要剥离贴附于基板的薄膜，需要将薄膜的贴附位置与基板顶端空出间隔地贴附薄膜而设置基板夹紧余量，贴附至基板的顶端的薄膜无法进行剥离。另外，若不夹紧基板的顶端部而进行剥离动作，则基板有时会上下弯折而破损。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述以往的薄膜剥离装置所具有的问题而作出的，其目的在于提供一种薄膜剥离装置，该薄膜剥离装置防止在一边从基板剥离贴附至基板的顶端的薄膜一边进行输送的阶段之前所产生的基板的变形等，并且不会对基板造成损伤，不会损害基板的质量。为了达成上述目的，本专利技术的薄膜剥离装置具有对基板进行输送的基板输送构件，所述薄膜剥离装置对粘附在由该基板输送构件输送的基板的两面上的薄膜进行剥离，其特征在于，具有：基板保持机构，所述基板保持机构利用线接触对基板的顶端进行保持；粘接剥离机构，所述粘接剥离机构利用粘接力从由基板保持机构保持的基板剥离薄膜；薄膜保持件，所述薄膜保持件分别对由粘接剥离机构卷起的粘附在基板的两面上的薄膜的顶端部进行把持；薄膜输送部驱动机构，所述薄膜输送部驱动机构沿与基板输送方向相反的方向输送把持了薄膜的薄膜保持件；以及回收容器，所述回收容器收纳利用薄膜保持件把持而被输送来的薄膜。在该情况下，能够使所述基板保持机构在其与基板的顶端接触的部分设置倾斜角度。根据本专利技术的薄膜剥离装置，具有：基板保持机构，所述基板保持机构利用线接触对基板的顶端进行保持；粘接剥离机构，所述粘接剥离机构利用粘接力从由基板保持机构保持的基板剥离薄膜；薄膜保持件，所述薄膜保持件分别对由粘接剥离机构卷起的粘附在基板的两面上的薄膜的顶端部进行把持；薄膜输送部驱动机构，所述薄膜输送部驱动机构沿与基板输送方向相反的方向输送把持了薄膜的薄膜保持件；以及回收容器，所述回收容器收纳利用薄膜保持件把持而被输送来的薄膜，由此能够防止在剥离薄膜时、在夹紧基板时所产生的基板的振动、变形，并且能够不在薄膜的贴附位置设限制地进行剥离，防止在一边从基板剥离贴附至基板的顶端的薄膜一边进行输送的阶段之前所产生的基板的变形等，不会对基板造成损伤，并能够防止损害基板的质量。另外，通过使所述基板保持机构在其与基板的顶端接触的部分设置倾斜角度，能够利用线接触可靠地保持基板的顶端。附图说明图1是表示本专利技术的薄膜剥离装置的概略构造的俯视图。图2是表示本专利技术的薄膜剥离装置的一实施方式的概略构造的主视图。图3是表示图2的实施方式中的基板保持机构以及剥离部的构造的放大主视图。图4是表示图2的实施方式中的基板保持机构以及剥离部的构造的局部立体图。图5是表示图2的实施方式中的基板保持机构的一实施方式的局部立体图。附图标记说明1基板输送辊2基板2a抗蚀膜2b薄膜3回收容器4压接辊11气缸30粘接剥离机构31气缸32板状按压件40基板保持机构41夹紧件42气缸43块50薄膜剥离输送机构52薄膜保持件53气缸54气缸55薄膜输送部驱动机构100薄膜剥离装置具体实施方式以下，利用图1～图4来说明本专利技术的薄膜剥离装置的一实施方式。这里，图1是表示薄膜剥离装置的概略构造的俯视图，图2是表示薄膜剥离装置的概略构造的主视图，图3是表示图2的实施方式中的基板保持机构以及薄膜保持机构的概略构造的放大主视图，图4是表示图2的实施方式中的基板保持机构以及薄膜保持机构的构造的局部立体图。在以下的实施方式的说明中，对于相比后述的基板2位于上侧的部件，在附图标记末尾添加尾标A，另外，对相比基板2位于下侧的部件添加尾标B，在总称的情况下除去尾标。例如，将相比基板2位于上侧的夹紧件记为41A，将位于下侧的夹紧件记为41B，在对夹紧件进行总称的情况下记为41。如图1所示，薄膜剥离装置100由基板输送辊1、利用粘接力对薄膜端部进行剥离的粘接剥离机构30、对基板前端部进行保持的基板保持机构40、对由粘接剥离机构30从基板2剥离的薄膜的顶端部进行把持并输送的薄膜剥离输送机构50、以及薄膜2b的回收容器3等构成。为了输送基板2，基板输送辊1水平地排列多个，从而形成基板2的输送路径。如在图2中用箭头A所示的那样，基板2从薄膜剥离装置100的左侧(搬入口)朝向右侧(搬出口)被输送。如图3所示，在基板2的上表面以及下表面粘接有抗蚀膜2a，而且，在抗蚀膜2a上层叠地粘附有薄膜2b。抗蚀膜2a通过热处理而粘接于基板2的表面，薄膜2b利用抗蚀膜2a自身所具有的粘接性而粘附于抗蚀膜2a。薄膜2b用于当基板2在基板制造工序中被处理时对粘接于其表面的抗蚀膜2a进行保护。如先前说明的那样，在由多个基板输送辊1构成的基板2的输送路径的中途设置有粘接剥离机构30、基板保持机构40以及薄膜剥离输送机构50，基板保持机构40隔着被输送的基板2的输送侧端面而设置在基板2的薄膜前端部的基板端部附近。如图1以及图2所示，基板的薄膜的粘接剥离机构30配置于薄膜2b的宽度方向的顶端附近的中央部，并且包括上下的部分在内共计设置有两处。基板保持机构40为了对基板2的顶端(薄膜2b的顶端)附近进行保持，使基板上表面的L型的夹紧件41A以及基板下表面的L型的夹紧件41B相对于基板2在上下方向上移动，所以分别与气缸42A、42B连结地设置。在夹紧件41A以及夹紧件41B上设置有用于对基板2进行保持的块43A以及43B。该块43A、43B设置有倾斜面，所述倾斜面在基板端面接触部设有倾斜角度，具体而言，块43A设置有朝下的倾斜面，块43B设置有朝上的倾斜面，能够不夹紧基板2而通过与基板2的端面的上下的端缘线接触来进行保持，以便初期剥离时的基板2不会上下振动。如图1以及图2所示，薄膜剥离输送机构50在粘接剥离机构30的附近包括上下的部分在内共计设置有两处。该薄膜剥离输送机构50由对薄膜2b的端部进行保持的薄膜保持件52、用于使该薄膜保持件52伸长的气缸54、将该气缸54安装在左右的支承部件56、使支承部件56伸长的气缸53、以及用于使气缸53移动的薄膜输送部驱动机构55构成。从该薄膜剥离输送机构50输送来的薄膜2b被送到设置于薄膜剥离装置100的入口侧的薄膜2b的回收容器3中。接着，对如上述那样构成的薄膜剥离装置100的动作进行说明。基板2利用基板输送辊1沿图2的箭头A方向从薄膜剥离装置100的投入口朝向薄膜剥离装置100的出口输送。当基板2利用基板输送辊1在输送路本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜剥离装置，具有对基板进行输送的基板输送构件，所述薄膜剥离装置对粘附在由该基板输送构件输送的基板的两面上的薄膜进行剥离，其特征在于，具有：基板保持机构，所述基板保持机构利用线接触对基板的顶端进行保持；粘接剥离机构，所述粘接剥离机构利用粘接力从由基板保持机构保持的基板剥离薄膜；薄膜保持件，所述薄膜保持件分别对由粘接剥离机构卷起的粘附在基板的两面上的薄膜的顶端部进行把持；薄膜输送部驱动机构，所述薄膜输送部驱动机构沿与基板输送方向相反的方向输送把持了薄膜的薄膜保持件；以及回收容器，所述回收容器收纳利用薄膜保持件把持而被输送来的薄膜。

【技术特征摘要】
2016.05.10 JP 2016-0944161.一种薄膜剥离装置，具有对基板进行输送的基板输送构件，所述薄膜剥离装置对粘附在由该基板输送构件输送的基板的两面上的薄膜进行剥离，其特征在于，具有：基板保持机构，所述基板保持机构利用线接触对基板的顶端进行保持；粘接剥离机构，所述粘接剥离机构利用粘接力从由基板保持机构保持的基...

【专利技术属性】
技术研发人员：绫部利明，高桥一雄，武居成纪，
申请(专利权)人：日立成套设备机械股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP