一种氮气柜制造技术

本发明专利技术提供了一种氮气柜，其可以实现对多种样品的独立储藏，满足同时存储不同样品的需求，避免取样导致环境变化对样品产生不良影响，包括柜体，柜体上排布有氮气舱，氮气舱为抽屉式氮气舱，氮气舱与柜体通过导轨连接，柜体内部设有进气管道和出气管道，进气管道和出气管道分别连接每个氮气舱，氮气舱上设有进气阀和出气阀，进气管道的出口分别与氮气舱的进气阀相连，进气管道的进口与氮气泵相连，柜体上开设有进气口，氮气泵与进气口相连，用于导入氮气；出气管道的进口分别与氮气舱的出气阀相连，出气管道的出口与真空泵相连，柜体上开设有出气口，真空泵与出气口相连，用于排出气体。

A nitrogen tank

The invention provides a nitrogen gas, which can achieve a variety of independent sample storage, and meet the demand of storage of different samples, to avoid sampling environmental changes cause adverse effects, the sample cabinet comprises a cabinet body, provided with nitrogen gas tank, nitrogen gas tank drawer nitrogen gas tank, nitrogen gas tank and the cabinet by rail connection, the cabinet is provided with an air inlet pipe and air pipe are respectively connected with each nitrogen chamber inlet pipe and an air outlet pipeline, nitrogen gas tank is provided with an air inlet valve and outlet valve, inlet valve inlet pipe outlet are respectively connected with the nitrogen gas tank, inlet pipe connected with the nitrogen pump cabinet is arranged on the air inlet and the air inlet is connected, nitrogen pump and for introducing nitrogen; connected outlet valve outlet pipeline imports respectively with nitrogen gas tank, outlet air outlet pipeline is connected with the vacuum pump, open the cabinet Is provided with an air outlet, a vacuum pump and the air outlet is used for discharging gas.

【技术实现步骤摘要】
一种氮气柜
本专利技术属于氮气柜
，具体涉及一种氮气柜，用于存放半导体行业领域内的晶圆和元器件等样品使用。
技术介绍
随着半导体行业的快速发展，各大半导体及军工企业单位对氮气柜的要求越来越高，现有的普通氮气柜具有以下缺点：1、将多种样品放入同一个柜子内不易与寻找；2、不同的样品对保存环境要求不同，传统的氮气柜无法满足同时存储不同样品的需求；3、多种样品置于同一个空间内，每次取样均会导致存储环境发生改变，容易对样品产生不良影响。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术提供了一种氮气柜，其可以实现对多种样品的独立储藏，满足同时存储不同样品的需求，避免取样导致存储环境发生变化对样品产生不良影响。其技术方案是这样的：一种氮气柜，包括柜体，所述柜体上排布有氮气舱，所述氮气舱为抽屉式氮气舱，所述氮气舱与所述柜体通过导轨连接，所述柜体内部设有进气管道和出气管道，所述进气管道和所述出气管道分别连接每个所述氮气舱，所述氮气舱上设有进气阀和出气阀，所述进气管道的出口分别与所述氮气舱的进气阀相连，所述进气管道的进口与氮气泵相连，所述柜体上开设有进气口，所述氮气泵与所述进气口相连，用于导入氮气；所述出气管本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氮气柜，包括柜体，其特征在于：所述柜体上排布有氮气舱，所述氮气舱为抽屉式氮气舱，所述氮气舱与所述柜体通过导轨连接，所述柜体内部设有进气管道和出气管道，所述进气管道和所述出气管道分别连接每个所述氮气舱，所述氮气舱上设有进气阀和出气阀，所述进气管道的出口分别与所述氮气舱的进气阀相连，所述进气管道的进口与氮气泵相连，所述柜体上开设有进气口，所述氮气泵与所述进气口相连，用于导入氮气；所述出气管道的进口分别与所述氮气舱的出气阀相连，所述出气管道的出口与真空泵相连，所述柜体上开设有出气口，所述真空泵与所述出气口相连，用于排出气体。

【技术特征摘要】
1.一种氮气柜，包括柜体，其特征在于：所述柜体上排布有氮气舱，所述氮气舱为抽屉式氮气舱，所述氮气舱与所述柜体通过导轨连接，所述柜体内部设有进气管道和出气管道，所述进气管道和所述出气管道分别连接每个所述氮气舱，所述氮气舱上设有进气阀和出气阀，所述进气管道的出口分别与所述氮气舱的进气阀相连，所述进气管道的进口与氮气泵相连，所述柜体上开设有进气口，所述氮气泵与所述进气口相连，用于导入氮气；所述出气管道的进口分别与所述氮气舱的出气阀相连，所述出气管道的出口与真空泵相连，所述柜体上开设有出气口，所述真空泵与所述出气口相连，用于排出气体。2.根据权利要求1所述的一种氮气柜，其特征在于：所述氮气舱外侧边缘设有密封条，每个所述氮气舱分...

【专利技术属性】
技术研发人员：毕秀文，胡光，杨军，吴晋希，刘佳，
申请(专利权)人：全讯射频科技无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32