一种测量压电陶瓷微小位移的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种测量压电陶瓷微小位移的装置，包括计算机、数据采集卡、电压放大器、压电陶瓷和相移干涉装置。本实用新型专利技术涉及位移测量领域，一种测量压电陶瓷微小位移的装置，运用相移干涉原理进行光路系统的结构设计，通过相移干涉装置采集相移干涉图数据传给计算机处理得到压电陶瓷微小位移，结构简单、安装和使用方便，测量精度高。

A device for measuring micro displacement of piezoelectric ceramics

The utility model discloses a device for measuring the micro displacement of piezoelectric ceramics, which comprises a computer, a data acquisition card, a voltage amplifier, a piezoelectric ceramic and a phase shifting interference device. The utility model relates to a device for measuring displacement field measurement of piezoelectric micro displacement, the structure design of the optical system interference principle of phase shift, phase shifting interferogram data to the computer processing of piezoelectric ceramic micro displacement by phase-shifting interferometry collecting device, simple structure, convenient installation and use, measurement accuracy high.

【技术实现步骤摘要】
一种测量压电陶瓷微小位移的装置
本技术涉及位移测量领域，尤其涉及一种测量压电陶瓷微小位移的装置。
技术介绍
CCD：Charge-coupledDevice，电荷耦合元件。压电陶瓷是一种能够将机械能和电能互相转换的功能陶瓷材料，属于无机非金属材料，压电陶瓷具有敏感的特性，可以将极其微弱的机械振动转换成电信号，可用于声呐系统、气象探测、遥测环境保护、家用电器等等。压电陶瓷经过电压驱动后，会发生微小位移，为了检测压电陶瓷的性能，通常需要检测在不同电压情况下，压电陶瓷所产生的微位移大小，传统的压电陶瓷位移测量方法有机械测量法、电涡流位移计法，其中，机械测量法在测量位移时相对误差比较大、操作复杂，而电涡流位移计测量法受电磁干扰影响比较大。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种方便操作、误差小的测量压电陶瓷微小位移的装置。本技术所采用的技术方案是：一种测量压电陶瓷微小位移的装置，包括计算机、数据采集卡、电压放大器、压电陶瓷和相移干涉装置，所述相移干涉装置包括光探测器，所述计算机的输出端连接数据采集卡的输入端，用以控制数据采集卡输出电压，所述数据采集卡的输出端连接电压放大器的输入端本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测量压电陶瓷微小位移的装置，其特征在于，其包括计算机、数据采集卡、电压放大器、压电陶瓷和相移干涉装置，所述相移干涉装置包括光探测器，所述计算机的输出端连接数据采集卡的输入端，用以控制数据采集卡输出电压，所述数据采集卡的输出端连接电压放大器的输入端，所述电压放大器的输出端连接压电陶瓷的输入端，所述压电陶瓷与相移干涉装置相连，所述光探测器用于采集因压电陶瓷位移产生的相移干涉条纹，所述光探测器的输出端连接计算机的输入端以将采集的相移干涉条纹传给计算机处理。

【技术特征摘要】
1.一种测量压电陶瓷微小位移的装置，其特征在于，其包括计算机、数据采集卡、电压放大器、压电陶瓷和相移干涉装置，所述相移干涉装置包括光探测器，所述计算机的输出端连接数据采集卡的输入端，用以控制数据采集卡输出电压，所述数据采集卡的输出端连接电压放大器的输入端，所述电压放大器的输出端连接压电陶瓷的输入端，所述压电陶瓷与相移干涉装置相连，所述光探测器用于采集因压电陶瓷位移产生的相移干涉条纹，所述光探测器的输出端连接计算机的输入端以将采集的相移干涉条纹传给计算机处理。2.根据权利要求1所述的一种测量压电陶瓷微小位移的装置，其特征在于，所述光探测器是CCD图像传感器。3.根据权利要求1所述的一种测量压电陶瓷微小位移的装置，其特征在于，所述相移干涉装置是迈克尔逊干涉装置。4.根据权利要求1所述的一种测量压电陶瓷微小位移的装置，其特征在于，所述相移干涉装置是马赫曾德干涉装置。5.根据权利要求4所述的一种测量压电陶瓷微小位移的装置，其特征在于，所述相移...

【专利技术属性】
技术研发人员：安娜，邓建，马昊玥，卢睿，杨磊，边盾，
申请(专利权)人：天津市中环量子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12