使用极性反转的显示元件重设制造技术

本发明专利技术提供用于将可移动元件(例如，干涉调制器IMOD的镜)重设到一致的开始点或重设位置的电路及方法。在一个实例中，电路可包含三个电极，其中电容器耦接于所述电极中的两者之间。另外，所述电极中的一者的极性可经配置以相对于另一电极来切换及反转极性。因此，可将所述可移动元件移到重设位置。

Resetting of display elements using polarity reversal

The present invention provides circuits and methods for resetting a movable element (e.g., a mirror of an interference modulator IMOD) to a uniform starting point or resetting position. In an example, the circuit can contain three electrodes in which the capacitor is coupled between the electrodes. In addition, the polarity of one of the electrodes can be configured to switch and reverse polarity with respect to the other electrode. Therefore, the movable element can be moved to the reset position.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】使用极性反转的显示元件重设优先权数据本专利文献主张2013年9月9日申请且题目为“使用极性反转的显示元件重设(DISPLAYELEMENTRESETUSINGPOLARITYREVERSAL)”的第14/021,866号美国专利申请案(代理人案号QUALP193/132022)的优先权，所述案以引用的方式并入本文中。
本专利技术涉及机电系统及装置。更具体言之，本专利技术涉及将机电系统装置中的可移动元件(例如，干涉调制器(IMOD)中的镜)重设到一致的开始点或重设位置。
技术介绍
机电系统(EMS)包含具有电及机械元件、致动器、换能器、感测器、光学组件(例如，镜及光学膜)及电子仪器的装置。可按包含(但不限于)微尺度及纳米尺度的多种尺度来制造EMS装置或元件。举例来说，微机电系统(MEMS)装置可包含具有范围为约一微米至数百微米或更大的大小的结构。纳米机电系统(NEMS)装置可包含具有小于一微米的大小(包含(例如)小于数百纳米的大小)的结构。可使用沉积、蚀刻、光刻及/或蚀刻掉衬底及/或所沉积材料层的部分或添加层以形成电及机电装置的其它微机械加工过程来产生机电元件。一个类型的EMS装置被称本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于机电系统装置中的电路，所述电路包括：第一电极(555)，其与第一电压源(710)相关联；第二电极(565)，其与第二电压源(705)相关联；可移动元件(14、570、630、730)；第三电极(560)，其与所述可移动元件耦接，其中第一电容(610、620、650)界定于所述第一电极与所述第三电极之间，且其中第二电容(630、640、660)界定于所述第二电极与所述第三电极之间；以及电容器(580)，其耦接于所述第二电极与所述第三电极之间，使得所述电容器的电容(650)与所述第二电容并联以界定大于所述第一电容的并联电容。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.09.09 US 14/021,8661.一种用于机电系统装置中的电路，所述电路包括：第一电极(555)，其与第一电压源(710)相关联；第二电极(565)，其与第二电压源(705)相关联；可移动元件(14、570、630、730)；第三电极(560)，其与所述可移动元件耦接，其中第一电容(610、620、650)界定于所述第一电极与所述第三电极之间，且其中第二电容(630、640、660)界定于所述第二电极与所述第三电极之间；以及电容器(580)，其耦接于所述第二电极与所述第三电极之间，使得所述电容器的电容(650)与所述第二电容并联以界定大于所述第一电容的并联电容。2.根据权利要求1所述的电路，其进一步包括：电介质(575)，其定位于所述第一电极与所述第三电极之间。3.根据权利要求1或权利要求2所述的电路，其中所述第一电压源及所述第二电压源经配置以参考彼此切换极性。4.根据权利要求3所述的电路，其中与所述第一电极及所述第三电极相关联的电场(905)响应于所述第一电压源与所述第二电压源之间的所述极性切换而改变方向。5.根据权利要求3所述的电路，其中所述可移动元件经配置以响应于所述第一电压源的所述极性切换而朝向所述第一电极移动。6.根据权利要求1或权利要求2所述的电路，其中所述第二电容大于所述第一电容。7.根据权利要求1或权利要求2所述的电路，其中所述第二电容是由所述电容器(580、650)的所述电容界定，所述电容与第一气隙(585、620)及电介质(575、610)中的一者或两者的等效串联电容并联。8.根据权利要求1或权利要求2所述的电路，其中所述第一电容是由第二气隙(590、640)及所述可移动元件中的一者或两者的等效串联电容界定。9.根据权利要求1或权利要求2所述的电路，其中所述第二电容是由所述电容器的所述电容界定，所述电容与第一气隙(590、640)及所述可移动元件中的一者或两者的等效串联电容并联。10.根据权利要求1或权利要求2所述的电路，其中所述第一电容是由第二气隙(585、620)及电介质(575、610)中的一者或两者的等效串联电容界定。11.根据权利要求1或权利要求2所述的电路，其中所述可移动元件包含所述第三电极及镜(14)。12.根据权利要求11所述的电路，其中所述第三电极与所述第一电极之间的第一距离小于所述镜与所述第一电极之间的第二距离。13.根据权利要求1或权利要求2所述的电路，其中所述第二电容大于所述第一电容。14.根据权利要求1或权利要求2所述的电路，其中所述第二电容是由所述电容器的所述电容(650)界定，所述电容与第一气隙(585)、所述可移动元件及电介质(575)的等效串联电容并联。15.根据权利要求1或权利要求2所述的电路，其中所述第一电容是由第二气隙(590)的电容界定。16.根据权利要求1或权利要求2所述的电路，其进一步...

【专利技术属性】
技术研发人员：爱德华·杰·廉·陈，金天弘，威廉莫斯·约翰尼斯·罗伯托斯·范利尔，文兵，钱德拉·舍卡尔·雷迪·图佩里，周宁宁，理查德·叶，
申请(专利权)人：追踪有限公司，
类型：发明
国别省市：美国,US