干涉仪测量系统定位测头技术方案
Positioning probe of interferometer measuring system
The measuring head positioning interference measurement system, which belongs to the field of optical processing technology, in order to solve the problem of measuring the complex and high cost of the existing measurement system of interferometer, which comprises double contact measuring table, table frame and six dimension adjusting frame, table rack is arranged on the surface of groove, double contact measuring meter is arranged on the table frame groove in the table the lower end of the frame and six dimension adjusting frame screw connection, six dimensional adjustment bracket can adjust the precise position of the table frame; six dimensional adjusting frame is connected with the interference grating instrument on the rail carrier threads; positioning interferometer measurement system of the utility model in measuring head, simple structure, low manufacture cost, and to ensure that the positioning accuracy measurement system; has wide adaptability in interferometer measurement positioning.
【技术实现步骤摘要】
干涉仪测量系统定位测头
本技术涉及一种干涉仪测量系统定位测头，属于光学加工
技术介绍
现有的干涉仪测量系统间距无法达到预期测量效果和精度，达到测量精度的测量系统成本过高。以带有补偿器的非球面检测为例，搭建光路时需要确定补偿器镜面和非球面的顶点的准确距离，目前现有的技术是通过激光跟踪仪来搭建三维虚拟模型，使用跟踪球头来定位补偿器镜面和非球面顶点的空间坐标，来计算两点之间的距离，这种方法不仅成本高昂，而且使用方法复杂，测量过程繁复。
技术实现思路
本技术为了解决现有干涉仪测量系统测量复杂且成本高的问题，提供一种干涉仪测量系统定位测头。本技术的技术方案是：干涉仪测量系统定位测头，其特征是，其包括双触头测量表、表架和六维调整架，表架上表面设置凹槽，双触头测量表设置在表架的凹槽内，表架的下端与六维调整架螺纹连接，六维调整架可调整表架的精确位置。六维调整架与干涉仪导轨上的光栅尺载物台螺纹连接。本技术中的干涉仪测量系统定位测头，结构简单，制作成本低廉，并且能够保证干涉仪测量定位系统的精度需求，最主要的是可以保证在干涉仪测量定位中的广泛适应性。附图说明图1是本技术干涉仪测量系统...
【技术保护点】
干涉仪测量系统定位测头，其特征是，其包括双触头测量表(1)、表架(2)和六维调整架(3)，表架(2)上表面设置凹槽，双触头测量表(1)设置在表架(2)的凹槽内，表架(2)的下端与六维调整架(3)螺纹连接，六维调整架(3)可调整表架(2)的精确位置。
【技术特征摘要】
1.干涉仪测量系统定位测头，其特征是，其包括双触头测量表(1)、表架(2)和六维调整架(3)，表架(2)上表面设置凹槽，双触头测量表(1)设置在表架(2)的凹槽内，表架(2)的下端与六维...
【专利技术属性】
技术研发人员：王文革，邹惠莹，王杰，李超，陆巍群，魏佳勇，
申请(专利权)人：长春继珩精密光学技术有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林,22
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