一种柔性电容式湿度传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种柔性电容式湿度传感器，其特征在于：包括柔性衬底（1）、电极（2）和湿敏材料层（4）；所述电极（2）设置在柔性衬底（1）的一个表面上，柔性衬底（1）相对的另一个表面上设置有湿敏材料层（4），电极（2）和湿敏材料层（4）通过柔性衬底（1）隔开；所述电极（2）由导线引出。本实用新型专利技术柔性电容式湿度传感器，采用背面涂覆敏感材料的方式，以及电极保护层的设置，既能防止电极吸附水气之后被氧化，又能防止电极吸附水气对测量造成误差，提高测量的准确性，延长传感器的使用寿命，增强传感器的稳定性；同时所采用的PET材料柔软度好，可以任意弯曲，适用于多个领域。

A flexible capacitive humidity sensor

The utility model discloses a flexible capacitive humidity sensor, which comprises a flexible substrate (1) and the electrode (2) and a humidity sensitive material layer (4); the electrode (2) is arranged on the flexible substrate (1) on a surface, a flexible substrate (1) relative to the other a surface is provided with a humidity sensitive material layer (4), electrode (2) and a humidity sensitive material layer (4) through a flexible substrate (1) separated; the electrode (2) by wire. The utility model relates to a flexible capacitive humidity sensor, the back side is coated with sensitive material, and an electrode protective layer, which can prevent the electrode oxidation after adsorbing moisture, and can prevent the electrode adsorbed water cause the error in measurement, improve measurement accuracy, prolong the service life of the sensor, the sensor is enhanced stability; at the same time the PET materials with good flexibility, can be arbitrarily bent, applicable to many fields.

【技术实现步骤摘要】
一种柔性电容式湿度传感器
本技术涉及一种湿度传感器，特别是一种对电极进行保护的柔性电容式湿度传感器。
技术介绍
湿度传感器在军事、气象、农业、工业控制、医疗器械等许多领域有着广泛的应用。在过去的几十年里，有许多针对电容式、电阻式、压阻式、光学式等类型湿度传感器的研究。在商用领域中，电容式湿度传感器应用最为广泛，这是因为电容式湿度传感器灵敏度高、制造成本低、动态响应时间短、热损耗极小等特点。传统湿度传感器采用硅基材料，而硅基材料具有机械脆性，不能维持较大的形变和瞬时的冲击等；材料的刚性也很难适用于诸如弯曲表面的触觉传感探测等。同时，现有的柔性电容式湿度传感器通常没有对电极实行保护，湿度敏感材料直接填充在电极上，由于金属在长时间处于湿度环境下容易被氧化，造成稳定性降低、使用寿命较短等问题。
技术实现思路
本技术的专利技术目的在于：针对上述存在的问题，提供一种柔性电容式湿度传感器及其制备方法，该湿度传感器灵敏度高、结构简单和稳定性好，广泛适用于多个领域。本技术采用的技术方案如下：一种柔性电容式湿度传感器，包括柔性衬底、电极和湿敏材料层；所述电极设置在柔性衬底的一个表面上，柔性衬底相对的另一个表面上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性电容式湿度传感器，其特征在于：包括柔性衬底（1）、电极（2）和湿敏材料层（4）；所述电极（2）设置在柔性衬底（1）的一个表面上，柔性衬底（1）相对的另一个表面上设置有湿敏材料层（4），电极（2）和湿敏材料层（4）通过柔性衬底（1）隔开；所述电极（2）由导线引出。

【技术特征摘要】
1.一种柔性电容式湿度传感器，其特征在于：包括柔性衬底（1）、电极（2）和湿敏材料层（4）；所述电极（2）设置在柔性衬底（1）的一个表面上，柔性衬底（1）相对的另一个表面上设置有湿敏材料层（4），电极（2）和湿敏材料层（4）通过柔性衬底（1）隔开；所述电极（2）由导线引出。2.根据权利要求1所述的柔性电容式湿度传感器，其特征在于:所述电极（2）表面涂覆有电极保护层（3）。3.根据权利要求2所述的柔性电容式湿度传感器，其特征在于:所述电极（2）沉...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚尧，张慧，马文英，李蠡，凌味未，魏华，黄铫，陈功，杜江，
申请(专利权)人：成都信息工程大学，
类型：新型
国别省市：四川,51