一种短波长深紫外激光输出装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种短波长深紫外激光输出装置，包括依次设置的第一基频源、倍频晶体、KBBF‑PCD器件、旋光器、高反镜和第二基频源；所述第一基频源，用于产生第一基频光；所述倍频晶体，通过非线性过程产生倍频光输出；所述KBBF‑PCD器件，用于输出4倍频光；所述旋光器，用于使所述4倍频光的偏振方向旋转45度后输出；所述高反镜，用于将旋转45度的所述4倍频光按照原光路返回至旋光器，偏振方向再旋转45度后，返回所述KBBF‑PCD器件中；所述第二基频源，用于产生第二基频光并与再次进入KBBF‑PCD器件的4倍频光进行和频，产生短波长深紫外激光输出。本发明专利技术利用单块KBBF‑PCD器件实现短波长深紫外激光输出；所需基频源要求低，体积小，造价低，稳定性高。

【技术实现步骤摘要】
一种短波长深紫外激光输出装置
本专利技术涉及激光输出
，更具体地，涉及一种短波长深紫外激光输出的装置。
技术介绍
激光作为二十世纪最伟大的专利技术之一，已普遍应用于科学研究、工业、国防、医疗等领域，并带动了非线性光学、激光光谱学、量子光学、光通信、激光显示等诸多学科的兴起和发展。在特殊波长方面，短波长深紫外(DUV)波段一般介于40nm到200nm之间，由于其波长短、光子能量大，其在物理、化学、材料、生物、信息、资环等领域均有重要应用价值。短波长深紫外激光产生方法主要包括同步辐射，气体放电，准分子激光器，自由电子激光器和全固态激光器。同步辐射和气体放电均属于非相干光源。同步辐射在1～200nm宽波段的应用中扮演了主要角色，但是缺点在于能量分辨率低(1～5meV)，光子流通量较小(1010～1012photon/s)，体积庞大，需巨额成本，由于是非相干光源，同步辐射光束聚焦性能不佳，导致光子流密度不高，约1012～1014photon/(s·cm2)。气体放电光源优点是连续运转，简单而体积小，但通常仅能利用几种气体产生特定波长的DUV光源，例如He产生58.5nmDUV光，波长单本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种短波长深紫外激光输出装置，其特征在于，包括依次设置的第一基频源、倍频晶体、KBBF‑PCD器件、旋光器、高反镜和第二基频源；所述第一基频源，用于产生第一基频光；所述倍频晶体，用于通过非线性过程产生倍频光输出；所述KBBF‑PCD器件，用于输出4倍频光；所述旋光器，用于接收所述4倍频激光，并使所述4倍频光的偏振方向旋转45度后输出；所述高反镜，用于将旋转45度的所述4倍频光按照原光路返回至旋光器，偏振方向再旋转45度后返回至所述KBBF‑PCD器件中，以实现与所述第二基频源产生的第二基频光和频；所述第二基频源，用于产生第二基频光并与再次进入KBBF‑PCD器件的4倍频光进行和频，产生短波长深...

【技术特征摘要】
1.一种短波长深紫外激光输出装置，其特征在于，包括依次设置的第一基频源、倍频晶体、KBBF-PCD器件、旋光器、高反镜和第二基频源；所述第一基频源，用于产生第一基频光；所述倍频晶体，用于通过非线性过程产生倍频光输出；所述KBBF-PCD器件，用于输出4倍频光；所述旋光器，用于接收所述4倍频激光，并使所述4倍频光的偏振方向旋转45度后输出；所述高反镜，用于将旋转45度的所述4倍频光按照原光路返回至旋光器，偏振方向再旋转45度后返回至所述KBBF-PCD器件中，以实现与所述第二基频源产生的第二基频光和频；所述第二基频源，用于产生第二基频光并与再次进入KBBF-PCD器件的4倍频光进行和频，产生短波长深紫外激光输出。2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：宗楠，王志敏，张申金，杨峰，张丰丰，彭钦军，许祖彦，薄勇，杨宇頔，李玉娇，
申请(专利权)人：中国科学院理化技术研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11